FLUGHANDBUCH Confocal Raman u. Spitze Erhöhte TERS-Lösungen

Nanoscale-Darstellung ist ein sich rasch entwickelnder Bereich. Heutzutage gibt es einige Techniken, die für Beispielkennzeichnung erhältlich sind, aber jeder von ihnen wird anvisiert, um spezifische Informationen zu extrahieren. Es würde deshalb ideal sein, mehrere dieser Analysehilfsmittel zu haben, die in das gleiche Messverfahren ganz integriert sind, zum der vollen Kennzeichnung des Probenmaterials zu erzielen.

Das Integrations-Paket ist ein Paket des optischen Anschlusses, das entweder an das Raman-Mikroskop oder direkt an das Raman-Spektrometer anschließen kann. Der Vorteil ist, dass das FLUGHANDBUCH auf seinem eigenen Mikroskop sitzt, das vollständig von den Schwingungen von des Ramans dem Laser, von Spektrometer oder von CCD getrennt wird. Dieses erlaubt das FLUGHANDBUCH und den Raman zur Arbeit unter den besten Betriebsbedingungen.

Drei Konfigurationen für das Integrations-Paket sind erhältlich:

• Aufrechtes Mikroskop
• Umgekehrtes Mikroskop
• Doppelmikroskop (eine Kombination einer Senkrechte und des Umgekehrten Mikroskops).

Mit der kombinierten Anlage aufzuzeichnen ist möglich, parallel zu Raman, eine große Vielfalt von gescannten Fühlerdarstellungsmodalitäten. Zum Beispiel während die Si-Raman-Spitze eines Mikrokreislaufs geüberwacht wird, um Druck im Silikon zu entdecken, kann die Mikrotopographie der Schaltung durch FLUGHANDBUCH sowie sein NSOM-Reflexionsvermögen oder seine elektrischen Eigenschaften, wie die Dotierungskonzentration gleichzeitig gemessen werden (Feige. 3).

Darüber hinaus stellt Nanonics eine Software zur Verfügung, die sofort alle diese Bilder, für direkten und simultanen Vergleich und Analyse anzeigt.

Abbildung 3. Parallele Darstellung von einem Silikon-Halbleiter. μm 9x7² FLUGHANDBUCH-Bild (gelassen) und Raman-Intensität der gleichen Region bei 520nm/cm (recht).

Es gibt einen ernsten Nachteil zu Raman-Spektroskopie, wenn man nicht-glatte Oberflächen studiert. Wie mit allen Objektiv-basierten Mikroskopietechniken, leidet Raman unter dem Problem Aus-vonfokus Leuchte.

Wenn eine Probe herkömmlich unter dem illuminating Träger eines Raman-Mikroskops gescannt wird, scannt die ungleiche Beispieloberfläche in und aus der Brennebene. Infolgedessen wird die Auflösung des Raman-Abbildens durch das große Gebiet des unfocussed Trägers auf der Probe begrenzt.

Darüber hinaus ist die Punktverbreitungsfunktion beträchtlich breiter, wo es Beiträge von der Aus-vonfokus Leuchte gibt. Infolgedessen können die Raman-Spektren von nicht-flachen Oberflächen sehr irreführend sein und neigen, die wahren Informationen zu verfälschen, die gewonnen werden können, indem man Raman verwendet.

Der Unterschied zwischen Raman, der mit und ohne Z-Regelung abbildet, kann in den Beispielen unten offenbar gesehen werden. Hier wird der Schwingungsmodus des Diamanten bei 1334^-1 cm dargestellt (Feige. 4).

Abbildung 4. Das Paar von Bildern auf die Oberseite zeigt den gleichen Bereich, der mit und ohne Z-Regelung (Oberseite) abgebildet wird. Der Vorteil der Z-Regelung wird offensichtlich durch die Unterschiede zwischen den zwei gemacht. Die Bilder auf der Unterseite sind Collagen von FLUGHANDBUCH-Topographie und Raman-Intensität der gleichen Probe bei zwei verschiedenen Wellenlängen (Unterseite). Beachten Sie die Unterschiede bezüglich der Intensität der zwei Bilder: die hellen Flecke an der Spitze des Bildes bei 1334 cm^-1 sind vom Bild bei 1525 cm abwesend^-1.

Fachkundige AFM/Raman/TERS Funktions-NanoImaging und NanoManipulation von den Kohlenstoff NanoMaterialsprotokollen sind für eine Vielzahl von Materialien wie Kohlenstoff nanotubes, Graphene, Diamanten, Usw. erhältlich. Keine andere Raman-Anlage hat genügende Regelung von Z-Stellung, zum dieser Unterschiede auszuwählen.

Um die Kombination der Welten von FLUGHANDBUCH- und Raman-Spektroskopie darzustellen, sind tatsächliche Daten auf dem Sidruckproblem erhalten worden, das oben erwähnt wird (Feige. 5).

Abbildung 5. (a) 14 x 14 μm² FLUGHANDBUCH-Höhenbild eines nanoindentation im Si, (b) eine Zeile Scan durch eine Region des FLUGHANDBUCH-Bildes wird markiert.

Die Punkte auf dem FLUGHANDBUCH-Querschnitt sind Punkte, an denen Raman-Mikroskopspektren montiert wurden. Infolge des nanoindentation ist das Silikon verlegt worden. Die Frage ist, ob diese Regionen verschiedenen Phasen des Silikons entsprechen, das mit den FLUGHANDBUCH-Maßen aufeinander bezogen werden kann.

Nur Raman-Mikrosondenspektroskopie kann diese Informationen geben. Die Raman-Spektren wurden erhalten, zur selben Zeit wie die Topographie gemessen wurde.

Raman-Spektroskopie ist eine sehr wichtige Technik für das Messen von Silikonspannung. Online-FLUGHANDBUCH kann fein gesteuerte und gut definierte Spannung Silikon mit dem Druck auferlegen, der megapascals überschreitet, da der Bereich einer Fühlerspitze nanometric ist. NanoRaman-Technologie ist für Superauflösung Silikon-Druckmaße in sich hin- und herbewegenden Zellen wie Kämmen und Gabeln ideal.

Das Online- FLUGHANDBUCH darf definierte Kräfte einem MEMs-Kragbalken auferlegt werden, während der Online-Raman die Schicht in der Silikonschwingungsfrequenz und Silikonspannung am Kreuz misst (FIGS. 6 und 7). Kein anderes FLUGHANDBUCH ist zu solch einer Kombination fähig.

Abbildung 6. imponierende Kräfte FLUGHANDBUCHS auf einem MEMs-Kragbalken mit dem Raman, der gleichzeitig die Silikonschwingungsfrequenz misst und Silikon belasten am Kreuz.

Abbildung 7. Raman-Schicht als Funktion des Einbauorts des lokalen Druckes.