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博士ヨアヒムシュルツ
トピックがカバー
抽象的な
はじめ
LIGAのユニークな特徴を説明しよう
市場ニーズのビューで何年もLIGA
LIGAと成形
シンクロトロンへのアクセス
LIGA規格
LIGAマスク
Microworks"アプローチ
結論
抽象的な
過去数十年にわたって、多くのアプリケーションは、LIGA（Lithographie、Galvanoformung、Abformung（リソグラフィー、めっき、および成形））のための商業的に実行可能として提案されている。しかし、それらのほとんどは、シリコンMEMSを経由して市場に押し込まれた、あるいは古典的なmicrodrillingとmicromilling。日付にではなく、単一の商用X線LIGAの努力は、繁栄しており、学術LIGAセンターのサポートは、フェージングです。しかし、著者はそのようなLIGA -レンズ、精密開口部などのX線光学素子を含むLIGAアプリケーション、、現在の需要は、LIGA第二夜明けの到来であると信じています。
本論文では、LIGAの過去と未来の技術概要をより戦略的に提供します。
はじめ
1990年代に、LIGAは、加速度センサや読出し電子回路と一体化光デバイスなど、多くのスマートなシステムに使用されるMEMS用ペースメーカーの技術であった。この最初のLIGAの誇大広告では、技術は非常に汎用性であることを印象的な方法で証明した様々な展示品となりました。てもマイクロポンプは、この種のアプリケーションが本当にLIGAのユニークな機能のいずれかを利用していないものの、LIGAを用いて行った。学術出版物のそれぞれの日付から判断すると、これらのLIGAシステムのいくつかは、競合技術から同様のシステムを先行していた。まだ市場に出回ってLIGAの突破口はまだ起きていない。なぜか？
最も明白な理由は、なるようにシリコンのマイクロメカニクスのような他の技術は、大企業に押されたされ、そしてそのようなEDM、フライス加工、穴あけなどの古典的な技術がこれまで以上に困難な細かい機能を達成するために、多くの中小企業が押されていること。そうそれは十分ではエンジニアリング作業のような一見するとLIGAの機能の進歩に入れていた。
公的機関も責任を共有する場合があります。LIGAセンターのいずれも、これまで自由市場にお金を稼ぐことを余儀なくされていません。まだもう一つの理由は、LIGAは単にかかり、高価すぎて複雑な、時間あることかもしれません。他の技術はかなり進んでいるし、マイクロパターンの構造に多くの機能を収容するのに十分な複雑さに達している間、そして最後に、、LIGAは依然として厳しく、限られたいくつかのマスクレベルのオプションと材料のほんの一握りで基板上に本質的に2次元に制限されています。
上記の全ての引数はいくつかの真実を負担する。それにもかかわらず、microworksはLIGAの技術の近年の進歩と市場のニーズは、LIGA用のニッチがあることがそんなにマージしていると確信しています。一つの長年のニッチは、マイクロギヤです。もう一つは、現在、X線光学素子用シンクロトロンからの需要によって刺激されています。他の例は、指定されている場合があります。