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Temas Abordados
Visão global
Macia Molecular Escala Litografia UV-nanoimpressão
Princípios de Soft Escala Molecular litografia UV-nanoimpressão
Exemplos de Soft Escala Molecular Imprints nanoimpressão UV-Litografia
Recursos exclusivos de Soft Escala Molecular litografia UV-nanoimpressão
Opções de Compra para Soft Escala Molecular litografia UV-nanoimpressão
Visão global
EV Group (EVG) metas de empacotamento avançado, semicondutores compostos e dispositivos baseados em silício poder, MEMS, a nanotecnologia e os mercados de SOI com o seu líder na indústria wafer colagem, litografia litografia / nanoimpressão (NIL), metrologia, revestimento fotorresiste, limpeza e equipamentos de inspeção .
EV Group (EVG) é uma tecnologia reconhecida e líder de mercado para equipamentos de processamento de wafer. Nós estabelecemos padrões da indústria mundial de wafer bonding alinhados, bem como resistir a processamento para a MEMS, Nano e Indústria de Semicondutores. Nosso conhecimento tecnológico permite que os clientes a desenvolver e comercializar com sucesso as suas inovações, fornecendo soluções de processo avançado e comprovado a partir de R & D para a produção de volume. Uma gama completa de equipamentos de endereçamento de I & D aplicações, bem como processos totalmente automatizados é o resultado de longo prazo, as relações de cooperação com a nossa extensa lista de clientes globais.
Macia Molecular Escala Litografia UV-nanoimpressão
Baseado em EVG comprovada UV-NIL sistemas , SMS-NIL oferece aos clientes uma repetitivo, processo de custo-benefício para produzir de alta resolução ultra-padronização em grande área de superfície. SMS-NIL permite ultra-alta resolução padronização de recursos para baixo para 12,5 nm . Usando SMS-NIL do processo de nanoimpressão trabalhando selo macio, os clientes podem realizar-área total nanoimprints e opticamente alinhados UV-NIL sobre existentes EVG equipamento. Da mesma forma, o carimbo e impressão podem ser processados na mesma ferramenta sem a necessidade de processamento adicional medidas de poupança de clientes tempo de processamento significativo e dinheiro.
Princípios de Soft Escala Molecular litografia UV-nanoimpressão
SMS-NIL usa poliméricos selos de trabalho replicados de alta resolução, modelos mestre caro e pode ser usado para impressões múltiplas. Os selos de trabalho obtidos têm energia de superfície relativamente baixo, o que garante uma fácil separação do substrato após o processo de imprinting. Inerente propriedades do material macio selo reduzir o risco de danos mecânicos do modelo mestre em grande parte e, assim, melhorar a sua vida.
Custo de processamento de SMS-NIL é significativamente menor do que em outros nano-padronização de técnicas, o que torna SMS-NIL uma técnica de litografia ainda mais bem sucedido e poderoso para várias aplicações. SMS-NIL já é utilizado em ambientes industriais para a imagem CMOS sensores micro lente moldagem e outras aplicações ópticas.
A resolução do ultra-finas características implica novos materiais e um fluxo de processo otimizado para impressão confiável e repetível em grandes áreas usando EVG bem estabelecida UV-NIL sistemas. Os selos foram fabricados pelo mestre IMS Nanofabricação AG Viena usando CHARPAN (microusinagem partícula carregada com íons de projeção multi-feixe).
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Fonte: EVG.