Увеличивать Боковое Разрешение Profilers Белого Света Оптически Используя Технологию AcuityXR

Интерферометрия Белого света один из самых быстрых, самых точных и разносторонних поверхностных методов измерения доступных к исследователям и изготовлениям. Обычно, интерферометрическая технология имеет ограничения в боковом разрешении сравнивано к несколько другим методам.

Интерферометрические методы предлагают речной порог, высок-точность и разносторонние поверхностные измерения. Принцип измерения относительно прост, одиночный луч свет разделен в 2 части при котором одна часть отражена с высокомарочной поверхности справки и одной части от поверхности испытания; свет после этого перекомбинирован и или измерены участок приводя к сигнала или свой контраст по мере того как предмет испытания двигает через фокус. Это приводит к в ряду оптически краев которые соответствуют к топографии поверхности образца, больше как топографическая карта для географических районов.

С этим методом возможно получить вертикальные пола шума более менее чем 0.01nm используя стандартную коммерчески систему, с временами измерения на заказе немного секунд и фактически никакого времени настроения.

2 потенциальных предела на боковом разрешении оптической системы. Они следующим образом:

• Первое пиксел-лимитированное разрешение, где 2 смежных характеристики imaged в одиночный пиксел камеры, и таким образом никакой путь продифференцировать между характеристиками в окончательном переведенном в цифровую форму изображении как показано в Диаграмме 1. Черные линии представляют пикселы камеры и красные кривые изображения совершенных линий как распространено вне оптической системой. В Виду Того Что обе красных кривого imaged на такой же пиксел, только одна светловина будет наблюдаться вернее чем одна для каждой характеристики. Пиксел-Лимитированное разрешение столкнуто на низких увеличениях микроскопа, как 2.5X, 5X, или 10X где оптически разрешение часто превышает разрешение пиксела системы.
• Другое возможное ограничение к боковому разрешению оптик-лимитировано где хотя бы 2 пиксела камеры для каждой характеристики но где множественные характеристики так запачканы оптикой что они все еще не могут быть охотно выдающийся от одина другого как показано в Диаграмме 2. Это как разрешение ограничиваемое огибанием. Огибани-лимитированное d разрешения типично определено используя формулу критери по Сперроу d = 0.47l/NA, где l длина волны света и NA численная апертура оптической системы используемой к изображению характеристика. Для систем микроскопа видимого света, включая интерферометры белого света, этот предел обычно около 350 до 400 nm. задачи Высок-Увеличения, как типично изображения продукции 20X, 50X, и 115X огибани-лимитированные.

Диаграмма 1. Иллюстрация пиксел-лимитированного разрешения. Красные адвокатские сословия представляют общий свет собранный в каждом пикселе. 2 смежных характеристики не будут выдающийся из-за недостаточного дистанционирования пиксела камеры.

Диаграмма 2. Иллюстрация огибани-лимитированного разрешения. Характеристики широке чем дистанционирование пиксела камеры но запачканные должные к оптике системы и в этот случай чуть-чуть отделитесь.

Отжимать этот предел огибания предложит значительно преимущества к пользователю такой оптической системы. Некоторые из основных применений где такой метод был бы полезн включают следующее:

• Измените обнаружение на стекле, кремнии, пластмассе, или других субстратах
• Рассмотрение микро--скрестов от полируя процессов, как для orthopedics или другие чисто отшлифованные поверхности
• Измерения Ширины Линии очень малых характеристик
• Определение шершавости Nanoscale ровных поверхностей
• Различающ точные характеристики и определять точные движения приборов MEMS
• Проверка качества Nanoscale для медицинской имплантирует, включая оптику, orthopedics, и приборы контроля
• Воображение субцеллюлярных структур в биологических применениях

Были предложены, что отжимают Различные методы лимитированное боковое разрешение оптических систем. Для улучшать огибани-лимитированное разрешение, только немного очень специфических, хорошо-контролируемых случаев были описаны в литературе.