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다루는 주제
개요
소프트 분자 스케일 UV - Nanoimprint 리소그래피
소프트 분자 스케일 UV - Nanoimprint 리소그래피의 원리
소프트 분자 스케일 UV - Nanoimprint 리소그래피 인쇄물의 예
소프트 분자 스케일 UV - Nanoimprint 리소그래피의 독특한 특징
소프트 분자 스케일 UV - Nanoimprint 리소그래피에 대한 구매 옵션
개요
EV 그룹 (EVG)은 자사의 업계 선도적인 웨이퍼 본딩, 리소그래피 / nanoimprint 리소그래피 (전무), 계측, 포토 레지스트 코팅, 세척 및 검사 장비와 고급 포장, 화합물 반도체와 실리콘 기반 전력 디바이스, MEMS, 나노 테크놀로지 및 SOI 시장을 대상으로 .
EV 그룹 (EVG)는 웨이퍼 가공 장비에 대한 인식 기술 및 시장 선도 업체입니다. 뿐만 아니라 MEMS, 나노 및 반도체 산업에 대한 처리를 저항으로 우리는 정렬된 웨이퍼 본딩을위한 전세계 업계 표준을 설정했습니다. 우리의 기술 전문 대량 생산에 R & D에서 고급 및 입증된 프로세스 솔루션을 제공함으로써 혁신을 개발하고 성공적으로 상용화 고객 수 있습니다. R & D 애플 리케이션뿐만 아니라, 완벽하게 자동화된 프로세스에 대응 장비의 포괄적인 범위는 장기, 글로벌 고객의 광범위한 목록과 협력 관계의 결과이다.
소프트 분자 스케일 UV - Nanoimprint 리소그래피
을 바탕으로 EVG의 검증된 UV - 전무 시스템 , SMS 대 0이 큰 지역 표면에 울트라 highresolution의 patterning 생산을위한 반복, 비용 효율적인 프로세스를 고객에게 제공합니다. SMS 대 0이 12.5 nm의 기능의 초고 해상도 patterning을 수 . 를 사용하여 SMS 대 0의 부드러운 작동 우표 nanoimprint 과정, 고객은 전체 지역 nanoimprints을 수행할 수 있으며, 광학 정렬 UV 대 0으로 기존의 EVG의 장비. 마찬가지로, 우표 및 각인은 추가 처리없이 동일한 도구를 처리할 수 단계를 절약 고객에게 상당한 처리 시간과 비용을.
소프트 분자 스케일 UV - Nanoimprint 리소그래피의 원리
SMS 대 0은 높은 해상도, 고가의 마스터 템플릿에서 복제된 여러 인쇄물에 사용할 수있는 고분자 작업 우표를 사용합니다. 얻은 작업 우표는 각인 공정 후 기판에서 쉽게 분리를 보장 상대적인 낮은 표면 에너지를했습니다. 고유 소프트 도장 재료 속성 크게 마스터 템플릿의 기계적 손상의 위험을 감소하기 때문에 자신의 수명을 향상시킬 수 있습니다.
처리 비용 SMS 대 0이 만들어 다른 나노 patterning 기술에서보다 훨씬 낮습니다 SMS 대 0으로 더욱 성공하고 강력한 리소그래피 기술을 다양한 응용 프로그램을위한. SMS 대 0이 CMOS 이미지 센서는 마이크로 렌즈 성형 산업 환경에 이미 사용되고 있습니다 및 기타 광학 응용 프로그램입니다.
울트라 고급 기능의 해상도는 새로운 재료와 사용하는 대규모 지역에 안정적이고 반복적인 각인을위한 최적화된 프로세스 흐름 의미 EVG의 잘 설립 UV - 전무 시스템을. 마스터 우표는 CHARPAN을 (이온 멀티 빔 프로젝션과 하전 입자 nanopatterning)를 사용하여 IMS Nanofabrication AG 비엔나에 의해 조작되었다.
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출처 : EVG.
소프트 분자 스케일 UV - Nanoimprint 리소그래피 인쇄물의 예
동봉된 이미지보기 SMS 대 0 에서 복제된 2시 1분의 비율로 12.5 NM 라인과 도트에 대한 인쇄물 결과 EVG620 전무 시스템을 100mm 웨이퍼에 대한시합니다.
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12.5 NM 하프 피치 L / S 구조
출처 : IMS Nanofabrication AG, 비엔나의 EVG, 줬죠.
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12.5 NM 하프 피치 L / S 구조의 최대 닫기
출처 : IMS Nanofabrication AG, 비엔나의 EVG, 줬죠.
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12.5 NM 하프 피치 점
출처 : IMS Nanofabrication AG, 비엔나의 EVG, 줬죠.
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12.5 나노미터 하프 피치 도트 최대 닫기
출처 : IMS Nanofabrication AG, 비엔나의 EVG, 줬죠.
소프트 분자 스케일 UV - Nanoimprint 리소그래피의 독특한 특징
의 독특한 특징 SMS 대 0은 다음과 같습니다
소프트 분자 스케일 UV - Nanoimprint 리소그래피에 대한 구매 옵션
EV 그룹은 두 가지 유연한 구매 옵션을 제공하는 SMS 대 0을 . - 집안에서 작업 우표를 제작에 관심이있는 고객이 구입할 수 EV 그룹의 자신의 애플 리케이션 개발을 활성화하기 위해 공정 기술 컨설팅 서비스를. EV 그룹은 또한 처리를위한 준비 작업 우표를 구입하는 옵션을 제공합니다.
표시된 결과는 나노 이니셔티브 (오스트리아에 의해 자금되었습니다 www.nanoinitiative.at NILaustria 프로젝트 클러스터 (의 NILdirect_stamp 및 NILstamp_replication 사업을 통해, FFG 및 BMVIT) www.NILaustria.at ).
출처 : EV 그룹
이 원본에 대한 자세한 내용은 참조하시기 바랍니다 EV 그룹