コブラ ICP ソースを使用して Nanoscale のエッチング

AZoNano 著

目録

導入
Nanoscale のエッチングで直面される挑戦
コブラソース
オックスフォードの器械血しょう技術について

導入

オックスフォードの器械血しょう技術は (OIPT) 100 nm の下で数年の形状のための nanoscale のエッチングで動作して、それらは材料の ` のポートフォリオに絶えずエッチングされる」付け加えています。 新しいコブラ ICP ソースの柔軟性は nanoscale のエッチングの容量の加速を可能にします。 OIPT はエッチングのツールとのだけまた成長および沈殿ツールとの成長するナノテクノロジーの回転を、開発するためによく確立されます。 それらは主要なナノテクノロジーの研究所の多数へそのようなツールの一流の製造者および世界の大学です。 このアプリケーションノートはメモリ、表示、新しい半導体の、光電子工学および量子計算装置に複数のアプリケーションがあるナノテクノロジーのエッチングの面に焦点を合わせます。

Nanoscale のエッチングで直面される挑戦

Nanoscale のエッチングは 2 つの基本的な理由のために基本的に困難です:

  1. より小さい機能を出入りする中立種の困難な輸送
  2. サイドウォールとしてイオンそして電子によって充満の高められた効果はすぐそばに得ます。 状態は通常より小さい装置のデザインの、側面収縮ある縦の収縮従ってアスペクトレシオの増加より多く事実によって混合します。

OIPT ICP のツールに低圧でけれども簡単な RIE と比較することができる低い (制御可能な) DC バイアスおよび高い血しょう密度と作動する機能があります。 低圧はガス段階衝突によって種の分散の減少によって異方性を高めます。

コブラソース

最新のコブラソースは次のオプションによって高められた柔軟性を提供します:

  1. 実行中のスペーサはイオン分布の単独制御を可能にし、電極を渡る最適化されたプロセス均等性を提供します。
  2. 脈打つこと: ICP ソース。 脈打つことは高められたアスペクトレシオのエッチングのために満たすウエファーを減らします。 それはまたイオン基の比率の調節に使用するかもしれません。 脈打つ低周波力で普通行われるバイアス力絶縁体が付いているインターフェイスでノッチを付けることを減り、アスペクトレシオの依存したエッチングを最小化します (ARDE)。

次参照される白書は nano 押印の石版印刷の特定地域の nanoscale のエッチングの複数の例をおよび光通信の水晶穴、またケイ素および他の雑多な腐食与えます。 図 1 および図 2 にここに示されている 2 つの例はアンダース Holmberg、 Biomedical および X 線の物理学、高貴な技術協会、ストックホルム、スウェーデンの好意によってあります。

-100°C の2 1. O のプロセス化学は HAR の異方性 nanoscale の polyimide のエッチングのためにシステム 100 ICP65 の低温の機能を使用します。 50 nm 半ピッチの polyimide 格子、 500 nm 高い (AR の 10:1) .10nm はチタニウムの堅いマスクを蒸発させました。 Polyimide の腐食のレート 100nm/min。

図 2. CL の2 プロセス化学は 10nm によって蒸発させたチタニウムの堅いマスクをエッチングする高いアスペクトレシオの異方性 nanoscale GE のためにシステム 100 ICP65 で使用しました。 GE 耳障りな GE の腐食のレート 100nm/min. 25 nm 半ピッチ 310nm 深く (AR 12: 1)。

オックスフォードの器械血しょう技術のサイトからの Colin のウェールズのダウンロード可能によって書かれる白書のオックスフォードの器械 ICP システムの総論の Nanoscale の完全なエッチングを読んで下さい。

オックスフォードの器械血しょう技術について

オックスフォードの器械血しょう技術は研究開発にかかわる顧客を処理する半導体に高性能、適用範囲が広いツールおよび生産の範囲を提供します。 彼らは 3 つのメインエリアを専門にします:

  • 腐食
    • RIE、 ICP、 DRIE、 RIE/PE のイオンビーム
  • 沈殿
    • PECVD、 ICP CVD、 Nanofab、 ALD、 PVD、 IBD
  • 成長
    • HVPE、 Nanofab

この情報はオックスフォードの器械血しょう技術によって提供される材料から供給され、見直され、そして適応させて。

このソースのより多くの情報のために、オックスフォードの器械血しょう技術を訪問して下さい

Date Added: Nov 16, 2011 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 09:28

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