차례
배경 반도체 산업의 과제 반도체는 나노기술을 만나보세요 반도체 재료 분석 전자 현미경 전자 현미경이 필요되는 분야 충성의 NanoSolutions가 제공하는 충성 Nanosolutions SEM 및 TEM 서비스 충성의 Nanosolutions가 제공하는 기타 분석 서비스 충성의 NanoSolutions 소개 배경
반도체 시장 및 기술은 빠르게 발전하고 있으며, 지금까지 몇 가지 중요한 발전은 전자, 컴퓨터 등 레이저와 같은 광학 장치, 발광 다이오드 및 태양 전지 패널의 영역에서 자리를 차지하게있다. 무어의 법칙에 따라 컴퓨터 칩은 단순한 집적 회로에서 트랜지스터의 수백만을 가진 마이크로 프로세서로 진화했다. 점점 더 높은 성능의 반도체 제품에 대한 수요가 점점 더 복잡한 회로, 적은 공간에 더 많은 트랜지스터와 디바이스를 생산하여 대응하는 산업을 자극하고 있습니다.
반도체 산업의 과제
그 결과, 반도체 제조 산업은 고순도 재료, 복잡한 장비 및 단계 수백 참여, 매우 복잡한되고 있습니다. 반도체 산업은 혁신적인 접근 방식의 전례 합류를 관리하고 공동 통합 발굴 작업에 직면해 있습니다. 이러한 혁신적인 접근 방식의 도입과 새로운 자료는 단위 공정 개발 및 프로세스 통합을위한 모두 동시에, 여러 가지의 도전의 새로운 집합을 제기.
반도체는 나노기술을 만나보세요
또한 반도체 산업은 나노미터 스케일에서 작동하도록 점점 시도, 고급 반도체 공정은 이미 잘 100nm, 나노 테크놀로지에 대한 임계값 아래 자리하고있다. 반도체 소자의 크기와 성질이 줄어들고 있으므로, 그것은 실패 분석 및 기타의 장치 레벨로 조사하는 엄청나게 복잡한되어 테스트 . 차례로, 더 나은 품질 관리 목적을 위해 작은 geometrics에서 일할 수있는 고급 측정 기기 분석에 대한 큰 수요가있다.
반도체 재료 분석
반도체 재료는 여러 가지 구조 형태에 존재하기 때문에 자신의 분석을위한 실험 기법의 넓은 범위를 필요로합니다.
전자 현미경
특히, 전자 현미경 기술은 나노 및 마이크로 장치 기능의 특성을 분석하는 데 사용됩니다. 전자 현미경에서 제공하는 높은 해상도 이미지와 공간적 규모 분석은 특히 연구 개발, 생산 공학, 안정성 중 발생 자료의 문제 해결에 적합 테스트 반도체 산업의 실패 분석합니다.
기본적으로 재료 연구에 사용되는 전자 현미경 기술의 두 종류가 있습니다 :
- 스캐닝 전자 현미경 (SEM)과
- 전송 전자 현미경 (TEM, 줄기, 뱀장어)
전자 현미경이 필요되는 분야
전자 현미경 분석은 다음과 같은 분야에서 필요합니다 :
- 표면 특성 및 표면 분석
- 실리콘에 대한 물질의 증착의 성장 현상,
- 마이크로 / 나노 구조 반도체의 결정,
- 레이어를 수행 증착 후 실리콘에 대한 상호 확산 연구
- 반도체 칩 위에 레이어 형태의 결함 검출
- 반도체의 두 레이어 사이의 스트레스와 스트레인 분석
- 오류 연구 및 반도체 장치의 분석
- 불순물을 포함하여 표면 화학 원소 매핑,
- 박막 두께 검출
충성의 NanoSolutions가 제공하는
반도체 업체들이 핵심 경쟁 우위로서 생산 능력과 제조 공정에 집중하는 동안, 테스트 충성의 NanoSolutions 서비스의 포괄적인 범위의 제공 분석 시험 최종 제품 평가에 초기 단계의 발전을 분석하는 고객을 도울 수 서비스. 충성의 NanoSolutions의 업계와 전문가 작업 각종 같은 회로 레이어의 두께 및 정렬과 같은 반도체 특성 및 특정 장치 영역의 추적 화학 성분의 측정을 향상시킵니다.
충성 Nanosolutions SEM 및 TEM 서비스
충성은 SEM과 TEM 분석을 제공하는 기능이 있습니다. 외에도 기본 현미경 이미지에서 우리는 테스트되고있는 재료의 특성에 연구자를 이해하는 데 도움이 보고서를 제공합니다. 우리는 또한 최종 제품에서이 소재의 사용을 평가하기위한 재료의 고급 분석 추가 도움말을 제공합니다. 우리는 또한 추가로 제공할 수있는 컨설팅 자신의 프로젝트 요구에 근거합니다.
충성의 Nanosolutions가 제공하는 기타 분석 서비스
충성의 NanoSolutions가 반도체 애플 리케이션의 나노 제품을 개발하고자하는 사람들을 위해 서비스 범위를 제공합니다. 이들은 다음과 같습니다 :
- AFM - 박막의 표면 특성, 원소 식별 및 구성, 리소그래피 패턴 특성화 및 Nanofabricated 패턴을 지원하는 원자 강제 현미경, nanomaterials 표면 이미징
- SEM - 높이의 2D, 3D 특성화 및 나노 물체, 박막 코팅 및 필름의 두께 측정의 가로 크기를 지원하는 스캐닝 전자 현미경
- TEM - 입자 크기 및 형상 분석, 입자 크기 분포, 그리고 crystallographic 단계의 결정을 지원하는 전송 전자 현미경
충성의 NanoSolutions 소개
충성의 NanoSolutions이 제공하는 분석 테스트 및 컨설팅 서비스를 새로운 나노 및 마이크로 기술을 기반으로 제품과 회사에 있습니다. 우리 시설과 함께 시작 때도, 중간 규모 및 대규모 상업 및 산업 단체뿐만 아니라 북미 전역에 정부 기관을 도와 분석 테스트 솔루션을 제공합니다. 충성의 NanoSolutions는 또한 나노 기반 연구 프로그램 및 민간 산업 및 정부 기관에 대한 계약 제조의 광범위한 스펙트럼을 지원합니다.
출처 : 충성의 Nanosolutions
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