Análisis de Películas Magnéticas Finas Usando la Espectrometría de Masa Neutral Chisporroteada (SNMS)

Por AZoNano

Índice

Introducción
SIMS y SNMS
Conclusión
Sobre Hiden Analítico

Introducción

La Espectrometría de Masa Neutral Chisporroteada es perfecta para analizar las películas finas del metal donde la condición de la composición, del espesor y del interfaz puede ser resuelta. El ejemplo presentado aquí, demostraciones a la pila de película magnética que comprende el Cr, Ni, Cu y FE. De los métodos diferentes de almacenamiento de datos, los discos duros magnéticos todavía ofrecen los medios altamente económicos para el acceso rápido de alta densidad. El movimiento continuo hacia las cargas de lectura/grabación cada vez más compactas y los carriles de datos más de cerca espaciados tiene llevar a un considerable revelado de materiales y de estructuras magnéticos para esta aplicación exigente. El Análisis de las estructuras de capa metálicas usadas en almacenamiento de datos magnético es vital para el revelado y la administración de calidad con espectrometría de masa secundaria del ión (SIMS) y la información de ofrecimiento chisporroteada (SNMS) de la espectrometría de masa neutral sobre la composición de menor importancia e importante del elemento respectivamente.

SIMS y SNMS

SIMS y SNMS utilizan un haz de ión enérgico, químicamente puro concentrado, mono de keV típicamente 1-10 a chisporrotear erosionan la superficie bajo estudio. Una pequeña parte del material chisporroteado consigue ionizada debido al proceso sí mismo del chisporroteo y en SIMS, es estos iones que ofrecen la información delicada para la cual se sabe la técnica. El Ser una técnica de la espectrometría de masa, todos los elementos e isótopos puede ser detectado, y en condiciones favorables el límite de detección puede estar en la región inferior del ppb. Sin Embargo, porque el mecanismo de la ionización para SIMS ocurre en la superficie de la muestra, es mucho relacionado en la química local y la fracción ionizada puede variar por varios órdenes de magnitud. Esto hace el ideal de SIMS para el análisis de trazo en materiales de la matriz sabida pero la cuantificación en materiales de la matriz cambiante puede ser complicada. SNMS vence el “efecto de la matriz” separando las acciones del chisporroteo y de la ionización.

Incluso en el alto ión el rendimiento las situaciones de la fracción de iones excede raramente el 1% del material chisporroteado, así que el flux neutral es más representativo de la composición de la muestra. La Ionización para SNMS ocurre en una célula del bombardeo del electrón en la parte del analizador, así que significa que la probabilidad de la ionización es un constante y no depende de la química de la muestra. Para cuantificar SIMS es importante que el material de referencia sea tan similar al desconocido como posible y debe ciertamente estar del mismo material de matriz. Para SNMS, el este corresponder con de matriz de los materiales de referencia es innecesario, como los factores de la calibración no cambian con la matriz por lo tanto, los factores requeridos de la sensibilidad puede ser resuelto del metal fácilmente disponible y de las muestras de cerámica de la composición publicada.

Además, SNMS es ideal para el análisis de aisladores, pues las especies neutrales son inafectadas por la muestra que carga, sin embargo, la remuneración de la carga es todavía recomendable para mantener condiciones primarias constantes del haz.

Las partículas secundarias ionizadas se estudian y se detectan en el espectrómetro de masas. En el análisis muy inferior de las corrientes del haz de ión se linda al superior pocas capas monomoleculares, excelentes para la detección de la contaminación superficial. Pues la dosis del haz de ión es aumentada y el chisporroteo llega a ser más agresivo, capas más profundas se exponen posteriormente y concentración mientras que la función de la profundidad puede ser determinada. Usando un haz de ión enfocado, SIMS y SNMS llegan a ser espacial de resolución y las imágenes elementales pueden ser registradas.

Conclusiones

El análisis mostrado aquí fue hecho usando el puesto de trabajo de Hiden SIMS, un instrumento completo y altamente flexible del tetrapolo SIMS/SNMS equipados de la pistola de ión del gas IG20 y del analizador de la MÁXIMA SIMS/SNMS.

Sobre Hiden Analítico

Hiden Analítico es fabricante de cabeza de espectrómetros de masas del tetrapolo para la investigación y para la ingeniería de proceso. Sus productos Nuestros productos dirigen un rango de aplicaciones diverso incluyendo:

  • Análisis de gas de la Precisión
  • Diagnósticos de Plasma por la medición directa de las energías de los iones y del ión del plasma
  • Antenas de SIMS para la ciencia de la superficie de UHV
  • Cuantificación del funcionamiento de la Catálisis
  • Estudios Termogravimétricos

Estos instrumentos analíticos se diseñan para trabajar sobre un rango de presión que extiende a partir de 30 procesos de la barra hacia abajo a UHV/XHV.

Esta información ha sido originaria, revisada y adaptada de los materiales proporcionados por Hiden Analítico.

Para más información sobre esta fuente, visite por favor Hiden Analítico.

Date Added: Jan 21, 2012 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 09:51

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