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Behandelte Themen
Überblick
Weiche molekularer UV-Nanoimprintlithographie
Principles of Soft molekularer UV-Nanoimprintlithographie
Beispiele für Soft-molekularer UV-Nanoimprintlithographie Imprints
Einzigartige Merkmale von Soft molekularer UV-Nanoimprintlithographie
Kaufoptionen für Soft molekularer UV-Nanoimprintlithographie
Überblick
EV Group (EVG) Ziele Advanced Packaging, Verbindungshalbleiter und Silizium-basierten Power-Geräte, MEMS, Nanotechnologie und SOI Märkte mit seinen branchenführenden Wafer-Bonding, Lithographie / Nanoimprint Lithographie (NIL), Messtechnik, Photoresistbeschichtung, Reinigungs-und Prüfmittel .
EV Group (EVG) ist ein anerkannter Technologie-und Marktführer für Wafer-Verarbeitung. Wir haben weltweite Industrie-Standards für ausgerichtete Wafer-Bonding-Set sowie widerstehen Verarbeitung für die MEMS, Nano-und Halbleiterindustrie. Unser technologisches Know-how ermöglicht es den Kunden zu entwickeln und erfolgreich zu vermarkten, ihre Innovationen durch fortschrittliche und bewährte Verfahren Lösungen von R & D bis zur Serienproduktion. Eine umfassende Palette von Geräten für FuE-Anwendungen sowie vollautomatisierte Prozesse ist das Ergebnis einer langfristigen, kooperative Beziehungen mit unserer umfangreichen Liste der Kunden weltweit.
Weiche molekularer UV-Nanoimprintlithographie
Basierend auf EVG bewährten UV-NIL-Systeme , SMS-NIL bietet seinen Kunden eine wiederholbare, kostengünstige Verfahren zur Herstellung von ultra-hochauflösenden Strukturierung auf großflächigen Oberflächen. SMS-NIL ermöglicht ultra-hochauflösenden Strukturierung von Funktionen bis 12,5 nm . Mit SMS-NIL ist soft arbeitet Stempel Nanoimprint Prozess können Kunden durchführen vollflächige nanoimprints und optisch ausgerichtet UV-NIL auf vorhandene EVG Ausrüstung. Ebenso kann der Stempel und Prägung auf dem gleichen Werkzeug ohne zusätzliche Bearbeitung verarbeitet werden Schritte sparende Kunden erhebliche Verarbeitung Zeit und Geld.
Principles of Soft molekularer UV-Nanoimprintlithographie
SMS-NIL verwendet polymeren arbeiten Briefmarken aus hoher Auflösung, teure Master-Templates repliziert und kann für mehrere Abdrücke verwendet werden. Die erhaltenen Arbeiten Briefmarken relativ niedrige Oberflächenenergie, die eine leichtere Trennung vom Substrat nach dem Bedrucken wird sichergestellt. Die inhärente weichen Stempel Materialeigenschaften reduzieren die Gefahr von mechanischen Beschädigungen der Master-Vorlage weitgehend und damit ihre Lebensdauer.
Verarbeitung Kosten für SMS-NIL ist deutlich niedriger als in anderen Nano-Strukturierung Techniken, die macht SMS-NIL eine noch erfolgreichere und leistungsstarke Lithographietechnik für verschiedene Anwendungen. SMS-NIL bereits in industriellen Umgebungen für CMOS-Bildsensoren Mikrolinse Formen verwendet und andere optische Anwendungen.
Die Auflösung der ultra-feinen Gesichtszügen bedeutet neue Materialien und eine optimierte Prozessabläufe für zuverlässige und wiederholbare Prägung auf großen Flächen mit EVG ist gut etabliert UV-NIL -Systeme. Der Master-Briefmarken wurden von IMS Nanofabrication AG Vienna mit CHARPAN (geladene Teilchen Nanostrukturierung mit Ionen-Multi-Beam-Projektion) hergestellt.
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Quelle: EVG.