Μια ματιά στο μέλλον ευημερούντες LIGA του

από τον Δρ Joachim Schulz

Θέματα που καλύπτονται

Αφηρημένο
Εισαγωγή
Μια προσπάθεια να περιγραφούν τα μοναδικά χαρακτηριστικά της LIGA
LIGA την πάροδο των ετών Προβολή των αναγκών της αγοράς
LIGA και Molding
Η πρόσβαση σε synchrotrons
LIGA Πρότυπα
LIGA Μάσκες
Προσέγγιση Microworks »
Συμπεράσματα

Αφηρημένο

Κατά τις τελευταίες δεκαετίες, έχουν πολλές εφαρμογές έχουν προταθεί ως εμπορικά βιώσιμη για LIGA (Lithographie, Galvanoformung, Abformung (Λιθογραφία, Ηλεκτρολυτική, και Molding)). Ωστόσο, τα περισσότερα από αυτά ωθήθηκαν στην αγορά μέσω του πυριτίου MEMS ή ακόμα και κλασικά microdrilling και micromilling. Μέχρι σήμερα, δεν είναι μία και μόνη εμπορική x-ray προσπάθεια LIGA έχει ευημερήσει και υποστήριξη για τα ακαδημαϊκά κέντρα LIGA είναι ξεθώριασμα. Ωστόσο, οι συγγραφείς πιστεύουν ότι η τρέχουσα ζήτηση για LIGA εφαρμογές, συμπεριλαμβανομένων των x-ray οπτικά στοιχεία όπως φακούς LIGA-, ανοίγματα ακρίβεια κλπ., είναι η έλευση ενός δεύτερου αυγή για LIGA.

Η εισήγηση αυτή θα δώσει μια πιο στρατηγική από τεχνική επισκόπηση του παρελθόντος και του μέλλοντος της Liga.

Εισαγωγή

Στη δεκαετία του 1990, LIGA ήταν μια τεχνολογία βηματοδότη για MEMS, που χρησιμοποιείται για πολλά έξυπνα συστήματα όπως αισθητήρες επιτάχυνσης ή οπτικές συσκευές με ενσωματωμένο ηλεκτρονικό ανάγνωσης κυκλώματα. Αυτή η πρώτη διαφημιστική εκστρατεία LIGA είχε ως αποτέλεσμα σε πολλές διαφορετικές showpieces που αποδείχθηκε με εντυπωσιακό τρόπο ότι η τεχνολογία είναι πολύ ευέλικτο. Ακόμη και micropumps έγιναν με LIGA, αν και αυτό το είδος της αίτησης δεν χρησιμοποιεί πραγματικά κανένα από τα μοναδικά χαρακτηριστικά της Liga. Όταν κρίνεται από ημερομηνίες των ακαδημαϊκών δημοσιεύσεων, αρκετά από αυτά LIGA συστήματα προηγηθεί παρόμοια συστήματα από τις ανταγωνιστικές τεχνολογίες. Ωστόσο, σημαντική ανακάλυψη LIGA στην αγορά δεν έχει γίνει ακόμη. Γιατί όχι;

Η πιο προφανής λόγος είναι ότι και άλλες τεχνολογίες, όπως η μικρομηχανική πυριτίου ωθήθηκαν από μεγάλες εταιρείες, και ότι οι κλασικές τεχνολογίες όπως η EDM, φρεζάρισμα, διάτρηση και τα παρόμοια ωθήθηκαν από πολλές μικρές και μεσαίες επιχειρήσεις να επιτύχουν όλο και πιο προκλητική ωραία χαρακτηριστικά. Έτσι, με μια πρώτη ματιά μοιάζει με την προσπάθεια δεν είναι αρκετή μηχανική τέθηκε σε την προώθηση των δυνατοτήτων LIGA του.

Οι δημόσιοι φορείς θα μπορούσε επίσης να μοιραστεί την ευθύνη: Καμία από τις LIGA κέντρα ήταν ποτέ αναγκασμένοι να κερδίσουν χρήματα του στην ελεύθερη αγορά. Ακόμα ένας λόγος μπορεί να είναι ότι LIGA είναι απλά πάρα πολύ πολύπλοκη, χρονοβόρα και δαπανηρή. Και τέλος, ενώ οι άλλες τεχνολογίες έχουν προχωρήσει αρκετά και έχουν επιτύχει ικανό βαθμό πολυπλοκότητας για να φιλοξενήσει περισσότερες λειτουργίες στο micropatterned δομές, LIGA είναι ακόμη σε αυστηρούς περιορισμούς στην κατ 'ουσίαν, δύο διαστάσεις σε ένα υπόστρωμα με περιορισμένες επιλογές για διάφορα επίπεδα μάσκα και μόνο μια χούφτα των υλικών.

Όλα τα παραπάνω επιχειρήματα που φέρουν κάποια αλήθεια. Παρ 'όλα αυτά, microworks είναι πεπεισμένη ότι οι τεχνολογικές εξελίξεις LIGA τα τελευταία χρόνια και τις ανάγκες της αγοράς συγχωνεύονται τόσο πολύ ότι θα υπάρξει κόγχες για LIGA. Μια μακροχρόνια θέση είναι μικρο. Ένα άλλο ένα αυτή τη στιγμή προωθείται από τη ζήτηση από synchrotrons για x-ray οπτικά στοιχεία. Άλλα παραδείγματα θα μπορούσαν να αναφέρονται.

LIGA δομή σε νικέλιο, 1600μm υψηλή, λόγο διαστάσεων 160.

LIGA δομή SU8 χρησιμοποιούνται για την εστίαση ακτινογραφίες. Το στενότερο μέρη είναι 2 μm πλάτος και επεκτείνει αρκετές εκατοντάδες μm κάτω.

LIGA δομή σε χρυσό ως το τρίψιμο απορρόφησης για ακτινογραφίες. Ο λόγος διαστάσεων αυτών των δομών είναι σχεδόν 50

Μια προσπάθεια να περιγραφούν τα μοναδικά χαρακτηριστικά της LIGA

Τα τέσσερα ισχυρά σημεία που χρησιμοποιούνται για την προώθηση LIGA τη δεκαετία του 1990 γρήγορα αναφέρονται:

1. High-πτυχή αναλογία
2. Υψηλής ποιότητας παρειά / χαμηλή τραχύτητα
3. Extreme ακριβείας
4. Πλήρης 2-D ελευθερία

Στην αρχή, αυτά τα τέσσερα σημεία ήταν επαρκή για να πείσουν τους αρμόδιους φορείς για τον έλεγχο της τεχνολογίας, από τις κυβερνήσεις με τις μεγαλύτερες εταιρείες όπως η IBM και η Bosch, να εξετάσει LIGA. Η ώθηση για περισσότερη μικρογράφηση ήταν εμφανής? Στο πυρίτιο, ωστόσο. μόνο χύμα Μικρομηχανική με αυστηρούς περιορισμούς που της ήταν διαθέσιμες.

Και σχεδόν τόσο γρήγορα, κάποιος θα μπορούσε να λίστα πώς αυτά τα δυνατά σημεία υποχώρησαν κατά τη διάρκεια των ετών. High-πτυχή αναλογίες του, ας πούμε, 20 στις εντελώς δωρεάν 2D γεωμετρία μπορούν πλέον εύκολα να κατασκευάζονται με DRIE στο πυρίτιο? Αυτή η τεχνολογία μπορεί να συντονίζεται με υψηλή ποιότητα παρειά, καθώς, και, αν χρειαστεί, cryoetching μπορεί να εφαρμοστεί.

Extreme ακριβείας ανέκαθεν υποστήριξε για LIGA, αλλά μια μεθοδολογία για να το αποδείξει μόλις πρόσφατα έχουν αναπτυχθεί. Τα έως τώρα αποτελέσματα δεν είναι πειστικά.

Στη συνέχεια, υπάρχει UV-Λίγκα, η οποία εκμεταλλεύεται τις δυνατότητες της SU8 αντιστέκεται για την κατασκευή σχεδόν τίποτα που να ταιριάζει στις ακόλουθες απαιτήσεις: + / -2 ακρίβεια μm, λιγότερο από 800 μm σε ύψος, και είναι κατασκευασμένα από νικέλιο ή νικελίου-φωσφόρου ως υλικό. Αυτή η τεχνολογία ήταν άριστα διατίθενται στην αγορά από mimotec στην Ελβετία, προφανώς αφήνοντας ελάχιστα περιθώρια για ακτινογραφία LIGA. Από την άλλη πλευρά, είναι η επιτυχία δείχνει σαφώς ότι LIGA είναι μια ανταγωνιστική τεχνολογία. Ένα θετικό στοιχείο για το x-ray υποστηρικτές: έκθεση σε ακτίνες Χ κάνει την αλυσίδα διαδικασία πιο ακριβά, αλλά μόνο κατά 30 έως 50%.

Υπάρχει ακόμα μια άλλη θέση για τον LIGA τεχνολογία κατά τη γνώμη μας: την παράλληλη κατασκευή μάζα από μικροσκοπικές δομές με υψηλή πτυχή αναλογίες. Αυτές είναι συνήθως παρέταξε δομές που συνεργάζονται πάνω εύλογα μεγάλες αποστάσεις ή περιοχές. Ένα καλό παράδειγμα είναι το x-ray φακούς που αναπτύσσονται τελευταία στο ΚΙΤ (κεντρική φωτογραφία), όπου η έμφαση φάσμα του κάθε φακού είναι πολύ μικρό. Ωστόσο, όταν οι εκατοντάδες από αυτούς τοποθετούνται το ένα δίπλα στο άλλο, το αποτέλεσμα μπορεί να είναι καλά αξιοποιηθεί.

Αυτό που χρειάζεται να εκμεταλλευτεί την θέση για πιθανές αγορές; Εμείς θα προσπαθήσουμε να απαντήσουμε σε αυτό στο επόμενο κεφάλαιο.

LIGA την πάροδο των ετών Προβολή των αναγκών της αγοράς

Μια εξαιρετική σύνοψη των LIGA έχει δοθεί σε ένα αρκετά πρόσφατο βιβλίο, LIGA και Εφαρμογές της (Saile et al. 2009) ¹ . Το βιβλίο θα προσδιορίζει με σαφήνεια LIGA ως ένα ισχυρό εργαλείο για την κατασκευή εξαιρετική μικροδομές. Σε αυτή την ενότητα, θα προσπαθήσουμε να αξιολογήσει τα ευρήματα από την άποψη της μια μικρή εταιρεία, microworks. Τα βασικά κριτήρια είναι: ο χρόνος που απαιτούνται πριν παράγονται τα πρώτα μέρη? Απόδειξη για την πρόταση αξίας μέσα από τα πρότυπα? Καθώς και παράγοντες κόστους.

Πολλές πτυχές της LIGA τεχνολογίας έχουν αντιμετωπιστεί κατά την τελευταία δεκαετία, κυρίως ως μέρος της κυβέρνησης που χρηματοδοτούνται από προγράμματα έρευνας και ανάπτυξης. Τους στόχους τους έχουν συνήθως ήταν να προσδιορίσει μια νέα χρήση, την προσαρμογή της αλυσίδας διαδικασία LIGA και να κάνει πρώτα μέρη. Λίγα έργα έχουν επικεντρωθεί στην κάλυψη των τεχνολογικών πτυχών της διαδικασίας LIGA. Από αυτή την άποψη, microworks είναι ευγνώμων για την υποστήριξη της γερμανικής κυβέρνησης και των δύο FELIG ² και INNOLIGA ³ , σύμφωνα με την οποία FELIG επικεντρώθηκε στην αυτοματοποίηση της διαδικασίας και INNOLIGA σχετικά με τη διασφάλιση της αξιοπιστίας του αντισταθεί με βάση την ίδια βασική χημεία ως SU8.

LIGA και Molding

Στην πρώτη δημοσίευση για την LIGA, Becker et al. ⁴ πρότεινε γείσο, όπως ο τρόπος να πάει για την κατασκευή μάζα. Από την πλευρά του σήμερα άποψη, η τεχνολογία χρησιμοποιείται για να κάνει ένθετα καλούπι παραμένει αναξιόπιστη, γεγονός που καθιστά δύσκολο να εγγυηθεί τις ημερομηνίες παράδοσης στους πελάτες. Πιο σημαντικό, όμως, είναι ότι τα σημαντικά χαρακτηριστικά γνωρίσματα που κρατούν LIGA ελκυστικό είναι ουσιαστικά αδύνατο να διατηρήσει στο γείσο: υψηλής πτυχή αναλογίες, πολλά χαρακτηριστικά στο υπόστρωμα και υψηλή ακρίβεια. Όλα αυτά είναι ιδιαίτερα αληθές για ένεση γείσο, ενώ ζεστό ανάγλυφη εκτύπωση δεν έχει τα αναμενόμενα δραστική πλεονέκτημα κόστους σε σχέση με την άμεση LIGA. Από την άλλη πλευρά, η διαδικασία να χρησιμοποιεί φορμαρισμένο δομές ως μια μορφή στο μέταλλο γαλβανίζω ποτέ δεν έχει αποδειχθεί με επιτυχία.

Υπάρχει και μια άλλη ένδειξη ότι LIGA εργαλεία χύτευσης δεν είναι εμπορικά βιώσιμες: mimotec SA στην Ελβετία ξεκίνησε στα τέλη της δεκαετίας του 1990 κατά κύριο λόγο κάνοντας ένθετα μούχλα. Σήμερα, αυτά αποτελούν λιγότερο από το 10% των επιχειρηματικών δραστηριοτήτων τους, ενώ το 90% είναι η άμεση κατασκευή του LIGA μεταλλικά μέρη.

Η πρόσβαση σε synchrotrons

Ένα βασικό εμπόδιο για το x-ray LIGA έχει ουσιαστικά εξαφανιστεί όλα αυτά τα χρόνια: η διαθεσιμότητα της ακτινοβολίας σύγχροτρον. Αυξημένη διαθεσιμότητα ήταν ένα σημαντικό βήμα προς την κατεύθυνση να είναι σε θέση να ανταποκριθεί με αξιοπιστία τις ημερομηνίες παράδοσης.

Μερικά synchrotrons προσφέρουν τώρα αυτοματοποιημένης διαχείρισης δειγμάτων και μετρήσεις σε κρυσταλλογραφία πρωτεϊνών σε υψηλό βαθμό τυποποίησης, η οποία θα πρέπει να είναι δυνατόν LIGA εκθέσεις, καθώς και. Δεδομένου ότι η τεχνική LIGA απαιτεί περισσότερες από μία έκθεση, δεν είναι, δυστυχώς, εξακολουθεί να μην είναι τόσο εύκολο να μεταφέρει μια διαδικασία από το ένα στο άλλο σύγχροτρον. Το δεύτερο θέμα πηγή έχει ως εκ τούτου εξακολουθεί να μην έχει λυθεί εντελώς, αλλά επαρκή επιχειρήματα είναι στο χέρι ότι αυτό δεν θα αποτελέσει πρόβλημα όσον αφορά στο ενδεχόμενο μεγάλες παραγγελίες.

LIGA Πρότυπα

Ron Lawes και άλλοι έχουν υποστηρίξει σε πολλές συνεδριάσεις HARMST εδώ και πολλά χρόνια ότι οι διάφορες ομάδες LIGA πρέπει να συμφωνήσουν σε ένα σχέδιο, μια διαδικασία και ένα σύνολο ιδιοτήτων που πρέπει να μετρηθεί, ενδεχομένως με τη χρήση διαφορετικών μεθόδων, καθιστώντας τις δομές και τη σύγκριση των αποτελεσμάτων όλων των τις ομάδες. Δυστυχώς, αυτό δεν έχει συμβεί ποτέ. Ίσως το τυπικό ερευνητής θεωρεί ότι δεν υπάρχει Ε & Α ανταμοιβή σε κάνουν το ίδιο πράγμα ξανά και ξανά? Επίσης, όλες οι ομάδες LIGA έχουν σε ανταγωνισμό μεταξύ τους.

Ως αποτέλεσμα, εάν ζητηθεί σήμερα ποιες προδιαγραφές LIGA μπορεί πραγματικά να επιτύχει, η κοινότητα δεν έχει καμία απάντηση σχετικά με ακρίβεια, κατ 'ανώτατο όριο αναλογίες πλευρών, παρειά τραχύτητα, καθετότητα κλπ. Τι έχουμε, όμως, είναι μια κατάσταση κατά την οποία όλα τα σημαντικά αποτελέσματα που έχουν την παραγωγή μη ιδανικό αποτελέσματα έχουν προσδιοριστεί, και τα αποτελέσματα αυτά μπορούν συνήθως να ελαχιστοποιηθούν με τυπικές προσεγγίσεις των μηχανικών.

LIGA Μάσκες

Κατά τη γνώμη μας, βρίσκονται εδώ τις πιο σοβαρές ελλείψεις των τελευταίων δεκαετιών: Ενώ άλλες τεχνολογίες παρτίδα έχουν μετακινηθεί από 4-ιντσών με 6 - και 8 - ή ακόμα και 12-ιντσών γκοφρέτες, LIGA εξακολουθεί να λειτουργεί με μεμβράνες 20x60 mm ² τιτανίου (KIT) , 30x30 mm ² μεμβράνες νιτριδίων του πυριτίου (CAMD και HTmicro), και 83 mm στρογγυλό μεμβράνες γραφίτη (CAMD και ΜΠΕΣΣΥ). Επίσης, αρκετά αποτυχημένα σχέδια προσπάθησε να χρησιμοποιήσει βηρύλλιο για προφανή πλεονεκτήματα του σε ακτινογραφία applications ⁵ .

Ο κύριος λόγος για μεγαλύτερες εκτάσεις ήταν ο παράγοντας του κόστους για DRIE, UV LIGA και τα παρόμοια. Αυτό το σημείο δεν έπρεπε να αντιμετωπιστούν από κανένα από τα LIGA κέντρα. Ωστόσο, υποστηρίζουν ότι τα βασικά κίνητρα για την ανάπτυξη μεγάλης επιφάνειας LIGA θα συμβατότητά του με άλλες τεχνολογίες και την επιλογή να κάνουν μεγάλες συσκευές.

Τι έχει επιτευχθεί είναι ότι η μάσκα αποφάσεων έχει γίνει πιο realiable σε συνδυασμό με την καλύτερη πρόσβαση σε χρόνο πορείας, που επιτρέπει σημαντικά μικρότερους χρόνους για την ανάπτυξη των πρώτων. Ωστόσο, δύο επαναλήψεις ενός νέου σχεδιασμού είναι ακόμη αναγκαία στις περισσότερες περιπτώσεις, και η οποία θα λαμβάνει ακόμα περισσότερο από έξι μήνες.

Αυτό που πρέπει να επιτευχθούν για κάθε μελλοντική προοπτική για LIGA είναι η αύξηση της έκτασης μάσκα με κανένα ή σχεδόν κανένα συμβιβασμό στην ποιότητα των δομικών.

Προσέγγιση Microworks »

Από την αρχή, η αποστολή μας ήταν να γίνει ένας κορυφαίος κατασκευαστής LIGA. Δεν υπήρξε ποτέ μια ισχυρή "οικονομικά επιχειρήματα", διότι διαφορετικά δεν θα ήταν η πρώτη τέτοια προσπάθεια στην Ευρώπη. Έχουμε εξετάσει και άλλες ευκαιρίες για την κατασκευή καθώς επίσης, και μέσα σε ένα έτος ή έτσι, πολλά έργα αποκτήθηκαν. Μια ανάλυση του χαρτοφυλακίου μπορεί να είναι μάλλον ασυνήθιστο για μια μικρή εταιρεία σαν microworks, αλλά μας βοηθά για να κρατήσει την εστίασή μας. Η εικόνα φάνηκε πολύ διαφορετική, με τον τρόπο πραγματικότητα πολύ διαφορετικά το 2008. Η αναδιάρθρωση των έργων μας, τελευταίο αλλά όχι λιγότερο επιβάλλεται από την οικονομική κρίση, καθιστά microworks τώρα φαίνονται τελείως διαφορετικά.

Σχήμα 2. Χαρτοφυλάκιο έργων microworks »στο τέλος του 2008. Το μέγεθος έλλειψη δίνει περίπου της συνολικής αξίας του έργου, και το χρώμα που δείχνει την τεχνολογικών κινδύνων που συνδέονται με τις τεχνολογικές απαιτήσεις (από χαμηλό σε υψηλό κίνδυνο: σκούρο γκρι, ανοιχτό γκρι, πράσινο, κίτρινο, πορτοκαλί).

Σχήμα 3. Το ίδιο με σύκο. 2, αλλά στα μέσα του 2010. Οι διαφορές σε 18 μήνες νωρίτερα μπορούν να συνοψιστούν ως εξής: έχουμε συμφωνήσει σε ένα κάπως μεγαλύτερο βαθμό των τεχνολογικών κινδύνων κατά μέσο όρο, αλλά ακυρώθηκε σχέδια υψηλού κινδύνου με χαμηλά επιδόματα, προστέθηκε ένα βασικό έργο Ε & Α (σε συνεργασία με το KIT) και διατηρούνται αγελάδες μετρητών.

Η διαφορά γίνεται πιο προφανής όταν κοιτάξουμε ένα άλλο οικόπεδο του χαρτοφυλακίου μετά Wheelright και Clark ⁶ . Θα πρέπει να παραλείψετε την εικόνα σύννεφο της κατάστασης, στο τέλος του 2008 και μόνο δείχνουν πως τα πράγματα μοιάζουν σήμερα:

Σχήμα 4. microworks επανατοποθετηθεί σε σχέση με την ποικιλία των έργων του. Ένα κεντρικό σχέδιο Ε & Α, με την υποστήριξη του κράτους της Βάδης-Βυρτεμβέργης, ορίζεται για την αύξηση των μεγεθών μάσκα δραματικά. Όλα τα άλλα έργα που ταιριάζει στην τρέχουσα πλατφόρμες ή να περιλαμβάνει μόνο ελάχιστες αλλαγές.

Το μεγαλύτερο έργο Ε & Α επικεντρώνεται σε μάσκα αποφάσεων, με έμφαση στην αναζήτηση για έναν τρόπο να αποκτήσουν μεγάλης επιφάνειας μάσκες. Δυστυχώς, δεν μπορούμε έκθεση σχετικά με αυτά τα θέματα σήμερα, δεδομένου ότι μια αίτηση για δίπλωμα ευρεσιτεχνίας είναι ακόμη σε εξέλιξη. Αλλά μπορούμε να πούμε ότι, αν είμαστε επιτυχείς, θα είμαστε σε θέση να προχωρήσει σε πολύ μεγάλες εκτάσεις, δηλαδή πέραν των 10 ιντσών, και εξακολουθεί να διατηρεί την επιλογή της σχηματομόρφωσης τις μάσκες σε ένα e-beam.

Συμπεράσματα

Με τα χρόνια, πολλές COMS και συνέδρια HARMST έχουν δει εξαιρετικές συνεισφορές από LIGA εμπειρογνωμόνων σχετικά με τις προόδους της τεχνολογίας αυτής. Η εμπορική επιτυχία της εταιρείας δεν έχει ακόμη παρουσιαστεί. Έχουμε υποστηρίξει σε αυτό τη συμβολή ότι οι περιορισμοί του μεγέθους της υψηλής ακρίβειας, με δέσμη ηλεκτρονίων-γραπτή x-ray μάσκες έχουν ανασταλτικό παράγοντα όχι μόνο όσον αφορά το κόστος, αλλά και σε σχέση με το μέγεθος της συσκευής και η συμβατότητα με άλλες τεχνολογίες. Η επίλυση αυτών των περιορισμών το μέγεθος είναι το βασικό ζήτημα για το μέλλον της LIGA τεχνολογίας. Έχουμε επίσης το επιχείρημα ότι η στρατηγική τοποθέτηση των έργων microworks »μαζί με μια πιθανή λύση στο πρόβλημα μάσκα μπορεί να οδηγήσει σε εμπορικά βιώσιμη x-ray LIGA.

Αναφορές

1. LIGA και Εφαρμογές της? V. Saile, U. Wallrabe, O. Tabata, JG Korvink (επιμ.)? Wiley, 2009, ISBN: 978-3-527-31698-4
2. FELIG: Modulare Fertigungsstraße für Mikrobauteile über Röntgentiefenlithographie und Galvanik? Έργο χρηματοδοτείται από το Γερμανικό Υπουργείο Παιδείας και Έρευνας, 2005-2009? http://www.imt.kit.edu/downloads/FELIG-Broschuere.pdf (στα γερμανικά)
3. INNOLIGA: Καινοτόμες Αντισταθείτε-und Direkt-ΛΙΓΑ-Technologieentwicklung für eine ενοικιάσιμος Fertigungsmethode für LIGA-Präzisionsteile für KMUs mit einem STABIL arbeitenden Ρέντγκεν-Negativresist? Έργο χρηματοδοτείται από το Γερμανικό Υπουργείο Παιδείας και Έρευνας, 2007 - 2010 με αριθμό συμβολαίου 16SV3522
4. EW Becker, W. Ehrfeld, Π. Hagmann, Α. Maner, και Δ. Muenchmeyer, "Κατασκευή μικροδομές με υψηλής Aspect Δείκτες και τη Μεγάλη διαρθρωτικών Heights από Λιθογραφία Ακτινοβολίας Σύγχροτρον, Galvanoforming, και Πλαστικά Moulding (LIGA Process)," Μικροηλεκτρονικής Engineering, vol. 4, σελ. 35ff, 1986.
5. Βλ. το άρθρο του Jost Göttert σε: ΛΙΓΑ και Εφαρμογές της? Volker Saile, Ulrike Wallrabe, Osamu Tabata, Jan Korvink Γ. (επιμ.)? Wiley, 2009, ISBN: 978-3-527-31698-4
6. «Η δημιουργία του έργου σχεδιάζει να εστιάσει την ανάπτυξη του προϊόντος», Σ. Wheelright, Κ. Clark, Harvard Business Review, Μάρτιος-Απρίλιος 1992, σελ. 2-14

Copyright AZoNano.com, MANCEF.org