缩小的行宽被改进的计量学

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目录

简介
AcuityXR 功能
案例 1 : 缩小的行宽被改进的计量学
案例 2 : 功能分隔功能
案例 3 : 通用功能清晰
AcuityXR 模式的限制
结论
关于 Bruker

简介

Bruker 的 AcuityXR 光学表面描出的系统被设计了,在这种情况下它可能极大提高评定一个主要的种类的侧向解决方法。 AcuityXR 在光阶段被检查的所有平稳的表面运作和使用计算从这个白光干涉测量的信号的表面。

AcuityXR 功能

AcuityXR 的关键功能是:

  • AcuityXR 比对一个标准干涉测量的评定两次引起与象素的数量的一个评定在 X 和 Y 方向的可能的。
  • 更加了不起的详细资料为在评定的细致的功能达到,例如更多分隔的线路和更加锋利的临时或者缺陷。 也许有轻微敲响在视野的边缘或缺少表面数据附近最近的区从必要的处理的改进解决方法,但是这是用于的数学算法的一种正常结果提高这个解决方法。

在详细资料下的示例数使用 AcuityXR 评定提供重大的福利在检测功能或在关键表面功能的量化的案件。

案例 1 : 缩小的行宽被改进的计量学

被改进的侧向解决方法的一种明显的应用是获得缩小的行宽功能的优越评定。 要测试此,安排的范例二条 350nm 线路,分隔由 350nm 在 Bruker ContourGT X8 光学仿形铣床系统被评定使用标准移相位干涉测量法 (PSI)和 AcuityXR PSI 评定 3 模式。 图 1 显示从每个技术的一个评定。

观察如下是列出的:

  • 首先,可以明显地注意到通过使用 AcuityXR 评定,满足的解决方法到达显示在线路之间的充分的分隔,而为 PSI 图象他们被弄脏足够这样在线路之间的表面高度不是相同的象这个基体的其余。
  • 另外,行宽差异的细致的详细资料沿着这条线路在 AcuityXR 结果被看到和不明显在标准 PSI 结果。 使用 PSI 被确定的平均行宽是 300 毫微米。 使用 AcuityXR 模式,平均行宽是 320 毫微米。 虽然 AcuityXR 结果小于被列出仍然轻微在这个标准,它可以根据正确地被调整这个宽度被采取垂直沿着这条线路的地方。
  • 根据数字评定性能,行宽的标准偏差 PSI 评定的是 35.1 毫微米。 对于 AcuityXR PSI 结果,标准偏差被接近系数 7 减少,到 5.2 毫微米。 同样,在这条线路时数量的计算, PSI 的标准偏差和 AcuityXR PSI 评定分别为 .005 μm3 和 0.001 μm3,是 5 改善系数。 因此,在计量学功能上的重大的收益通过 AcuityXR 提供的这个改进的侧向解决方法是可能的。

图 1. 350nm 行宽评定采取与标准 PSI () 与一点功能分隔和 AcuityXR PSI (正确),显示功能分化高水平。

案例 2 : 功能分隔功能

为了实际测试限额 AcuityXR 和它是能力区分细致的功能,继续地更小的线路行宽标准,从 1μm 到 100nm,获得了。 Bruker 的独有的 115X, 0.8NA 显微镜目的使用提供对行宽标准的最大解决方法。 光学系统的侧向解决方法如获得使用麻雀标准是 314 毫微米。 至 200nm 的功能可以容易地被区分使用 PSI 和 AcuityXR PSI 模式如图 2. 所显示。 然而,使用 AcuityXR 模式,更好的详细资料和优越分隔明显地被观察。

使用正常 PSI 评定,在 130nm,而 AcuityXR 模式能显示二个明显的功能,没有分隔在所有可视。 AcuityXR 的侧向解决方法功能的此明显的限额小于从麻雀计算期望的这个侧向解决方法提高了评定大约 2.5 次。

图 2。 所有图象有 2nm 同一个垂直的缩放比例 (红色) 对 -8nm (蓝色)。 标准 PSI 评定 () 和 AcuityXR PSI 评定 (正确) 200, 150 和 130nm 行宽功能。

案例 3 : 通用功能清晰

通常,当检查表面,它是重要识别临时、缺陷,或者其他细致的功能,无需必要需要进行测量仪研究或定量每个单个功能。 例如,当检查在整形术、医疗植入管、塑料基体或者光学时的表面完成这是一个无意义的实验室需求。 如图 3. 所显示,各种各样的表面迅速地被评定了使用 PSI 评定模式和 AcuityXR PSI 模式。

图 3. 图象采取与标准 PSI () 和 AcuityXR PSI (正确的) 显示浩大的改善在能力的 AcuityXR PSI 使图象较不脑筋有点怪,当显示适当的结构在范例时。

在每个案件, AcuityXR 评定在图象显示在的滤栅的更加锋利的功能和当前其他小的缺陷。 这允许不仅仅优越视觉确定,而且一个更好的功能找出,自动计数和定量的在宽度或高度基础上的功能与 Bruker 的远见软件。

AcuityXR 模式的限制

AcuityXR 的限制如下是列出的:

  • 它被限制到有的表面局部坎坷较不比近似 20nm, PSI 或 HDVSI 评定模式可能执行表面评定不出问题。
  • 毛面,例如文件,大致用了机器制造金属或者起泡沫为 AcuityXR 不是适当的。
  • 并且,有的表面很多缺少数据可能在有效的数据的边缘附近遭受若干敲响,当使用 AcuityXR 时,因为介入的数学为适当的计算要求接触表面。

结论

AcuityXR 是创新技术可用为 Bruker 的光学仿形铣床多数设计。 它使用系统塑造,低噪声评定和多个表面扫描的综合化。 此综合化,可以减少光学要素造成的迷离,并且侧向解决方法显著地被提高。 更加了不起的详细资料在许多表面能被看到。 对缩小的功能, AcuityXR 也提供差异的显著改进的量化,做程序控制可能甚而在小的结构。 当 AcuityXR 不适用于所有表面,平稳,细致的功能的时它改进光学仿形铣床的评定功能。

关于 Bruker

Bruker 纳诺 表面 提供 从 他们 的 稳健 设计 和 易用 的 其他 商业 可用 的 系统 引人注意 , , 维护 最 高 分辨率 的 基本 强制 显微镜 / 扫描 探测 显微镜 (AFM/SPM ) 产品 。 NANOS 评定的题头,是所有我们的仪器的一部分,使用评定的悬臂式偏折一台唯一光导纤维的干涉仪,如此做设置协定它大于一个标准研究显微镜目的没有。

此信息是来源,复核和适应从 Bruker 纳诺表面提供的材料。

关于此来源的更多信息,请参观 Bruker 纳诺表面。

Date Added: Jun 15, 2012 | Updated: Jan 23, 2014

Last Update: 23. January 2014 11:03

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