SMS-NUL - Inleiding aan de Zachte Moleculaire Lithografie van uv-Nanoimprint van de Schaal door EV Groep

Besproken Onderwerpen

Overzicht
De Zachte Moleculaire Lithografie van uv-Nanoimprint van de Schaal
Principes van de Zachte Moleculaire Lithografie van uv-Nanoimprint van de Schaal
Voorbeelden van de Zachte Moleculaire Afdrukken van de Lithografie van uv-Nanoimprint van de Schaal
Unieke Eigenschappen van de Zachte Moleculaire Lithografie van uv-Nanoimprint van de Schaal
De Opties van de Aankoop voor de Zachte Moleculaire Lithografie van uv-Nanoimprint van de Schaal

Overzicht

EV de Groep (EVG) richt geavanceerde verpakking, samenstellingshalfgeleider en op silicium-gebaseerde machtsapparaten, MEMS, nanotechnologie en markten SOI met zijn industrie-leidt wafeltje-plakkend, lithografie/nanoimprint lithografie (NUL), metrologie, photoresist deklaag, het schoonmaken en inspectieapparatuur.

EV de Groep (EVG) is een erkende technologie en marktleider voor de apparatuur van de wafeltjeverwerking. Wij hebben ons de industrienormen wereldwijd voor het gerichte wafeltje plakken bepaald evenals tegen verwerking voor de MEMS, Nano en Industrie van de Halfgeleider verzet. Onze technologische deskundigheid laat klanten toe om met succes hun innovaties te ontwikkelen en op de markt te brengen door geavanceerde en bewezen procesoplossingen te verstrekken van R&D aan volumeproductie. Een uitvoerige waaier van apparatuur die de toepassingen van R&D evenals volledig geautomatiseerde processen richt is het resultaat van verhoudingen op lange termijn, behulpzame met onze uitgebreide lijst van globale klanten.

De Zachte Moleculaire Lithografie van uv-Nanoimprint van de Schaal

Gebaseerd op systemen van de uv-NUL van EVG de bewezen, voorziet de SMS-NUL klanten van een herhaalbaar, rendabel proces om hethighresolution vormen op groot-gebiedsoppervlakten te veroorzaken. De sms-NUL laat ultra-hoog-resolutie het vormen neer van eigenschappen aan 12.5 NM toe. Gebruikend SMS-NUL zacht het werk zegel nanoimprint proces, kunnen de klanten volledig-gebied nanoimprints en optisch gerichte uv-NUL op bestaande apparatuur uitvoeren EVG. Eveneens, kunnen de zegel en het stempelen op het zelfde hulpmiddel worden verwerkt zonder extra verwerkings stap-bewarende klanten te vereisen significante verwerkingstijd en geld.

Principes van de Zachte Moleculaire Lithografie van uv-Nanoimprint van de Schaal

SMS-NUL gebruikt polymere werkende die zegels van hoge resolutie, dure hoofdmalplaatjes worden herhaald en kan voor veelvoudige afdrukken worden gebruikt. De verkregen werkende zegels hebben relatieve lage oppervlakte-energie, die een gemakkelijkere scheiding van het substraat na het het stempelen proces verzekert. De inherente zachte zegel materiële eigenschappen verminderen het risico grotendeels van mechanische schade van het hoofdmalplaatje en verbeteren zo hun leven.

De kosten van de Verwerking van SMS-NUL zijn beduidend lager dan in andere nano-vormt technieken, wat tot SMS-NUL een meer succesvole en krachtige lithografietechniek voor diverse toepassingen maakt. De sms-NUL wordt reeds gebruikt in industriële milieu's voor CMOS micro- van beeldsensoren lensafgietsel en andere optische toepassingen.

De resolutie van ultra-fine eigenschappen impliceert nieuwe materialen en een geoptimaliseerde processtroom voor het betrouwbare en herhaalbare stempelen op grote gebieden gebruikend systemen van de uv-NUL van EVG de reeds lang gevestigde. De hoofddiezegels werden vervaardigd door IMS Nanofabrication AG Wenen gebruikend CHARPAN (deeltje het nanopatterning wordt belast met ionen multi-beam projectie).


Bron: EVG.

Voorbeelden van de Zachte Moleculaire Afdrukken van de Lithografie van uv-Nanoimprint van de Schaal

De ingesloten beelden tonen SMS-NUL afdrukresultaten voor 12.5 die NMlijnen en punten met een aspectverhouding van 2:1 op een systeem van de NUL EVG620 op de wafeltjes van 100 mmSi wordt herhaald.


structuren van de 12.5 NM de halve hoogte L/S
Bron: EVG, Hoffelijkheid van IMS Nanofabrication AG, Wenen.


Sluit van 12.5 NM omhoog halve hoogteL/S structuren
Bron: EVG, Hoffelijkheid van IMS Nanofabrication AG, Wenen.


punten van de 12.5 NM de halve hoogte
Bron: EVG, Hoffelijkheid van IMS Nanofabrication AG, Wenen.


Sluit van 12.5 NM omhoog halve hoogtepunten
Bron: EVG, Hoffelijkheid van IMS Nanofabrication AG, Wenen.

Unieke Eigenschappen van de Zachte Moleculaire Lithografie van uv-Nanoimprint van de Schaal

De Unieke Eigenschappen van SMS-NUL omvatten:

  • Kosten van eigendomsvoordeel toe te schrijven aan
    • Gebruik van polymere zegel
    • Geen behoefte om anti-plakt lagen toe te passen
    • Behoud van hoofdmalplaatje
    • Veelvoudige mogelijkheid om opnieuw gebruikt te worden van zachte zegels
  • Hoogste resolutie met polymere zegels
  • Het vermogen van de Groot gebiedsafdruk
  • Toepasselijk op alle systemen van de uv-NUL EVG (EVG620, EVG6200, Aligner van de IQ, EVG770)

De Opties van de Aankoop voor de Zachte Moleculaire Lithografie van uv-Nanoimprint van de Schaal

EV de Groep biedt twee flexibele aankoopopties voor SMS-NUL aan. De Klanten die in binnenshuis het produceren van de werkende zegels geinteresseerd zijn kunnen van de het procestechnologie van de Groep kopen EV de het adviesdiensten om hun eigen toepassingsontwikkeling toe te laten. EV de Groep biedt ook de optie om werkende zegels te kopen klaar voor verwerking aan.

De getoonde resultaten werden gefinancierd door het Oostenrijkse nano-Initiatief (www.nanoinitiative.at, FFG en BMVIT) door de projecten NILdirect_stamp en NILstamp_replication van de NILaustria projectcluster (www.NILaustria.at).

Bron: EV Groep

Voor meer informatie over deze bron te bezoeken gelieve Groep EV

Date Added: Jan 17, 2011 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 04:02

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit