.jpg)
讨论主题
概述
软分子尺度的UV纳米压印光刻技术
在分子尺度上的紫外纳米压印光刻软的原则
软分子尺度紫外线纳米压印光刻印记的范例
软分子尺度的UV纳米压印光刻技术的独特功能
软分子尺度的UV纳米压印光刻技术的购买选项
概述
EV集团（EVG）的目标，其业界领先的晶圆键合，光刻/纳米压印光刻（NIL），计量，光致抗蚀剂涂层，清洗和检测设备先进的封装，化合物半导体和硅为基础的功率器件，微机电系统，纳米技术和SOI市场。
EV集团（EVG）是一个公认的技术和晶圆加工设备市场的领导者。我们已成立对准晶圆键合的全球行业标准，以及抵御微机电系统，纳米和半导体产业的加工。我们的技术专长，使客户能够培养他们的创新，提供先进和成熟的过程解决方案，从研发到批量生产，并成功地商业化。一个全面解决R＆D应用，以及完全自动化的过程的设备是长期的结果，与我们的全球客户的广泛名单合作关系。
软分子尺度的UV纳米压印光刻技术
基于EVG的证明UV - NIL系统 ， 短信，无一个可重复的，符合成本效益的生产大面积的表面上超-高分辨率图案的过程的客户。短信，无使超，高的分辨率的功能图案下降到12.5纳米。使用短信，无软工作的邮票压印过程中，客户可以进行全面积nanoimprints和光学对齐UV - NIL 现有 EVG设备。同样，邮票，印记可以处理相同的工具，而无需额外的处理步骤，为客户节省大量的处理时间和金钱。
在分子尺度上的紫外纳米压印光刻软的原则
短信无使用聚合物复制的分辨率高，价格昂贵的主模板，可用于多个印邮票。获得工作邮票有相对低的表面能，以确保从基材后压印过程中更容易分离。固有的软邮票材料的性能，减少机械损伤的主模板主要的风险，从而提高他们的一生。
处理成本短信无显著比其他纳米图形技术，这使得短信无一个更成功，更强大的各种应用的光刻技术。短信无已用于工业环境中的CMOS图像传感器的微透镜成型和其他光学应用。
超细功能的决议意味着新材料和一个可靠和可重复使用大面积的印记的优化过程流EVG的行之有效的UV - NIL系统。 IMS的纳米加工公司使用CHARPAN（的带电粒子，用离子多束投影nanopatterning）维也纳主邮票是捏造的。
.jpg)
资料来源：EVG 。
软分子尺度紫外线纳米压印光刻印记的范例
封闭的图像显示， 短信无 12.5纳米线，长宽比为2:1的复制点上的印记结果EVG620零系统上的100毫米硅片。
.jpg)
12.5纳米半间距的L / S结构
来源：EVG，IMS的纳米加工公司，维也纳的礼貌 。
.jpg)
特写12.5纳米半间距的L / S结构
来源：EVG，IMS的纳米加工公司，维也纳的礼貌 。
.jpg)
12.5纳米半间距点
来源：EVG，IMS的纳米加工公司，维也纳的礼貌 。
.jpg)
特写12.5纳米半间距点
来源：EVG，IMS的纳米加工公司，维也纳的礼貌 。
软分子尺度的UV纳米压印光刻技术的独特功能
独特的功能SMS - NIL包括：
软分子尺度的UV纳米压印光刻技术的购买选项
电动车组提供了两个灵活的购买选择短信无。在内部生产工作邮票感兴趣的客户可能购买电动车组的工艺技术咨询服务，使自己的应用程序开发。电动车组也提供了采购工作邮票准备处理的选项。
结果由奥地利NILaustria项目集群（NILdirect_stamp和NILstamp_replication项目通过纳米倡议（ www.nanoinitiative.at ，护卫舰和BMVIT） www.NILaustria.at ）。
来源： 电动车组
对于这个源的更多信息， 请访问电动车组