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डॉ. Joachim Schulz द्वारा
जिन विषय
सार
परिचय
एक LIGA की अद्वितीय सुविधाएँ वर्णन करने का प्रयास
बाजार की जरूरत के दृश्य में वर्षों ओवर LIGA
LIGA और मोल्डिंग
Synchrotrons के लिए पहुंच
LIGA मानक
LIGA मुखौटे
Microworks दृष्टिकोण
निष्कर्ष
सार
पिछले दशकों में, कई अनुप्रयोगों वाणिज्यिक LIGA के लिए व्यवहार्य (Lithographie, Galvanoformung, Abformung (लिथोग्राफी, विद्युत मोल्डिंग, और)) के रूप में प्रस्तावित किया गया है. हालांकि, उनमें से ज्यादातर सिलिकॉन MEMS के माध्यम से बाजार में धकेल दिया गया या भी क्लासिक microdrilling और micromilling. तिथि करने के लिए, एक वाणिज्यिक नहीं एक एक्स - रे LIGA प्रयास समृद्ध है और शैक्षिक LIGA केन्द्रों के लिए समर्थन लुप्त होती है. हालांकि, लेखकों का मानना है कि LIGA - लेंस, सटीक apertures आदि जैसे एक्स - रे ऑप्टिकल तत्वों सहित LIGA अनुप्रयोगों, के लिए वर्तमान मांग LIGA के लिए एक दूसरे भोर के आगमन है.
यह कागज एक और अधिक अतीत के तकनीकी सिंहावलोकन और LIGA के भविष्य से सामरिक दे देंगे.
परिचय
1990 में, LIGA के लिए MEMS एक पेसमेकर प्रौद्योगिकी, त्वरण सेंसर या ऑप्टिकल इलेक्ट्रॉनिक पढ़ने के बाहर सर्किट के साथ एकीकृत उपकरणों जैसे कई स्मार्ट प्रणालियों के लिए इस्तेमाल किया था. यह पहली LIGA प्रचार के कई अलग अलग शो पीस है कि एक प्रभावशाली तरीका है कि प्रौद्योगिकी बहुत बहुमुखी है में साबित हुई. यहां तक कि micropumps LIGA का उपयोग कर किए गए थे, हालांकि आवेदन के इस तरह वास्तव में LIGA की अनूठी विशेषताओं के किसी भी उपयोग नहीं करता. जब शैक्षणिक प्रकाशन के अपने तिथियाँ, इन LIGA प्रणालियों के कई प्रतिस्पर्धा प्रौद्योगिकियों से इसी तरह की प्रणाली पहले से न्याय. अभी तक बाजार पर LIGA सफलता अभी तक नहीं हुआ है. क्यों नहीं?
सबसे स्पष्ट कारणों से कर रहे हैं कि बड़ी कंपनियों द्वारा सिलिकॉन Micromechanics जैसे अन्य प्रौद्योगिकियों धकेल दिया गया, और EDM जैसे क्लासिक प्रौद्योगिकियों, मिलिंग, ड्रिलिंग, और जैसे कई छोटे और मध्यम आकार की कंपनियों द्वारा धक्का दिया गया था कभी अधिक चुनौतीपूर्ण ठीक सुविधाओं को प्राप्त करने के. तो पहली नज़र में ऐसा लगता है कि नहीं पर्याप्त इंजीनियरिंग प्रयास LIGA क्षमताओं की उन्नति में डाल दिया था.
सार्वजनिक संस्थाओं को भी दोष का हिस्सा हो सकता है: LIGA केन्द्रों में से कोई भी कभी मुक्त बाजार पर अपने पैसे कमाने के लिए मजबूर किया गया था. अभी तक एक और कारण हो सकता है कि LIGA बस बहुत जटिल समय लेने और महंगी है. और अंत में, जबकि अन्य प्रौद्योगिकियों के बहुत थोड़ा उन्नत है और micropatterned संरचनाओं में और अधिक कार्यक्षमता को समायोजित करने के लिए पर्याप्त जटिलता पहुँच LIGA अभी भी गंभीर है कई मुखौटा स्तर और सामग्री के केवल एक मुट्ठी भर के लिए सीमित विकल्पों के साथ एक सब्सट्रेट पर अनिवार्य रूप से दो आयामों को प्रतिबंधित.
उपरोक्त तर्क के सभी कुछ सच्चाई सहन. फिर भी, microworks का मानना है कि हाल के वर्षों में और बाजार की जरूरतों में LIGA तकनीकी प्रगति इतना है कि वहाँ LIGA के लिए niches जाएगा विलय कर रहे हैं. एक लम्बे समय से आला microgears है. एक और एक वर्तमान में synchrotrons से एक्स - रे ऑप्टिकल तत्वों के लिए मांग के द्वारा प्रेरित किया जा रहा है. अन्य उदाहरण में सूचीबद्ध किया जा सकता है.