Sistemas Electromecánicos Micros MEMS - Medición de las Características y de las Dimensiones Superficiales

Por los Editores de AZoNano

Índice

Introducción
Metrología
     Medición de la Tosquedad
     Altura del Paso De Progresión de Supervisión
     Dimensiones Laterales
Taylor Hobson

Introducción

Los sistemas Microelectromecánicos se están utilizando para una variedad de aplicaciones tales como bombas, dispositivos de visualización del micromirror, y sensores microfluidic de la aceleración y de la presión. Las unidades de MEMS amplían las técnicas de la fabricación utilizadas en la industria de IC a los componentes mecánicos de la producción tales como haces, diafragmas, y engranajes que conectan. La medición Exacta de estos componentes es crucial en poder satisfacer la demanda cada vez mayor para las unidades de alta calidad, baratas de MEMS.

Metrología

Medición de la Tosquedad

La Medición de la tosquedad dentro de unidades de MEMS activa el mando de las acciones recíprocas superficiales, con independencia de si son acciones recíprocas de sólido a líquido o macizo a las acciones recíprocas sólidas. Las acciones recíprocas De sólido a líquido se encuentran en bombas del microfluid mientras que es sólido a las acciones recíprocas sólidas son comunes en sistemas microgear.

Altura del Paso De Progresión de Supervisión

La medición de la altura del Paso De Progresión de las unidades de MEMS es crucial para vigilar el funcionamiento del dispositivo. La altura del Paso De Progresión, además de proporcionar a la información de dimensión lateral, también proporciona a la buena aproximación en masa que afecta la frecuencia oscilante de los componentes presentes en el dispositivo.

Dimensiones Laterales

Las dimensiones Laterales son críticas para analizar sistemas hidráulicos y microgears. La Medición de la superficie y del volumen, además de medir dimensiones vitales tales como ancho de haz, ayuda en controlar el funcionamiento del dispositivo final.

 

Taylor Hobson

Taylor Hobson es una compañía de la tecnología de la ultra-precisión operatoria en los niveles más altos de exactitud dentro del campo de la metrología de la superficie y del formulario. Proveen del contacto y de soluciones sin contacto de la medición a las aplicaciones más exigentes en una base global, una infraestructura mundial para apoyar a nuestros clientes, dondequiera que puedan ser.

Esta información ha sido originaria, revisada y adaptada de los materiales proporcionados por Taylor Hobson.

Para más información sobre esta fuente, visite por favor a Taylor Hobson.

Date Added: Apr 8, 2011 | Updated: Jun 18, 2013

Last Update: 18. June 2013 10:52

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