縮小的行寬被改進的計量學

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目錄

簡介
AcuityXR 功能
案例 1 : 縮小的行寬被改進的計量學
案例 2 : 功能分隔功能
案例 3 : 通用功能清晰
AcuityXR 模式的限制
結論
關於 Bruker

簡介

Bruker 的 AcuityXR 光學表面描出的系統被設計了,在這種情況下它可能極大提高評定一個主要的種類的側向解決方法。 AcuityXR 在光階段被檢查的所有平穩的表面運作和使用計算從這個白光干涉測量的信號的表面。

AcuityXR 功能

AcuityXR 的關鍵功能是:

  • AcuityXR 比對一個標準干涉測量的評定兩次引起與像素的數量的一個評定在 X 和 Y 方向的可能的。
  • 更加了不起的詳細資料為在評定的細致的功能達到,例如更多分隔的線路和更加鋒利的臨時或者缺陷。 也許有輕微敲響在視野的邊緣或缺少表面數據附近最近的區從必要的處理的改進解決方法,但是這是用於的數學算法的一種正常結果提高這個解決方法。

在詳細資料下的示例數使用 AcuityXR 評定提供重大的福利在檢測功能或在關鍵表面功能的量化的案件。

案例 1 : 縮小的行寬被改進的計量學

被改進的側向解決方法的一種明顯的應用是獲得縮小的行寬功能的優越評定。 要測試此,安排的範例二條 350nm 線路,分隔由 350nm 在 Bruker ContourGT X8 光學仿形銑床系統被評定使用標準移相位干涉測量法 (PSI)和 AcuityXR PSI 評定 3 模式。 圖 1 顯示從每個技術的一個評定。

觀察如下是列出的:

  • 首先,可以明顯地注意到通過使用 AcuityXR 評定,滿足的解決方法到達顯示在線路之間的充分的分隔,而為 PSI 圖像他們被弄髒足够這樣在線路之間的表面高度不是相同的像這個基體的其餘。
  • 另外,行寬差異的細致的詳細資料沿著這條線路在 AcuityXR 結果被看到和不明顯在標準 PSI 結果。 使用 PSI 被確定的平均行寬是 300 毫微米。 使用 AcuityXR 模式,平均行寬是 320 毫微米。 雖然 AcuityXR 結果小於被列出仍然輕微在這個標準,它可以根據正確地被調整這個寬度被採取垂直沿著這條線路的地方。
  • 根據數字評定性能,行寬的標準偏差 PSI 評定的是 35.1 毫微米。 對於 AcuityXR PSI 結果,標準偏差被接近系數 7 減少,到 5.2 毫微米。 同樣,在這條線路時數量的計算, PSI 的標準偏差和 AcuityXR PSI 評定分別為 .005 μm3 和 0.001 μm3,是 5 改善系數。 因此,在計量學功能上的重大的收益通過 AcuityXR 提供的這個改進的側向解決方法是可能的。

圖 1. 350nm 行寬評定採取與標準 PSI () 與一點功能分隔和 AcuityXR PSI (正確),顯示功能分化高水平。

案例 2 : 功能分隔功能

為了實際測試限額 AcuityXR 和它是能力區分細致的功能,繼續地更小的線路行寬標準,從 1μm 到 100nm,獲得了。 Bruker 的獨有的 115X, 0.8NA 顯微鏡目的使用提供對行寬標準的最大解決方法。 光學系統的側向解決方法如獲得使用麻雀標準是 314 毫微米。 至 200nm 的功能可以容易地被區分使用 PSI 和 AcuityXR PSI 模式如圖 2. 所顯示。 然而,使用 AcuityXR 模式,更好的詳細資料和優越分隔明顯地被觀察。

使用正常 PSI 評定,在 130nm,而 AcuityXR 模式能顯示二個明顯的功能,沒有分隔在所有可視。 AcuityXR 的側向解決方法功能的此明顯的限額小於從麻雀計算期望的這個側向解決方法提高了評定大約 2.5 次。

圖 2。 所有圖像有 2nm 同一個垂直的縮放比例 (紅色) 對 -8nm (藍色)。 標準 PSI 評定 () 和 AcuityXR PSI 評定 (正確) 200, 150 和 130nm 行寬功能。

案例 3 : 通用功能清晰

通常,當檢查表面,它是重要識別臨時、缺陷,或者其他細致的功能,无需必要需要進行測量儀研究或定量每個單個功能。 例如,當檢查在整形術、醫療植入管、塑料基體或者光學時的表面完成這是一個無意義的實驗室需求。 如圖 3. 所顯示,各種各樣的表面迅速地被評定了使用 PSI 評定模式和 AcuityXR PSI 模式。

圖 3. 圖像採取與標準 PSI () 和 AcuityXR PSI (正確的) 顯示浩大的改善在能力的 AcuityXR PSI 使圖像較不腦筋有點怪,當顯示適當的結構在範例時。

在每個案件, AcuityXR 評定在圖像顯示在的濾柵的更加鋒利的功能和當前其他小的缺陷。 這允許不僅僅優越視覺確定,而且一個更好的功能找出,自動計數和定量的在寬度或高度基礎上的功能與 Bruker 的遠見軟件。

AcuityXR 模式的限制

AcuityXR 的限制如下是列出的:

  • 它被限制到有的表面局部坎坷較不比近似 20nm, PSI 或 HDVSI 評定模式可能執行表面評定不出問題。
  • 毛面,例如文件,大致用了機器製造金屬或者起泡沫為 AcuityXR 不是適當的。
  • 並且,有的表面很多缺少數據可能在有效的數據的邊緣附近遭受若乾敲響,當使用 AcuityXR 時,因為介入的數學為適當的計算要求接觸表面。

結論

AcuityXR 是創新技術可用為 Bruker 的光學仿形銑床多數設計。 它使用系統塑造,低噪聲評定和多個表面掃描的綜合化。 此綜合化,可以減少光學要素造成的迷離,并且側向解決方法顯著地被提高。 更加了不起的詳細資料在許多表面能被看到。 对縮小的功能, AcuityXR 也提供差異的顯著改進的量化,做程序控制可能甚而在小的結構。 當 AcuityXR 不適用於所有表面,平穩,細致的功能的時它改進光學仿形銑床的評定功能。

關於 Bruker

Bruker 納諾表面提供從他們的穩健設計和易用的其他商業可用的系統引人注意,維護最高分辨率的基本強制顯微鏡/掃描探測顯微鏡 (AFM/SPM) 產品。 NANOS 評定的題頭,是所有我們的儀器的一部分,使用評定的懸臂式偏折一臺唯一光導纖維的干涉儀,如此做設置協定它大於一個標準研究顯微鏡目的沒有。

此信息是來源,覆核和適應從 Bruker 納諾表面提供的材料。

關於此來源的更多信息,请請參觀 Bruker 納諾表面。

Date Added: Jun 15, 2012 | Updated: Jan 23, 2014

Last Update: 23. January 2014 11:05

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