狭い線幅の改善された度量衡学

AZoNano 著

目録

導入
AcuityXR の機能
ケース 1: 狭い線幅の改善された度量衡学
ケース 2: 機能分離の機能
ケース 3: 概要機能明快さ
AcuityXR のモードの限定
結論
Bruker について

導入

Bruker の AcuityXR の光学表面の側面図を描くシステムはかなり測定の広いクラスのための側面解像度を高めることができるように設計されていました。 AcuityXR はライトの段階が検査される動作し、白ライト干渉法によるシグナルからの表面を計算するのに使用されていますあらゆるスムーズな表面で。

AcuityXR の機能

AcuityXR の主要特点は次のとおりです:

  • AcuityXR は標準干渉法による測定と可能であるより X および Y の方向のピクセルの番号を用いる測定を二度作り出します。
  • すばらしい細部はより多くの分けられたラインのような測定の良い機能のために、およびより鋭いスクラッチまたは欠陥達成されます。 視野の端か必要とされる処理からの抜けた表面データの近い領域の近くに解像度を改善するのにわずかな鳴ることがあるこれは解像度を高めるのに使用される数学アルゴリズムの正常な結果です。

細部の下の例は複数 AcuityXR の測定が検出の機能または主表面機能の定量化の重要な利点を提供するケースを使用します。

ケース 1: 狭い線幅の改善された度量衡学

改善された側面解像度の 1 つの明らかなアプリケーションは狭い線幅機能の優秀な測定を達成することです。 これを、 350nm で分けて 2 つの 350nm ラインをもらうサンプルは標準段階の転移のインターフェロメトリーおよび AcuityXR PSI の測定 3 のを使用して Bruker ContourGT X8 の光学型彫機システム (PSI)でテストするためにはモード測定されました。 図 1 は各技術からの 1 つの測定を示します。

観察は下記のようにリストされています:

  • 最初に、それはライン間の表面の高さは基板の残りと同じではないこと PSI の画像のためにそれらが十分なそのような物汚れる一方 AcuityXR の測定の利用によって、ラインことを間の完全な分離を示す十分な解像度が達されることはっきり観察することができます。
  • さらに、ラインに沿う線幅の変化の良い細部は AcuityXR の結果で標準 PSI の結果で明白見られ。 PSI を使用して定められた平均線幅はちょうど 300 nm でした。 AcuityXR のモードを使用して、平均線幅は 320 nm でした。 AcuityXR の結果はまだ標準にリストされているよりわずかに小さいけれども、幅がラインに沿って縦に取られるところに丁度に基づいて調節することができます。
  • 数値的な測定パフォーマンスの点では、 PSI の測定のための線幅の標準偏差は 35.1 nm でした。 AcuityXR PSI の結果のために、標準偏差はちょうど 5.2 nm に 7 のほぼ要因によって、減ります。 同様に、ラインボリュームの計算の間に、 PSI のための標準偏差および AcuityXR PSI の測定はそれぞれ .005 μm3 および 5 改善の要因の 0.001 μm3 です。 それ故に、度量衡学の機能の重要な利得は AcuityXR によって提供される高められた側面解像度によって可能です。

機能微分のハイレベルを示す少し機能分離および AcuityXR PSI の標準 PSI と (残っている) (右の) 取られる図 1. 350nm 線幅の測定。

ケース 2: 機能分離の機能

実際に AcuityXR およびそれの限界をテストすることは良い機能、引き続いてより小さいラインの線幅の標準を、 1μm からの 100nm に区別する能力得られましたです。 Bruker の排他的な 115X の 0.8NA 顕微鏡の目的が線幅の標準の最大解像度を提供するのに利用されました。 すずめの規準を使用して得られるように光学系の側面解像度は 314 nm です。 200nm までの機能は容易に区別することができま PSI および AcuityXR PSI のモードを図 2. に示すように使用します両方。 ただし、より良い細部および優秀な分離は AcuityXR のモードを使用してはっきり観察されます。

130nm で AcuityXR のモードは 2 つの個別の機能を示せたが、分離は正常な PSI の測定を使用して完全に目に見えるにありませんでした。 AcuityXR の側面解像度の機能のこの明白な限界は測定をすずめの計算から予想された側面解像度より小さいですおよそ 2.5 倍高めました。

図 2。 すべての画像に -8nm に 2nm の同じ縦のスケールが (赤い) あります (青い)。 標準 PSI の測定 (残っている) および 200、 150、および 130nm 線幅機能の AcuityXR PSI の測定 (右の)。

ケース 3: 概要機能明快さ

識別して必要表面、それを検査することがゲージの調査を行うか、または別の方法で各々の個々の機能を量を示す必ずしも必要がないでスクラッチ、欠陥、または他の良い機能をである時通常。 例えば、これは orthopedics、医学のインプラント、プラスチック基板、または光学の表面の終わりを検査するとき無意味な実験室の条件です。 いろいろな表面は図 3. に示すように PSI の測定のモードおよび AcuityXR PSI のモードを使用して急速に測定されました。

適切な構造を示している間標準 PSI (残っている) およびサンプルで画像をより少なく pixilated 作る機能の AcuityXR PSI の AcuityXR PSI の (右の) ショーの広大な改善と撮られる図 3. 画像。

各ケースでは、 AcuityXR の測定は画像で現在の格子のより鋭い機能および他の小さい欠陥を示します。 これは自動的に Bruker の視野のソフトウェアとの幅か高さに基づいて機能を見つけ、数え、そして量を示すためのちょうど優秀な視覚識別、またよりよい機能を可能にします。

AcuityXR のモードの限定

AcuityXR の限定は下記のようにリストされています:

  • それは PSI または HDVSI の測定のモードが表面の測定を問題なく行なうことができるローカル荒さより少なくよりおよそ 20nm を持っている表面に限定されます。
  • 粗雑面は、ペーパーのような、大体金属を機械で造るか、またはではないです AcuityXR のために適切泡立ちます。
  • また、多量の抜けたデータを持っている表面は有効なデータの端の近くで含まれる数学が適切な計算のために連続的な表面を必要とするので AcuityXR を使用するとき鳴ることに苦しむかもしれません。

結論

AcuityXR は Bruker の光学型彫機のほとんどのモデルのために使用できる革新的な技術です。 それは多重表面スキャンのシステム模倣、低雑音の測定および統合を用います。 この統合を使うと、光学要素によって引き起こされる汚点は減るかなり高めることができ、側面解像度。 すばらしい細部は多くの表面で見ることができます。 狭い機能のために、 AcuityXR はまた小さい構造でプロセス制御可能作る変化のかなり高められた定量化を提供します。 AcuityXR はスムーズで、良い機能のすべての表面のために適していない、間、光学型彫機の測定の機能を改善します。

Bruker について

Bruker の Nano 表面は強いデザインおよび使い易さのための他の商用化されたシステムから際立っている原子力の顕微鏡/スキャンのプローブの顕微鏡 (AFM/SPM) の製品を提供します、間高リゾリューションを維持する。 すべての私達の器械の部品である NANOS 測定ヘッドはこと標準研究の顕微鏡の目的より大きくないセットアップコンパクトをそう作る片持梁偏向を測定するための一義的な光ファイバーの干渉計を用います。

この情報は Bruker の Nano 表面によって提供される材料から供給され、見直され、そして適応させて。

このソースのより多くの情報のために、 Bruker の Nano 表面を訪問して下さい

Date Added: Jun 15, 2012 | Updated: Jan 23, 2014

Last Update: 23. January 2014 11:15

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit