एसएमएस शून्य - EV समूह द्वारा शीतल आण्विक यूवी nanoimprint अश्मलेखन स्केल का परिचय

जिन विषय

अवलोकन
शीतल आण्विक स्केल यूवी Nanoimprint लिथोग्राफी
शीतल आण्विक स्केल यूवी Nanoimprint लिथोग्राफी के सिद्धांतों
शीतल आण्विक स्केल यूवी Nanoimprint लिथोग्राफी निशान के उदाहरण
शीतल आण्विक स्केल यूवी Nanoimprint लिथोग्राफी की अद्वितीय सुविधाएँ
शीतल आण्विक स्केल यूवी Nanoimprint लिथोग्राफी के लिए खरीद विकल्प

अवलोकन

EV समूह (EVG) अपने उद्योग की अग्रणी वफ़र संबंध / लिथोग्राफी nanoimprint (शून्य) लिथोग्राफी, मैट्रोलोजी, photoresist कोटिंग, सफाई और निरीक्षण उपकरण के साथ उन्नत पैकेजिंग, मिश्रित अर्धचालक और सिलिकॉन आधारित बिजली उपकरणों, MEMS, नैनो और सोइ बाजारों लक्ष्य .

EV समूह (EVG) एक मान्यता प्राप्त प्रौद्योगिकी और वफ़र प्रसंस्करण के उपकरण के लिए बाजार के नेता है . हम गठबंधन वफ़र संबंधों के लिए दुनिया भर में उद्योग मानकों को स्थापित किया है के रूप में अच्छी तरह के रूप में MEMS, नैनो और सेमीकंडक्टर उद्योग के लिए प्रसंस्करण का विरोध. हमारे तकनीकी विशेषज्ञता ग्राहकों के लिए सक्षम बनाता विकास और व्यवसायीकरण सफलतापूर्वक मात्रा में उत्पादन करने के लिए अनुसंधान एवं विकास से उन्नत और सिद्ध प्रक्रिया समाधान प्रदान करके अपने नवाचारों. आर एंड डी के रूप में के रूप में अच्छी तरह से अनुप्रयोगों पूरी तरह से स्वचालित प्रक्रियाओं को संबोधित उपकरणों की एक व्यापक रेंज दीर्घकालिक, हमारे वैश्विक ग्राहकों की व्यापक सूची के साथ सहकारी संबंधों का नतीजा है.

शीतल आण्विक स्केल यूवी Nanoimprint लिथोग्राफी

पर आधार है EVG साबित यूवी - शून्य सिस्टम , एसएमएस - शून्य एक repeatable, बड़े क्षेत्र सतहों पर अल्ट्रा - highresolution patterning उत्पादन के लिए प्रक्रिया लागत प्रभावी के साथ ग्राहकों को प्रदान करता है. एसएमएस - शून्य सुविधाओं के patterning के अल्ट्रा - उच्च - संकल्प सक्षम बनाता 12.5 एनएम के लिए नीचे . का प्रयोग एसएमएस शून्य नरम काम कर स्टांप nanoimprint प्रक्रिया, ग्राहकों को पूरे क्षेत्र nanoimprints प्रदर्शन और ऑप्टिकली गठबंधन कर सकते हैं यूवी शून्य मौजूदा पर EVG उपकरण. इसी तरह, स्टांप और imprinting अतिरिक्त प्रसंस्करण की आवश्यकता के बिना एक ही उपकरण पर संसाधित किया जा सकता है कदम बचत ग्राहकों को महत्वपूर्ण प्रसंस्करण समय और पैसा.

शीतल आण्विक स्केल यूवी Nanoimprint लिथोग्राफी के सिद्धांतों

एसएमएस शून्य polymeric काम कर उच्च संकल्प, महंगा मास्टर टेम्पलेट्स से दोहराया और एकाधिक imprints के लिए इस्तेमाल किया जा सकता है टिकटों का उपयोग करता है. प्राप्त काम कर रहे टिकटों सापेक्ष कम सतह ऊर्जा, जो imprinting प्रक्रिया के बाद सब्सट्रेट से एक आसान जुदाई सुनिश्चित है. निहित नरम स्टांप सामग्री गुण बड़े पैमाने पर मास्टर टेम्पलेट के यांत्रिक क्षति के जोखिम को कम करने और इस प्रकार अपने जीवनकाल में वृद्धि.

के प्रसंस्करण एसएमएस शून्य लागत अन्य नैनो patterning तकनीक है, जो बनाता है की तुलना में काफी कम है एसएमएस शून्य एक और भी अधिक सफल और शक्तिशाली लिथोग्राफी विभिन्न अनुप्रयोगों के लिए तकनीक एसएमएस शून्य CMOS छवि सेंसर माइक्रो लेंस ढलाई के लिए पहले से ही औद्योगिक वातावरण में प्रयोग किया जाता है. और अन्य ऑप्टिकल अनुप्रयोगों.

अल्ट्रा ठीक सुविधाओं के संकल्प नई सामग्री और बड़े का उपयोग क्षेत्रों पर विश्वसनीय और repeatable imprinting के लिए एक अनुकूलित प्रक्रिया प्रवाह निकलता है EVG अच्छी तरह से स्थापित यूवी शून्य सिस्टम . मास्टर टिकटों आईएमएस Nanofabrication एजी वियना CHARPAN (चार्ज आयन प्रक्षेपण बहु - किरण के साथ कण nanopatterning) का उपयोग द्वारा गढ़े गए थे.


स्रोत: EVG है.

Date Added: Jan 17, 2011 | Updated: Jan 31, 2011

Last Update: 23. October 2011 09:46

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit