SMS-NIL - Введение к Литографированию Мягкого Молекулярного Маштаба Уф--Nanoimprint Группой EV

Покрытые Темы

Обзор
Литографирование Мягкого Молекулярного Маштаба Уф--Nanoimprint
Принципы Литографирования Мягкого Молекулярного Маштаба Уф--Nanoimprint
Примеры Отпечатков Литографированием Мягкого Молекулярного Маштаба Уф--Nanoimprint
Уникально Характеристики Литографирования Мягкого Молекулярного Маштаба Уф--Nanoimprint
Варианты Покупкы для Литографирования Мягкого Молекулярного Маштаба Уф--Nanoimprint

Обзор

Группа EV (EVG) пристреливает предварительный упаковывать, сложный полупроводник и кремни-основанные приборы силы, MEMS, нанотехнология и рынки SOI с своим ведущий в отрасли вафл-выпуском облигаций, литографирование/литографирование nanoimprint (НОЛЬ), метрология, покрытие фоторезиста, чистка и оборудование осмотра.

Группа EV (EVG) узнанные технология и лидер рынка для обрабатывающего оборудования вафли. Мы установили всемирные индустриальные стандарты для выровнянного выпуска облигаций вафли так же, как сопротивляем обрабатывать для Индустрии MEMS, Nano и Полупроводника. Наша технологическая экспертиза позволяет клиенты начать и успешно commercialize их рационализаторства путем разрешения обеспечивать выдвинутые и доказанные отростчатые от R&D к объему продукции. Всесторонний ряд оборудования адресуя применения R&D так же, как польностью автоматизированные процессы результат долгосрочных, кооперативных отношений с нашим обширным списком глобальных клиентов.

Литографирование Мягкого Молекулярного Маштаба Уф--Nanoimprint

Основано на системах UV-NIL EVG доказанных, SMS-NIL обеспечивает клиентов с repeatable, рентабельный процессом для производить ультра-с высокой разрешающей способностью делать по образцу на обширном районе отделывает поверхность. SMS-NIL включает делать по образцу ультра-высок-разрешения характеристик вниз до 12,5 nm. Используя процесс nanoimprint штемпеля SMS-NIL мягкий работая, клиенты могут выполнить nanoimprints полн-зоны и оптически выровнянное UV-NIL на существуя оборудовании EVG. Также, штемпель и отпечатывать можно обрабатывать на таком же инструменте без требовать дополнительных обрабатывая клиентов значительно длительности процесса и денег шаг-сбережений.

Принципы Литографирования Мягкого Молекулярного Маштаба Уф--Nanoimprint

Штемпеля скопированные от высокого разрешения, дорогие мастерские шаблоны польз SMS-NIL полимерные работая и можно использовать для множественных отпечатков. Полученные штемпеля деятельности имеют относительную низкую поверхностную энергию, которая обеспечивает более легкое разъединение от субстрата после отпечатывая процесса. Свойства своиственного мягкого штемпеля материальные уменьшают риск механического повреждения мастерского шаблона в большинстве и таким образом увеличивают их продолжительность жизни.

Обрабатывая цена SMS-NIL значительно более низка чем в других nano-делая по образцу методах, которое делает SMS-NIL даже более успешный и мощный метод литографированием для различных применений. SMS-NIL уже использовано в промышленных средах для прессформы объектива датчиков изображения CMOS микро- и других оптически применений.

Разрешение ультра-точных характеристик подразумевает новые материалы и оптимизированный поток процесса для надежный и repeatable отпечатывать на обширных районах используя системы UV-NIL EVG солидные. Мастерские штемпеля были изготовлены Nanofabrication AG Вену IMS используя CHARPAN (запряженную частицу nanopatterning с проекцией multi-луча иона).


Источник: EVG.

Примеры Отпечатков Литографированием Мягкого Молекулярного Маштаба Уф--Nanoimprint

Заключенные результаты отпечатка выставки SMS-NIL изображений для 12,5 линий и многоточий nm при коэффициент сжатия 2:1 скопированный на системе НОЛЕЙ EVG620 на 100 вафлях mm Si.


12,5 структуры тангажа L/S nm половинных
Источник: EVG, Учтивость Nanofabrication AG IMS, Вену.


Закройте вверх 12,5 структур тангажа L/S nm половинных
Источник: EVG, Учтивость Nanofabrication AG IMS, Вену.


12,5 многоточия тангажа nm половинных
Источник: EVG, Учтивость Nanofabrication AG IMS, Вену.


Закройте вверх 12,5 многоточий тангажа nm половинных
Источник: EVG, Учтивость Nanofabrication AG IMS, Вену.

Уникально Характеристики Литографирования Мягкого Молекулярного Маштаба Уф--Nanoimprint

Уникально Характеристики SMS-NIL включают:

  • Цена преимущества владением должная к
    • Польза полимерного штемпеля
    • Отсутствие потребности приложить анти--вставлять слои
    • Консервация мастерского шаблона
    • Множественный reusability мягких штемпелей
  • Самое Высокое разрешение с полимерными штемпелями
  • Возможность отпечатка Обширного района
  • Применимо на всех системах EVG UV-NIL (Aligner EVG620, EVG6200, IQ, EVG770)

Варианты Покупкы для Литографирования Мягкого Молекулярного Маштаба Уф--Nanoimprint

Группа EV предлагает 2 гибких варианта покупкы для SMS-NIL. Клиенты которые заинтересованы в производить работу штемпелюют внутреннее могут закупить обслуживания консультирования технологического прочесса Группы EV для того чтобы включить их собственную разработку приложений. Группа EV также предлагает вариант закупать работая штемпеля готовые для обрабатывать.

Показанные результаты были фондированы Австрийской Nano-Инициативой (www.nanoinitiative.at, FFG и BMVIT) через NILdirect_stamp и проекты NILstamp_replication проекта NILaustria связывают (www.NILaustria.at).

Источник: Группа EV

Для больше информации на этом источнике пожалуйста навестиньте Группа EV

Date Added: Jan 17, 2011 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 04:41

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit