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簡介 光學干涉測量法 在側向解決方法的限額 打衍射極限 結論 關於 Bruker 簡介
白光干涉測量法是其中一個最迅速，最準確和多才多藝的表面計量技術可用對研究員和製造商。 按常規，干涉測量的技術有限制在側向解決方法，當與兩三個其他技術比較。
此應用註解解釋一個干涉測量的評定模式的 Bruker 的發展，高效地解決此光學衍射極限的 AcuityXR，解決更好的詳細資料在一定數量的表面，无需減弱白光干涉測量法的其他好處。
光學干涉測量法
干涉測量的方法提供迅速，高精確度和多才多藝的表面評定。 評定原則是相對地簡單的，一根唯一光柱被分裂成二部分，一部分被反射一個優質參考面和一部分從測試表面; 光然後被再結合，并且這個發生的信號的階段或其對比被評定，當測試對象通過重點移動。 這導致對應於範例表面的地勢的一系列的光學附加費用，很像地理區的一張地形圖。
此方法得到垂直的噪聲樓層使用一個標準商業系統，與評定時間大約一些秒鐘和實際上沒有設定時間比 0.01nm 是可能的。
在側向解決方法的限額
有在一個光學系統的側向解決方法的二個潛在的限額。 他們是如下：
- 第一是像素有限解決方法，如圖 1. 所顯示，二個相鄰功能是印象的到唯一照相機像素和没有办法因而區分在最終被數字化的圖像的功能之間。 黑色線路表示照相機像素，并且是理想的線路的圖像如光學系統延長紅色曲線。 因為兩紅色曲線是印象的在同一像素上，只有一個明亮的地點將被觀察而不是一个對每個功能。 像素有限解決方法遇到在低顯微鏡放大，例如 2.5X、光分辨能力經常超出這個系統的像素解決方法的 5X 或者 10X。
- 對側向解決方法的另一個可能的限制是光學有限的有每個功能的地方至少二照相機像素，但是多個功能由光學的地方很弄髒他們不可能仍然是容易地著名的從彼此如圖 2. 所顯示。 這叫作衍射極限的解決方法。 衍射極限的解決方法 d 典型地被定義使用麻雀標準配方 d = 0.47l/NA，其中 l 是光波長，并且 NA 是光學系統的數值口徑使用對圖像這個功能。 對於可視光顯微鏡系統，包括白光干涉儀，此限額通常約為 350 到 400 毫微米。 高放大目的，例如典型 20X、 50X 和 115X 產物衍射極限的圖像。
圖 1. 像素有限解決方法例證。 紅色棒表示在每像素收集的整體光。 二個相鄰功能不會是著名的由於不適於的照相機像素間隔。
圖 2. 衍射極限的解決方法例證。 功能比照相機像素間隔寬，但是被弄髒的歸結於這個系統的光學和幾乎不能在這種情況下分隔。
打衍射極限
解決此衍射極限為這樣一個光學系統的用戶將提供重大的好處。 這樣技術是有用的某些主要應用包括以下：
- 背叛在玻璃、硅、塑料，或者其他基體的檢測
- 微型臨時的考試從擦亮的進程的，例如整形術的或其他細致被研的表面
- 非常小的功能的行寬評定
- Nanoscale 平穩的表面的坎坷確定
- 區分細致的功能和確定 MEMS 設備的準確的行動
- 醫療的 Nanoscale 質量管理種入，包括光學、整形術和監控設備
- 亞細胞結構想像在生物應用的
多種方法建議解決光學系統的有限側向解決方法。 對於改進衍射極限的解決方法，一些個只非常詳細，控制案件在文件被描述了。
AcuityXR，被設計了，在這種情況下它可能極大提高評定一個主要的種類的側向解決方法。 AcuityXR 在光階段被檢查并且用於計算從這個白光干涉測量的信號的表面的所有平穩的表面運作。
結論
AcuityXR 是創新技術可用為 Bruker 的光學仿形銑床多數設計。 它使用系統塑造，低噪聲評定和多個表面掃描的綜合化。 此組合，可以減少光學要素造成的迷離，并且側向解決方法顯著地被提高。 更加了不起的詳細資料在許多表面能被看到。 对縮小的功能， AcuityXR 也提供差異的顯著改進的量化，做程序控制可能甚而在小的結構。 當 AcuityXR 不適用於所有表面，平穩，細致的功能的時它改進光學仿形銑床的評定功能。
關於 Bruker
納諾的 Bruker 提供從他們的穩健設計和易用的其他商業可用的系統引人注意，維護最高分辨率的基本強制顯微鏡/掃描探測顯微鏡 (AFM/SPM) 產品。 NANOS 評定的題頭，是所有我們的儀器的一部分，使用評定的懸臂式偏折一臺唯一光導纖維的干涉儀，如此做設置協定它大於一個標準研究顯微鏡目的沒有。
此信息是來源，覆核和適應從 Bruker 提供的材料 AXS。
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