Verbesserte Metrologie von Schmalen Linienstärken

Durch AZoNano

Inhaltsverzeichnis

Einleitung
Merkmale von AcuityXR
Rechtssache 1: Verbesserte Metrologie von Schmalen Linienstärken
Rechtssache 2: Merkmal Trennungs-Fähigkeit
Rechtssache 3: Allgemeine Merkmals-Klarheit
Beschränkungen von AcuityXR-Modus
Schlussfolgerungen
Über Bruker

Einleitung

Brukers optische ein Profil erstellende Oberflächenanlage AcuityXR ist konstruiert worden, sodass sie die seitliche Auflösung für eine breite Klasse Maße beträchtlich erhöhen kann. AcuityXR arbeitet an jeder glatten Oberfläche, in der die Phase der Leuchte geprüft wird und wird verwendet, um die Oberfläche vom weiß-Leuchte-interferometric Signal zu berechnen.

Merkmale von AcuityXR

Die Hauptmerkmale des AcuityXR sind:

  • AcuityXR produziert ein Maß mit zweimal der Anzahl von Pixeln in den X- und O-Richtungen, als möglich mit einem interferometric Standardmaß ist.
  • Größeres Sonderkommando wird für feine Merkmale im Maß, wie mehr getrennten Zeilen und schärfere Kratzer oder Defekte erzielt. Es gibt geringfügiges Klingeln nahe den Rändern des Blickfeldes oder den nahen Bereichen von fehlenden Oberflächendaten vom Aufbereiten benötigt, um Auflösung zu verbessern, aber dieses ist eine normale Konsequenz der mathematischen Algorithmen, die verwendet werden, um die Auflösung zu erhöhen.

Die Beispiele unterhalb des Sonderkommandos einige Anwendungsfälle, wo AcuityXR-Maße beträchtlichen Nutzen in der Befundfähigkeit oder in der Quantifikation von Schlüsseloberflächenmerkmalen liefern.

Rechtssache 1: Verbesserte Metrologie von Schmalen Linienstärken

Eine offensichtliche Anwendung der verbesserten seitlichen Auflösung ist, überlegenes Maß von schmalen Linienstärkemerkmalen zu erreichen. Um dieses zu prüfen, wurden eine Probe, die zwei Zeilen 350nm, durch 350nm sich trennen lässt auf einer Optischen Auswerteprogramm-Anlage Bruker ContourGT X8 unter Verwendung StandardPhase des VerschiebungsInterferometrie- und (PSI) AcuityXR-P/IN Maßes 3 Modi gemessen. Abbildung 1 zeigt ein Maß von jeder Technik.

Die Beobachtungen sind unten aufgeführt:

  • Zuerst kann es offenbar beobachtet werden, dass, indem man das AcuityXR-Maß verwendet, genügende Auflösung, die volle Trennung zwischen den Zeilen zu zeigen erreicht wird, während für das P-/INbild ihnen genügende so verwischt werden, dass die Oberflächenhöhe zwischen den Zeilen nicht die selbe wie der Rest der Substratfläche ist.
  • Zusätzlich werden feine Details der Linienstärkevariante nach dem Grundsatz im AcuityXR-Ergebnis und nicht offensichtlich im Standard-P-/INergebnis gesehen. Die durchschnittliche Linienstärke, die unter Verwendung P/IN bestimmt wurde, war gerade 300 nm. Unter Verwendung AcuityXR-Modus war die durchschnittliche Linienstärke 320 nm. Obwohl das AcuityXR-Ergebnis noch etwas kleiner als auf dem Standard ausgedruckt ist, kann es eingestellt werden basierte auf genau, wo die Breite vertikal nach dem Grundsatz genommen wird.
  • Im Hinblick auf numerische Maßleistung war die Standardabweichung der Linienbreite für die P-/INmaße 35,1 nm. Für die Ergebnisse AcuityXR P/IN wird die Standardabweichung durch einen fast Faktor von 7, bis gerade 5,2 nm verringert. Ähnlich während der Berechnung der Zeile Volumen, sind die Standardabweichungen für P/IN und Maße AcuityXR P/IN .005 μm3 und 0,001 μm3 beziehungsweise, der ein Faktor von Verbesserung 5 ist. Folglich sind beträchtliche Verstärkungen in der Metrologiefähigkeit durch die erhöhte seitliche Auflösung möglich, die durch AcuityXR angeboten wird.

Abbildung 1. Maße der Linienstärke 350nm genommen mit Standard-P/IN (gelassen) mit weniger Merkmalstrennung und AcuityXR P/IN (recht), hohe Stufen der Merkmalsunterscheidung zeigend.

Rechtssache 2: Merkmal Trennungs-Fähigkeit

Zwecks die Grenzen auf AcuityXR und es wirklich ist zu prüfen Fähigkeit feine Merkmale, einen Linienstärkestandard von mehrmals hintereinander kleineren Zeilen, von 1μm zu 100nm zu unterscheiden, wurde erreicht. Brukers exklusives 115X, Lernziel des Mikroskops 0.8NA wurde verwendet, um maximale Auflösung auf dem Linienstärkestandard anzubieten. Die seitliche Auflösung der optischen Anlage, wie unter Verwendung des Spatzenkriteriums erreicht ist 314 nm. Merkmale bis zu 200nm können leicht unterschieden werden mit P/IN und Modi AcuityXR P/IN wie in Abbildung 2. gezeigt. Jedoch werden feineres Sonderkommando und eine überlegene Trennung offenbar unter Verwendung des AcuityXR-Modus beobachtet.

An 130nm gab es keine Trennung an ganz sichtbarem unter Verwendung normalen P-/INmaßes, während AcuityXR-Modus in der Lage war, zwei eindeutige Merkmale zu zeigen. Diese offensichtliche Grenze auf die seitliche Auflösungsfähigkeit von AcuityXR erhöhte Maße ist herum 2,5mal kleiner als die seitliche Auflösung, die von der Spatzenberechnung vorweggenommen wurde.

Abbildung 2. Alle Bilder haben die gleiche vertikale Schuppe von 2nm (rot) zu -8nm (blau). Standard-P-/INMaße (gelassen) und Maße AcuityXR P/IN (recht) von 200, von 150 und von Merkmalen der Linienstärke 130nm.

Rechtssache 3: Allgemeine Merkmals-Klarheit

Normalerweise, wenn, Oberflächen, es zu prüfen wesentlich ist, Kratzer, Defekte oder andere feine Merkmale zu kennzeichnen, ohne Anzeigeinstrumentstudien durchführen oder jedes einzelne Merkmal andernfalls mengenmäßig bestimmen notwendigerweise zu müssen. Zum Beispiel würde dieses eine sinnlose Laboranforderung sein, als, Oberflächenende in der Orthopädie, in den medizinischen Implantaten, in den Plastiksubstratflächen oder in der Optik prüfend. Eine Vielzahl von Oberflächen wurde schnell unter Verwendung des P-/INmaßmodus und Modus AcuityXR P/IN wie in Abbildung 3. gezeigt gemessen.

Abbildung 3. Bilder genommen mit Standard-P/IN (gelassen) und beträchtlicher Verbesserung (rechter) Shows AcuityXR P/IN in AcuityXR P/IN in der Fähigkeit, Bilder beim Zeigen der richtigen Zelle auf der Probe weniger pixilated zu machen.

In jedem Fall zeigt das AcuityXR-Maß schärfere Merkmale auf den Gittern und andere kleine Defekte, die in den Bildern vorhanden sind. Dieses erlaubt nicht gerade überlegenes Sichtkennzeichen, aber auch eine bessere Fähigkeit für die Merkmale automatisch lokalisieren, zählen und mengenmäßig bestimmen, die auf Breite oder Höhe mit Brukers Visionssoftware basieren.

Beschränkungen von AcuityXR-Modus

Die Beschränkungen von AcuityXR sind unten aufgeführt:

  • Es ist auf die Oberflächen begrenzt, die lokale Rauheit weniger als ungefähr 20nm haben, in der P-/IN oder HDVSI-Maßmodi Maß der Oberfläche ohne Probleme leiten können.
  • Raue Oberflächen, wie Papier, bearbeiteten ungefähr Metall maschinell, oder schäumen sind nicht angebracht für AcuityXR.
  • Auch die Oberflächen möglicherweise, die große Mengen der fehlenden Daten haben, erleiden etwas Klingeln nahe den Rändern der gültigen Daten, wenn sie AcuityXR verwenden, da die betroffene Mathematik angrenzende Oberflächen für richtige Berechnung benötigt.

Schlussfolgerungen

AcuityXR ist eine innovative Technologie, die für die meisten Baumuster von Brukers optischen Auswerteprogrammen erhältlich ist. Es setzt die Anlagenformung, die lärmarmen Maße und die Integration von mehrfachen Oberflächenscans ein. Mit dieser Integration kann die Unschärfe, die durch die optischen Elemente verursacht wird, verringert werden und seitliche Auflösung beträchtlich erhöht werden. Größeres Sonderkommando kann in vielen Oberflächen gesehen werden. Für schmale Merkmale bietet AcuityXR auch die beträchtlich erhöhte Quantifikation von Varianten an und macht prozesskontrolliertes mögliches sogar auf kleinen Zellen. Während AcuityXR nicht für alle Oberflächen, für die glatten, feinen Merkmale geeignet ist, verbessert es die Maßfähigkeit des optischen Auswerteprogramms.

Über Bruker

Nano-Oberflächen Bruker liefert AtomKraft-Mikroskop-/Scannen-Fühler-Mikroskop(AFM/SPM) Produkte, die heraus von anderen handelsüblichen Anlagen für ihre robuste Auslegung und Benutzerfreundlichkeit stehen, während, die höchste Auflösung beibehalten. Der NANOS-Messkopf, der ein Teil aller unserer Instrumente ist, setzt ein eindeutiges Glasfaserinterferometer für das Messen des freitragenden Ausschlags ein, der macht den Vertrag der Installation so, dass er nicht größer als ein Standardforschungsmikroskoplernziel ist.

Diese Informationen sind Ursprungs- angepasst gewesen, wiederholt und von den Materialien, die von Nano-Oberflächen Bruker bereitgestellt werden.

Zu mehr Information über diese Quelle, besuchen Sie bitte Nano-Oberflächen Bruker.

Date Added: Jun 15, 2012 | Updated: Jan 23, 2014

Last Update: 23. January 2014 11:11

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