SMS-NIL - Введение в мягкой молекулярном уровне УФ-Nanoimprint Литография Е. В. Группа

Рассматриваемые вопросы

Обзор
Мягкие молекулярном уровне УФ-литографии Nanoimprint
Принципы Мягкая молекулярном уровне УФ-литографии Nanoimprint
Примеры Мягкая молекулярном уровне УФ-Nanoimprint отпечатки Литография
Отличительные особенности мягких молекулярном уровне УФ-литографии Nanoimprint
Варианты покупки для мягкой молекулярном уровне УФ-литографии Nanoimprint

Обзор

Е. В. Группа (ГО) цели передовые упаковки, соединения полупроводников и на основе кремния устройства власти, MEMS, нанотехнологии и технологии SOI рынках в отрасли пластин-связи, литография / nanoimprint литографии (NIL), метрологии, фоторезиста покрытия, очистки и проверки оборудования .

Е. В. Группа (ГО) является признанным технологий и лидером на рынке оборудования для обработки пластин. Мы поставили перед мировым стандартам индустрии выровнены пластины связи, а также противостоять обработки для MEMS, нано-и полупроводниковой промышленности. Наша технологическая экспертиза позволяет заказчикам разрабатывать и успешно коммерциализировать свои инновации, предоставляя современные и проверенные решения процесс от R & D к объему производства. Полный спектр оборудования решении R & D приложений, а также полностью автоматизированных процессов является результатом долгосрочной перспективе отношения сотрудничества с нашим обширным списком клиентов по всему миру.

Мягкие молекулярном уровне УФ-литографии Nanoimprint

На основании EVG в проверенных УФ-NIL системы , SMS-NIL предоставляет клиентам повторяемые, экономически эффективных способа получения ультра-высокого разрешения структурирование на большой площади поверхности. SMS-NIL позволяет ультра-высокого разрешения, структурирование функции до 12,5 нм . Использование SMS-NIL в мягкой рабочий процесс nanoimprint штамп, клиенты могут выполнять полный области nanoimprints и оптически согласованы УФ-NIL на существующих EVG оборудования. Кроме того, штамп и печать могут быть переработаны на тот же инструмент, не требующий дополнительной обработки шаги экономить клиентам значительное время обработки и деньги.

Принципы Мягкая молекулярном уровне УФ-литографии Nanoimprint

SMS-NIL используется полимерное рабочее марки реплицироваться с высоким разрешением, дорогие шаблоны мастер и может быть использован для нескольких отпечатков. Получены марки рабочие имеют относительно низкой поверхностной энергией, которая обеспечивает более легкое отделение от подложки после импринтинга процесса. Присущей мягкой свойства материала штамп уменьшить риск механического повреждения главного шаблона в значительной степени и тем самым повысить их жизни.

Обработка Стоимость SMS-NIL значительно ниже, чем в других нано-структурирование методов, что делает SMS-NIL еще более успешной и мощной техникой литографии для различных приложений. SMS-NIL уже используется в промышленных условиях для CMOS-датчиков изображения микролинзами литье и других оптических приложений.

Разрешение ультра-тонкие черты подразумевает новые материалы и оптимизированный поток процесса для надежных и повторяемых печать на больших площадях использованием EVG в хорошо организованной УФ-NIL систем. Мастер марки были изготовлены IMS Nanofabrication AG Вене использованием CHARPAN (заряженных частиц с ионной nanopatterning многолучевой проекции).

Источник: EVG.

Примеры Мягкая молекулярном уровне УФ-Nanoimprint отпечатки Литография

Заключены изображения показывают SMS-NIL отпечаток результаты за 12,5 нм линий и точек с соотношением сторон 2:01 воспроизведены в EVG620 NIL системы на 100 мм пластинах Si.

12,5 нм half шага L / S структурах
Источник: EVG, Любезность IMS Nanofabrication АГ, Вена.

Крупным планом на 12,5 нм half шага L / S структурах
Источник: EVG, Любезность IMS Nanofabrication АГ, Вена.

12,5 нм точки half шаг
Источник: EVG, Любезность IMS Nanofabrication АГ, Вена.

Крупным планом на 12,5 нм точки half шаг
Источник: EVG, Любезность IMS Nanofabrication АГ, Вена.

Отличительные особенности мягких молекулярном уровне УФ-литографии Nanoimprint

Уникальные особенности SMS-NIL включают в себя:

• Стоимость владения преимущество за счет
  • Использование полимерных штамп
  • Нет необходимости применять против прилипания слои
  • Сохранение главного шаблона
  • Несколько повторного использования мягкой марки
• Самое высокое разрешение с полимерным марки
• Большие возможности отпечаток области
• Применяется для всех EVG УФ-NIL системы ( EVG620 , EVG6200 , IQ Aligner , EVG770 )

Варианты покупки для мягкой молекулярном уровне УФ-литографии Nanoimprint

Е. В. Группа предлагает две гибкие варианты покупки SMS-NIL . Посетители, которые заинтересованы в создании рабочих марки в доме может приобрести EV группы процесса услуги консалтинговой с тем чтобы их собственные разработки приложений. Е. В. Группа также предлагает возможность покупки марки рабочие готовы к обработке.

Показали результаты были профинансированы австрийской нано-инициативы ( www.nanoinitiative.at , FFG и BMVIT) через NILdirect_stamp и NILstamp_replication проектов NILaustria проект кластера ( www.NILaustria.at ).

Источник: Е. В. Группа

Для получения дополнительной информации на этот источник пожалуйста, посетите Е. В. Группа