Analyse von Dünnen Magnetischen Filmen Unter Verwendung der Gespritzten Neutralen Massenspektrometrie (SNMS)

Durch AZoNano

Inhaltsverzeichnis

Einleitung
SIMS und SNMS
Schlussfolgerung
Über Hiden Analytisch

Einleitung

Gespritzte Neutrale Massenspektrometrie ist für das Analysieren von dünnen Metallfilmen perfekt, in denen Zusammensetzungs-, Stärke- und Schnittstellenzustand entschlossen sein kann. Das Beispiel hier dargestellt, Shows ein den Magnetfilmstapel, der Cr enthält, Ni, Cu und F.E. Von den verschiedenen Methoden des Datenspeichers, bieten magnetische Festplatten noch in hohem Grade wirtschaftliche Mittelwerte für Schnellzugriff mit hoher Schreibdichte an. Die kontinuierliche Bewegung in Richtung in Richtung den mehr und mehr kompakten Lese-Schreibköpfen und zu den räumlich knapp bemesseneren Datenspuren hat, zu eine beträchtliche Entwicklung von magnetischen Materialien und von Zellen für diese fordernde Anwendung zu führen. Analyse der metallischen Schichtzellen, die im magnetischen Datenspeicher verwendet werden, ist zu Entwicklung und Qualitätssicherung mit Sekundärionenmassenspektrometrie und (SIMS) gespritzter neutraler Angebotinformation der (SNMS) Massenspektrometrie über geringe und bedeutende Elementzusammensetzung beziehungsweise wesentlich.

SIMS und SNMS

Verwenden SIMS und SNMS einen starken, Mono, energie-, chemisch reinen Ionenträger von Kev gewöhnlich 1-10 zu spritzen abfressen die Oberfläche unter Studie. Ein kleiner Bruch des gespritzten Materials erhält ionisiertes wegen des Spritzenprozesses selbst und in SIMS, ist es diese Ionen, die die vertrauliche Information anbieten, für die die Technik bekannt. Sein eine Massenspektrometrietechnik, alle Elemente und Isotope wird entdeckt möglicherweise, und in den vorteilhaften Bedingungen kann die Nachweisgrenze in der niedrigen ppb Region sein. Jedoch weil die Ionisierungsvorrichtung für SIMS an der Beispieloberfläche stattfindet, ist- sie von der lokalen Chemie sehr viel abhängig und der ionisierte Bruch kann durch einige Größenordnungen schwanken. Dieses macht SIMS-Ideal für Spurenanalyse in den Materialien der bekannten Grundmasse, aber Quantifikation in den Materialien der ändernden Grundmasse kann schwierig sein. SNMS gleicht den „Grundmasseeffekt“ aus indem es die Spritzen und Ionisierungsereignisse sich trennt.

Sogar im hohen Ion überschreitet das Erbringen Situationen des Bruches der Ionen selten 1% des gespritzten Materials, also ist das neutrale Magnetfeld von der Beispielzusammensetzung repräsentativ. Ionisierung für SNMS findet in einer Elektronenbeschusszelle an der Vorderseite des Analysegeräts statt, also bedeutet es, dass die Ionisierungswahrscheinlichkeit eine Konstante ist und nicht nach der Beispielchemie abhängt. Um SIMS mengenmäßig zu bestimmen ist es wichtig dass das Referenzmaterial dem Unbekannten als mögliches so ähnlich ist und vom gleichen Matrixmaterial zweifellos sein muss. Für SNMS ist dieses Grundmasseübereinstimmen von Referenzmaterialien, da Kalibrierungsfaktoren nicht mit Grundmasse deshalb ändern, die erforderlichen Empfindlichkeitsfaktoren kann vom leicht erhältlichen Metall und von den keramischen Proben der erschienenen Zusammensetzung entschlossen sein unnötig.

Weiter ist SNMS für die Analyse von Isolatoren ideal, da die neutralen Spezies durch die aufladende Probe unberührt sind, jedoch Ladungsausgleich noch ratsam ist, um konsequente Hauptträgerzustände beizubehalten.

Die ionisierten Sekundärpartikel werden im Massenspektrometer studiert und entdeckt. An der sehr niedrigen Ionenstrahlstromanalyse wird auf dem Spitzen wenige monomolekulare Schichten begrenzt, die für Befund der Oberflächenverunreinigung ausgezeichnet sind. Da die Ionenträgerdosis erhöht ist- und das Spritzen aggressiver wird, nachfolgend werden tiefere Schichten und Konzentration freigelegt, während Funktion der Tiefe gekennzeichnet werden kann. Unter Verwendung eines fokussierten Ionenträgers werden SIMS und SNMS räumlich lösend und elementare Bilder können aufgezeichnet werden.

Schlussfolgerungen

Die Analyse, die hier gezeigt wurde, wurde unter Verwendung des Arbeitsplatzes Hiden SIMS, eines kompletten und in hohem Grade flexiblen Instrumentes des Quadrupols SIMS/SNMS gemacht, die mit dem Gewehr des Gases IG20 Ionenund dem Analysegerät DER MAXIME SIMS/SNMS ausgerüstet wurden.

Über Hiden Analytisch

Analytisches Hiden ist ein führender Hersteller von Quadrupol-Massenspektrometern für Forschung und für Verfahrenstechnik. Ihre Produkte Unsere Produkte adressieren eine verschiedene Benutzungsmöglichkeit einschließlich:

  • Präzisionsgasanalyse
  • Plasmadiagnostik durch direktes Maß von Plasmaionen- und -ionenenergie
  • SIMS-Fühler für UHV-Oberflächenwissenschaft
  • Katalysenleistungsquantifikation
  • Thermo-Gravimetrische Studien

Diese analytischen Instrumente werden konstruiert, um über einer Druckreichweite zu arbeiten, die sich unten von 30 Gerichtsprozessen auf UHV/XHV ausdehnt.

Diese Informationen sind Ursprungs- angepasst gewesen, wiederholt und von den Materialien, die von Analytischem Hiden bereitgestellt werden.

Zu mehr Information über diese Quelle, Analytisches bitte besuchen Sie Hiden.

Date Added: Jan 21, 2012 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 09:21

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