There is 1 related live offer.

Save 25% on magneTherm

Активный Магнитный Обзор MNEMS

Prof. Hans H Gatzen

Prof. Рука H Gatzen, Leibniz Universitaet Ганновер, Центр для Технологии Продукции, Института для Микро- Технологии Продукции, Der Universitaet 2, 30823 Garbsen, Институт Технологии Германии, Карлсруэ, Институт для Технологии Микроструктуры,
Herrmann-von-Helmholtz-Platz 1, 76344 Eggenstein-Leopoldshafen, Германия. Соответствуя автор: gatzen@impt.uni-hannover.de

Введение

Для микро- и nano электро-механических систем (MNEMS), 2 физических принципа одалживая в частности хорошо для быть исполненным в тонкопленочной технологии: электростатический и электромагнитный принцип (плюс, строго говорить, электродинамическое одно). Сравнено к электростатическим приборам, электромагнитные одни более робастны, способны достигать более высоких усилий, но также более сложны и более менее применимы для весьма миниатюризации. 2 типа магнитных сил которые могут быть использованы: (1) усилия Максвелла прикладные в переменном подходе к магнитного сопротивления (уменьшена длина воздушного зазора между 2 полюсами) и (2) Лоренцовы сила, при настоящий проводник нося будучи подверганной действию к магнитному B-Полю. Пока разнообразие научно-исследовательские работы в различных сферах применения, все еще существенное отсутсвие коммерциализации, по мере того как мы увидим.

Оптически Применения

Институт Технологии Карлсруэ (НАБОР), Германия, развил тонкопленочный привод принимая преимущество сегнетомагнитного сплава памяти формы (FSMA). Он позволяет контролировать навальное micromirror с 2 степенями свободы. Принцип возбуждения основан на сегнетомагнитном и martensitic (которое немагнитно) преобразовании. Система предназначена для пользы как оптически блок развертки. Leibniz Universitaet Ганновер (LUH), Германия, начало ferrofluidic microactuator предложенное для электромагнитный контролировать приспособительной микро--оптически системы. Latter состоит из блока microcoils для манипулировать положение ferrofluidic затыкает внутри microchannel. Путем смещать штепсельную вилку ferrofluid, двинута и формирует оптически активная жидкость жидкостный объектив с регулируемым фокусное расстояниое.

Microfluidic и Биомедицинские Применения

Университет Ajou в Сувоне, Южной Корее, начал microactuator с 3 диафрагмами которыми можно управлять индивидуально. Привод состоит из parylene диафрагм, спиральн медных катушек, и постоянных магнитов. Другой пример micropump микросистема начатая Университетом Hsinchu в Тайвани предназначил для пневматических применений. Он отличает приводом мембраны эластомера с semi-врезанной катушкой.

Привлекательный подход для транспортировать биологические смеси спрягает их к магнитным шарикам. Университет Нагоя в Японии начал систему для магнитного взволнования шарика, совмещать разнослоистые плоские катушки в технологии кабеля гибкого трубопровода с постоянным магнитом. LUH начало микросистему для магнитной усили-увеличенной поставки гена. Спрягать гены с магнитными nanoparticles позволяет для магнитной манипуляции этих комплексов. Магнитное microactuator отличает рядком индивидуально excitable полюсов для магнитно срабатывать эти комплексы.

Государственный Университет Аризоны в Tempe, Аризоне, начал microspeaker MEMS для применений слышать. Результат польностью интегрированное, электромагнитно сработанное microspeaker с дискретным, скрепленный воск, магнит частиц Nd-Fe-B. LUH конструировало сервировку microactuator как implantable аппарат для тугоухих для того чтобы отжать ambylacousia. Привод состоит из механически системы содержа плунжер, босс, и мембрану так же, как электромагнитный прибор содержа систему катушки, мягкие направляющие выступы магнитного потока, и закрытие потока расположенное под механически системой. И физиологопсихологические ограничения в среднем ух ухе и улиткаа определили maximal размер microactuator. Механически система была передовыми конструированная по отношению к резонирующей частоте.

Сообщения и Компьютерная Технология

Различные подходы для того чтобы дирижировать тип переключатели исследования MEMS RF (т.е. microrelays для применений частоты RF. Университет Восточного Китая Нормальный в Шанхае, PRC, начал бистабильн электромагнитное microactuator. Свой след ноги 2 mm x 2,2 mm. Te требовало импульса тока 50 mA; время переключения 20 µs. Университет в Orono, Мэн, развил Двухнаправленный электромагнитный привод. Он изготовлен на одиночной вафле, при microcoil Au, мембрана NiFe с поддержанными ногами и магнит Копта постоянный интегрированный в мембране. Подачи Фоторезиста как жертвенный слой прибавлять на верхняя часть для того чтобы сработать после завершения изготовления. Другие реальности дирижируя исследование на типе реле MEMS Университет Схвата Шанхая Jiao, PRC, UC Berkeley, Университет Миннесоты в Миннеаполисе, оба США, Технологический Университет Пекина, PRC, и Государственный Университет Луизианы в Батон-Руж, США.

Для достигать прочитанной оптимальной/напишите представление в Приводах Трудного Диска (HDD), головка записи выровняна совершенно с следом данных, котор нужно написать или, котор нужно прочитать. Достигает совершенного зарегистрирования следа, польза приводов двойн-этапа (DSA) предложены, что на довольно промежуток времени. Принимающ преимущество Микро- Электро-механической технологии (MEMS) Системы, LUH развило Слайдер с Интегрированным Microactuator (УМЕНЬШИТЕ) для пользы в Приводах Трудного Диска (HDD). Путем устанавливать прочитанное/напишите элемент на малом chiplet довольно на отставая крае слайдера, посылах конструкции стоиться конкурсное.

Автомобильное Применение

Хотя системы волчка для измерения рыскания датчики, они требуют возбуждения. Также альтернативные физические принципы прикладные, 2 самых важных одного диск и настраивать - вилка. Национальный Университет Cheng Kung в Tainan, Тайвани, начал тип гироскоп MEMS с взаимно вращая диском с электромагнитным приводом. Bosch, Германия начало электромагнитно управлять, настраивающ - тип волчок вилки для автомобильных применений. Старт продукции находился в 1998. Это кажется, что будет единственным электромагнитно сработанным прибором MEMS, который увидел крупносерийное производство.

Заключение

В исследовании, значительный интерес в электромагнитных и электродинамических приборах MNEMS. Многочисленние реальности исследования смотрели в различных применениях, приходя вверх с интересными разрешениями в зонах оптически, биомедицинского, сообщения и компьютерной технологии, так же, как автомобильной технологии. Однако, автомобильной кажется, что будет единственная область, которая увидела коммерциализацию магнитных микро- приборов возбуждения, интересно достаточно в поле воспринимать.

Авторское Право AZoNano.com, MANCEF.org

Date Added: Feb 19, 2012 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 09:48

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this article?

Leave your feedback
Submit