表面の質および形式の分析のためのスタイラスそして光学表面の型彫機

AZoNano 著

目録

スタイラス型彫機
     タイプのスタイラス型彫機
     アプリケーション
光学表面の型彫機
     アプリケーション
ロット Oriel

スタイラス型彫機

スタイラス型彫機は両方の第 2 および 3D 形式で使用できます。 次のセクションは使用できるスタイラス型彫機およびアプリケーションの 2 つの主なタイプの細部を提供します。

タイプのスタイラス型彫機

2 つのタイプのスタイラス型彫機はアルファステップ (D100 および D120) であり、 P6 および P-16+3D は長く型彫機をスキャンします。

  • アルファステップスタイラス型彫機は 55mm および 0.3mg 力制御までスキャンを提供する基本的なモデル型彫機です。 それらは 1.2mm Z の範囲、ステッチのソフトウェアおよび圧力の測定のためのオプションと来ます。
  • P6 および P-16+ 3D 長いスキャンは 300mm までスキャンおよびウエファーの圧力管理およびパターン認識のマップのオプションを持っていることを提供する高度スタイラスポインターです。

アプリケーション

スタイラス型彫機は半導体、 MEMS、データ記憶、物質科学および光電子工学の多くのアプリケーションを見つけます。

  • 型彫機の半導体のアプリケーションは CMP のモニタリングおよび隆起の度量衡学です。
  • 型彫機は物質科学アプリケーションの薄膜の厚さおよび荒さおよび圧力分析の測定で使用されます。
  • MEMS フィールドの腐食のレートそして堀の深さの分析はスタイラス型彫機を使用して行われます。
  • 光電子工学では、 microlens および拡散器の形は型彫機を使用して断固としたです。
  • それらは薄膜ヘッド構造を定義するためのデータ記憶でも使用され、ディスク端は転がり落ちます。

光学表面の型彫機

型彫機のこのカテゴリで私達に 250 ミクロン Z の範囲との速く急な打撃の測定のひとときを過ごすマイクロ XAM-100 光学型彫機があります。 画像のステッチし、自動マップする自動車はマイクロ XAM-100 型彫機と可能です。

マイクロ XAM-100 光学型彫機

アプリケーション

光学表面の型彫機はいろいろなアプリケーションで使用されます。 それらは表面の質および形式の分析の測定の精密ステップ高さでおよび薄膜の圧力を定めるために使用されます。 それらは物質的な性格描写の調査で使用されます。 光学型彫機の他のアプリケーションは 3D イメージ投射、 MEMS および生物的調査を含んでいます。

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Date Added: May 6, 2011 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 07:02

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