There is 1 related live offer.

Save 25% on magneTherm

Magnetisk MNEMS Överblick för Aktiv

Vid Prof. Hans H Gatzen

Prof.en Räcker H Gatzen, Leibniz Universitaet Hannover, Centrerar för ProduktionTeknologi, Institutet för MikroProduktionTeknologi, En der Universitaet 2, 30823 Garbsen, Tysklandet, det Karlsruhe Institutet av Teknologi, Institutet för MicrostructureTeknologi,
Herrmann-von-Helmholtz-Platz 1, 76344 Eggenstein-Leopoldshafen, Tyskland. Motsvarande författare: gatzen@impt.uni-hannover.de

Inledning

För mikro- och nano elektromekaniska system (MNEMS), finns det två läkarundersökningprinciper som lånar sig bestämt väl för utförande in, tunn-filmar teknologi: den elektrostatiska och elektromagnetiska principen (plus, tala strängt, den electrodynamic). Jämfört till elektrostatiska apparater, elektromagnetiska är mer robustt, kapabla av att uppnå högre styrkor, men också mer komplex och mindre tillämpbart för ytterlighetminiatyrisering. Det finns två typer av magnetiska styrkor som kan användas: (1) Maxwellstyrkor som appliceras i en variabelmotvillighet, att närma sig (längden av ett luftamellanrum mellan två poler minimeras), och (B-Sätter in 2) Lorentz styrkor, med bärande ledare för ström som en är utsatt till ett magnetiskt. Stunder där är en variation av forskningaktiviteter i olikt sätter in av applikation, där är stilla en verklig brist av commercializationen, som vi ska ser.

Optiska Applikationer

Det Karlsruhe Institutet av Teknologi (SATSEN), Tyskland, framkallade enfilma utlösare som tar fördel av ett ferromagnetic, formar minne legerar (FSMA). Det låter att kontrollera en bulk micromirror med två grader av frihet. Aktiveringsprincipen baseras på en ferromagnetic och martensitic (som är non-magnetisk), omformning. Systemet ämnas för bruk som en optisk bildläsare. Leibnizen Universitaet Hannover (LUH), Tyskland, framkallade en ferrofluidic microactuator som var föreslagen för elektromagnetiskt kontrollera av ett lämpligt mikro-optiskt system. Sistnämnden består av en samling av microcoils för behandling av placera av ett ferrofluidic pluggar i en microchannel. Genom att förflytta ferrofluiden, plugga, är bildar en aktivvätska rörd och optiskt en vätskelins med en justerbar brännvidd.

Microfluidic och BiomedicalApplikationer

Den Ajou Universitetar i Suwon, Sydkorea, framkallade en microactuator med tre membraner som kan vara drivande individuellt. Utlösaren består av parylene membraner, röra sig i spiral förkopprar spolar och permanent magneter. Ett Annat exempel av en micropump är en microsystem som framkallas av den Hsinchu Universitetar i Taiwan, ämnade för pneumatiska applikationer. Det presenterar en elastomermembranutlösare med eninbäddad spole.

Ett attraktivt att närma sig för transportering av biologiska sammansättningar konjugerar dem till magnetiskt pryder med pärlor. Den Nagoya Universitetar i Japan framkallade ett system för det magnetiskt pryder med pärlor agitation som kombinerar spolar för enlagrar lägenhet i sladdkabelteknologi med en permanent magnet. LUHEN framkallade en microsystem för magnetisk styrka-förhöjd genleverans. att Konjugera gener med magnetiska nanoparticles låter för den magnetiska behandligen av dessa komplex. Den magnetiska microactuatoren presenterar en ro av individuellt lättretada poler för aktivering magnetiskt av dessa komplex.

Den Arizona Delstatsuniversiteten i Tempe, Arizona, framkallade en microspeaker MEMS för utfrågningapplikationer. Resultatet är en fullständigt inbyggd, elektromagnetiskt aktiverad microspeaker med ett åtskild, vaxar obligations-, magnet för partiklar Nd-Fe-b. LUHEN planlade en microactuatorportion som en implantable hörapparat till den betagna ambylacousiaen. Utlösaren består av ett mekaniskt system som innehåller en dykare, en basa, och ett membran såväl som en elektromagnetisk apparat som innehåller ett spolesystem, mjuk magnetisk flux, vägleder, och en fluxstängning som lokaliseras under det mekaniska systemet. De Båda fysiologiska begränsningarna i en mitt gå i ax, och cochleaen definierade det maximalt storleksanpassar av microactuatoren. Det mekaniska systemet planlades främst med hänsyn till den resonant frekvensen.

Kommunikationer och Datateknik

Det finns olikt att närma sig till typ RF för uppförandeforskning MEMS kopplar (dvs. microrelays för RF-frekvensapplikationer. Den Östliga Kina Det normalaUniversitetar i Shanghai, PRC, framkallade en bistable elektromagnetisk microactuator. Dess fotspår är 2 en mm för en mm x 2,2. Te krävde strömmen pulserar är 50 mor; växlingtiden är 20 µs. Universitetar i Orono, Maine, framkallade en Dubbelriktad elektromagnetisk utlösare. Den fabriceras på ett singelrån, med en Aumicrocoil, det NiFe membranet med stöttat lägger benen på ryggen och en permanent magnet som Co-Halv liter integreras i membranet. Photoresistservar som ett sacrificial lagrar att låta för att den bästa delen ska aktivera efter avslutningen av fabriceringen. Andra enheter som förar forskning på MEMS-typrelär, är den Shanghai Jiao TongUniversitetar, PRC, Uc Berkeley, Universitetar av Minnesota i Minneapolis, båda USA, den Beijing Universitetar av Teknologi, PRC och den Louisiana Delstatsuniversiteten i Baton Rouge, USA.

För att uppnå en optimal läsa/skriva kapacitet i Hårda DiskettDrev (HDD), arrangera i rak linje ett inspelninghuvud perfekt med datan spårar för att vara skriftligt eller läsa. Att uppnå en göra perfekt spåra registreringen, bruket av dubbel-arrangerar utlösare (DSA) har föreslågits för ganska en stund. Ta fördel av MikroElektromekanisk System (MEMS)teknologi, framkallade LUHEN en Glidare med en Inbyggda Microactuator (BANTA), för bruk i Hårda DiskettDrev (HDD). Genom att förlägga den läsa/skriva beståndsdelen på en liten chiplet, på skugga kanta ganska av en glidare, designlöftena att vara kostar konkurrenskraftigt.

Automatisk Applikation

Även Om gyroskopsystem för girmätning är avkännare, kräver de en aktivering. Det finns också alternativa applicerade läkarundersökningprinciper, tvåna viktigast är en diskett och trimma - dela sig. Den medborgareCheng Kung Universitetar i Tainan, Taiwan, framkallade ett MEMS-typgyroskop med roterande en reciprocally diskett med elektromagnetiskt drev. Bosch Tyskland framkallade ett elektromagnetiskt drivande och att trimma - dela sig typgyroskopet för automatiska applikationer. Starten av produktionen ägde rum i 1998. Detta verkar för att vara den enda elektromagnetiskt aktiverade MEMS-apparaten, som sågar stordrift.

Avslutning

I forskning finns det ett betydligt intresserar i elektromagnetiska och electrodynamic MNEMS-apparater. Talrika forskningenheter har sett i olika applikationer som är kommande upp med intressant lösningar i områdena av optiskt, biomedicalen, kommunikationen och datateknik såväl som automatisk teknologi. Emellertid automatiskt verkar för att vara det enda området, som sågar commercialization av magnetiska mikroaktiveringsapparater, interestingly nog i sätta in av avkänning.

Ta Copyrightt på AZoNano.com, MANCEF.org

Date Added: Feb 19, 2012 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 14. June 2013 09:55

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this article?

Leave your feedback
Submit