Улучшенная Метрология Узких Ширин Линии

AZoNano

Содержание

Введение
Характеристики AcuityXR
Случай 1: Улучшенная Метрология Узких Ширин Линии
Случай 2: Возможность Разъединения Характеристики
Случай 3: Общая Ясность Характеристики
Ограничения Режима AcuityXR
Заключения
О Bruker

Введение

Система AcuityXR Bruker оптически поверхностная профилируя была конструирована в такой манере это она может значительно увеличить боковое разрешение для обширного типа измерений. AcuityXR работает на любой ровной поверхности в которой расмотрен участок света и использовано для того чтобы высчитать поверхность от бел-свет-интерферометрического сигнала.

Характеристики AcuityXR

Главные особенности AcuityXR являются следующими:

  • AcuityXR производит измерение с дважды числом пикселов в направлениях X и Y чем возможен с стандартным интерферометрическим измерением.
  • Большая деталь достигана для точных характеристик в измерении, как больше отделенных линии и более острых скресты или дефектов. Могут быть небольшой звенеть около краев области видимости или близко зон пропавших поверхностных данных от обрабатывать необходимо для того чтобы улучшить разрешение, да ведь это нормальное последствие математически алгоритмов используемых для того чтобы увеличить разрешение.

Примеры под деталью несколько используют случаи где измерения AcuityXR обеспечивают значительно преимущества в возможности обнаружения или в квантификации ключевых поверхностных характеристик.

Случай 1: Улучшенная Метрология Узких Ширин Линии

Одно очевидное применение улучшенного бокового разрешения достигнуть главного измерения узких характеристик ширины линии. Для того чтобы испытать это, образец имея 2 линии 350nm, быть отделенным 350nm был измерен на Системе Profiler Bruker ContourGT X8 Оптически используя измерение 3 Интерферометрии и (PSI) AcuityXR PSI стандартного Участка режимы Перенося. На Диаграмму 1 показано одно измерение от каждого метода.

Замечания перечислены ниже:

  • Во-первых, ей можно ясно наблюдать что путем использовать измерение AcuityXR, достигается достаточное разрешение показать полное разъединение между линиями, тогда как для изображения PSI они запачканы достаточным таким что поверхностная высота между линиями нет этого же как остальнои субстрата.
  • Дополнительно, точные детали изменения ширины линии вдоль линии увидены в результате AcuityXR и не ясно в стандартном результате PSI. Средняя ширина линии определенная используя PSI была как раз 300 nm. Используя режим AcuityXR, средняя ширина линии была 320 nm. Хотя результат AcuityXR все еще немножко более мал чем перечислено на стандарте, его можно отрегулировать основал на точно куда ширина принята вертикально вдоль линии.
  • Оперируя понятиями численного проведения измерения, стандартное отступление линии ширины для измерений PSI было 35,1 nm. Для результатов AcuityXR PSI, стандартное отступление уменьшено почти фактором 7, до как раз 5,2 nm. Подобно, во время вычисления линии тома, стандартные отступления для PSI и измерения AcuityXR PSI .005 μm3 и 0,001 μm3 соответственно, который фактор улучшения 5. Следовательно, значительно увеличения в возможности метрологии возможны через увеличенное боковое разрешение предложенное AcuityXR.

Диаграмма 1. измерения ширины линии 350nm принятые при Стандартный (выйденный) PSI при меньшие разъединение характеристики и AcuityXR PSI (правый), показывая высокие уровни дифференцирования характеристики.

Случай 2: Возможность Разъединения Характеристики

Фактически было получен испытать пределы AcuityXR и его способность продифференцировать точные характеристики, стандарт ширины линии подряд более малых линий, от 1μm к 100nm. 115X Bruker исключительное, задача микроскопа 0.8NA было использовано для того чтобы предложить максимальное разрешение на стандарте ширины линии. Боковое разрешение оптической системы как получено используя критерю по Сперроу 314 nm. Характеристики до 200nm можно легко продифференцировать и использующ PSI и режимы AcuityXR PSI как показано в Диаграмме 2. Однако, более точная деталь и главное разъединение ясно наблюдаются используя режим AcuityXR.

На 130nm было никакое разъединение на совсем видимом используя нормальное измерение PSI, пока режим AcuityXR мог показать 2 определенных характеристики. Этот ясный предел боковой возможности разрешения AcuityXR увеличил измерения вокруг 2,5 времени более мал чем боковое разрешение предвидимое от вычисления Сперроу.

Диаграмма 2. Все изображения имеют такой же вертикальный маштаб 2nm (красного) к -8nm (голубому). Стандартные (выйденные) Измерения PSI и Измерения AcuityXR PSI (правые) 200, 150, и характеристик ширины линии 130nm.

Случай 3: Общая Ясность Характеристики

Нормально когда рассматривать поверхности, его необходим для того чтобы определить скресты, дефекты, или другие точные характеристики без обязательно выполнить изучения датчика или в противном случае квантифицировать каждую индивидуальную характеристику. Например, это было бы безумный требованием к лаборатории рассматривая поверхностную отделку в orthopedics, медицинских implants, пластичных субстратах, или оптике. Разнообразие поверхности быстро были измерены используя режим измерения PSI и режим AcuityXR PSI как показано в Диаграмме 3.

Диаграмма 3. Изображения принятые с Стандартным (выйденным) PSI и улучшением (правых) выставок AcuityXR PSI более обширным в AcuityXR PSI в способности сделать изображения более менее pixilated пока показывающ правильную структуру на образце.

В каждом случае, измерение AcuityXR показывает более острые характеристики на решетках и другие малые дефекты присутствующих в изображениях. Это позволяет не как раз главному визуально идентификации, но также более лучшей возможности для автоматически обнаруживать местонахождение, подсчитывать, и квантифицировать характеристики основанные на ширине или высоте с ПО Зрения Bruker.

Ограничения Режима AcuityXR

Ограничения AcuityXR перечислены ниже:

  • Оно ограничен к поверхностям имея местную шершавость более менее чем приблизительно 20nm, где режимы измерения PSI или HDVSI могут дирижировать измерение поверхности без проблем.
  • Грубые поверхности, как бумага, грубо подвергли металл механической обработке, или пенятся не соотвествующие для AcuityXR.
  • Также, поверхности имея большое количество пропавших данных могут вытерпеть некоторый звенеть около краев действительных данных при использовании AcuityXR, в виду того что включили математика, котор требует сопредельных поверхностей для правильного вычисления.

Заключения

AcuityXR новаторская технология доступная для большинств моделей profilers Bruker оптически. Оно использует моделирование системы, малошумные измерения, и внедрение множественных поверхностных разверток. С этим внедрением, нерезкость причиненную оптически элементами можно быть уменьшена и боковое разрешение значительно увеличить. Большую деталь можно увидеть в много поверхностей. Для узких характеристик, AcuityXR также предлагает значительно увеличенную квантификацию изменений, делая управление производственным процессом возможным даже на малых структурах. Пока AcuityXR не соответствующе для всех поверхностей, для ровных, точных характеристик оно улучшает возможность измерения оптически profiler.

О Bruker

Поверхности Bruker Nano обеспечивают Атомные продукты Микроскопа Усилия/Микроскопа Зонда Скеннирования (AFM/SPM) которые стоят вне от других имеющих на рынке систем для их робастных конструкции и легкия в использовании, пока поддерживающ самое высокое разрешение. Головка NANOS измеряя, которая часть всех наших аппаратур, использует уникально волоконнооптический интерферометр для измерять консольное отклонение, которое делает компакт настроения так что оно не большле чем стандартная задача микроскопа исследования.

Эта информация найденный, расмотрена и приспособлена от материалов обеспеченных Поверхностями Bruker Nano.

Для больше информации на этом источнике, пожалуйста посетите Поверхности Bruker Nano.

Date Added: Jun 15, 2012 | Updated: Jan 23, 2014

Last Update: 23. January 2014 11:27

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit