Outils de Recherches Novateurs pour la Nanofabrication : Une Entrevue avec Mohan Ananth

L'Entrevue par Soutter

En Cela Analyses d'entrevue d'Industrie, de M. Mohan Ananth, de Directeur du Marketing Supérieur et de Gestion Du Produit Pour la Microscopie de Carl Zeiss, entretiens Pour Vouloir Soutter au sujet de leur microscope d'ion à multifaisceaux neuf d'Orion NanoFab. La plate-forme de NanoFab a été lancée à emc2012 à Manchester, R-U.

LE WS : Pouvez-vous nous dire un bit au sujet de Microscopie de Carl Zeiss et de vos produits, et votre rôle dans le groupe plus grand de Zeiss ?

MAMANS : La devise de Groupe de Carl Zeiss est « nous le rendent visible » - quelque chose faire avec le bloc optique, nous sommes concernés dedans. Nous effectuons tout à partir des microscopes aux télescopes et aux instruments de planétarium.

Il y a six entreprises chez Zeiss - J'appartiens à la Microscopie de Carl Zeiss, qui a un portefeuille grand des microscopes de la lumière, d'électron et d'ion. Il y a d'autres compagnies qui effectuent des sous-ensembles de ces produits, mais la Microscopie de Carl Zeiss est la seule qui effectue le domaine complet à partir d'optique aux microscopes d'électron et d'ion.

La Microscopie de Carl Zeiss est connue pour innover et produire des produits nouveaux et des technologies. Notre foyer est le marché de recherches ; c'est la zone de noyau pour nous et des jeux à nos forces. Par l'innovation produit nous fournissons réellement des instruments et des solutions de tranchant à nos abonnées de recherches.

Je pense l'Orion NanoFab, notre dernier produit, est un exemple classique de cette force de noyau de Zeiss. Nous visons le marché de recherches du milieu universitaire, de l'industrie, et du gouvernement, et nous portons ce produit neuf et réellement novateur au marché.

LE WS : Comment l'Orion NanoFab s'insère-t-il dans le spectre existant de produit ?

MAMANS : La Nanofabrication est une zone relativement neuve, qui concerne fondamentalement produire les structures et les dispositifs extrêmement petits. La zone est à l'heure actuelle tout au sujet de prototypage. Quand un chercheur a une idée au sujet de la façon effectuer un certain dispositif, ils veulent effectuer un prototype - ils n'ont pas besoin d'une installation énorme de fabrication capable d'effectuer des centaines ou des milliers des dispositifs, juste la capacité pour effectuer quelques uns de eux, dans un environnement très spécialisé. C'est où ces outils de nanofabrication entrent.

Type, quand les gens parlent utilisant des faisceaux ioniques pour la nanofabrication, ils parlent des ions de gallium. Des faisceaux d'électrons sont également utilisés, principalement pour le traitement lithographique, attendu que des faisceaux ioniques sont utilisés pour l'usinage direct, pulvérisant, ou le démontage matériel, ainsi que le dépôt et corroder.

Ainsi dans l'espace de système de faisceau ionique, le plus populaire et le commun est le faisceau d'ions orienté par gallium. Cette technologie a eu lieu autour pendant 3 décennies ou tellement maintenant. Dans des ces systèmes d'ion de gallium, vous avez une sonde qui est environ 5 nanomètre dans la taille, et vous pouvez fabriquer des structures pour avaler à 30-40 nanomètre. Les Gens sont parvenus à effectuer de plus petites caractéristiques techniques, peut-être vers le bas à 10 ou à 15 nanomètre, mais tels sont des exemples hautement spécialisés - elles sont l'exception, pas la règle.

Cependant, l'enfoncer la zone de la nanofabrication est naturellement vers de plus petites et plus petites structures, et nous avions travaillé sur des voies de réaliser cela. Nous avons employé notre technologie de propriété industrielle de source d'ions de gisement de gaz, pour activer la fabrication de ces structures de plus en plus petites. Nous avons la capacité de produire une poutre orientée des ions de gaz inerte vers le bas à une taille de sonde ci-dessous 0.5nm. Ceci utilisait initialement l'hélium et nous l'avons maintenant étendu au néon aussi bien.

Les ions d'hélium et de néon sont plus légers que le gallium, et peuvent être orientés dans une sonde beaucoup plus petite. Vous pouvez faire les choses assimilées avec de l'hélium et le néon car vous pourriez avec du gallium, mais d'une mode plus précise et plus réglée à une échelle beaucoup plus de petite taille. Ceci active la fabrication des nanostructures ci-dessous 10nm, quelque chose qui n'étaient pas possibles précédemment utilisant des faisceaux ioniques.

Dans ce vidéo, Mohan donne Soutter une brève introduction à l'Orion Nanofab à emc2012, où le produit nouveau a été officiellement lancé.

LE WS : Quelle incidence ces capacités neuves ont-elles sur vos abonnées de recherches ?

MAMANS : L'utilisation des ions d'hélium et de néon ajoute une cote entièrement neuve à la nanofabrication pour la recherche. Chercheurs peut Pour la première fois facilement et par habitude fabriquer des choix de trous 5nm dans différents matériaux comme le nitrure et l'aluminium de silicium, fabriquer des nano-antennes avec les lacunes 4nm en or, et effectuer à 5nm les bandes larges du graphene. La capacité de faire ceci active le développement de senseur pour des biomolécules, étend les capacités dans la recherche de photonics, et pousse les frontières du développement de transistor de prochain rétablissement. Supplémentaire, les chercheurs type ne veulent pas faire juste une chose ou l'autre. Souvent ils veulent enlever un grand nombre de matériau, et changent de plan alors dedans davantage et très avec précision éditent ou produisent de plus petites caractéristiques techniques. Nous avons maintenant produit une plate-forme où nous pouvons intégrer un fléau conventionnel de gallium, avec une poutre d'hélium et une poutre au néon. Ainsi vous faites couvrir la classe de grandeur entière dans une plate-forme unique - du gallium pour le prototypage et le démontage rapides d'un grand nombre de matériau, à l'hélium et au néon pour l'usinage réellement précis et réellement commandé.

La poutre d'hélium peut également être utilisée pour la représentation - elle te donne une taille d'endroit de moins que la moitié d'un nanomètre, ainsi la définition est beaucoup plus grande que ce qui obtenir vous pouvez des SEM conventionnels. Si vous considérez un FIB/SEM classique (ou SEM/FIB) installé, ils ont une définition de 1 à 1,5 nanomètre pour la représentation, et autour de 3-5nm pour l'usinage. La plate-forme de NanoFab peut te donner la représentation ci-dessous 0.5nm, avec le large éventail de capacités de fabrication de sous 10nm jusqu'aux microns. Avec cet instrument vous avez maintenant la capacité de faire le prototypage rapide avec du gallium combiné avec l'usinage précis et réglé utilisant l'hélium et le néon.

LE WS : Quelles sont les applications à la recherche principales pour l'Orion NanoFab ?

MAMANS : Si Je devais classer les domaines d'application très grand, ce serait retouche et analyse de circuit, lithographie de faisceau ionique, plasmonics (et zones relatives comme le photonics et le phononics), et nanopores semi-conducteurs - c'est l'une des applications les plus intéressantes, utilisant les faisceaux ioniques pour produire ces petits trous mêmes, pour l'usage dans l'ordonnancement d'ADN ou des senseurs chimiques.

Telles sont les zones que nous avons regardées jusqu'ici. Mais est l'alimentation électrique réelle de cette plate-forme ce qu'elle peut faire pour les capacités des laboratoires de recherches.

considérons comme exemple une grande installation de recherches, avec un bon nombre d'utilisateurs qui entrent et utilisent les instruments. Beaucoup de ces places regardent augmentantes leur capacité, disent en ajoutant un autre instrument du gallium FIB/SEM. S'ils pensent à un instrument comme le NanoFab, cependant, ils pourraient augmenter leur capacité de BOBARD de gallium et renforcer également le potentiel du laboratoire. Ceci aiderait également à discerner l'installation de tous les autres laboratoires qu'ils concurrencent, parce que les chercheurs là auraient accès aux installations que beaucoup d'autres gens ne font pas.

LE WS : Comment la réaction d'abonnée au NanoFab a-t-elle été jusqu'ici ? Quand les premiers ensembles expédieront-ils ?

MAMANS : La réaction a été grande. Nous avons déjà pris quelques commandes d'abonnée en avant du lancement de produits, et nous expédierons très bientôt - le premier devrait se transporter par le milieu d'Octobre. Nous sommes réellement excités au sujet de ce produit et les applications et les solutions qu'il peut activer pour nos abonnées.

LE WS : Quelles sont les prochaines phases pour la Microscopie de Carl Zeiss ? Y A-t-il de autres technologies passionnantes dans le pipeline ?

MAMANS : Il y a un certain nombre de produits novateurs qui sortiront dans la photomicroscopie. Mon foyer est du côté de faisceau d'ions, mais Je sais qu'il y aura un produit nouveau LightSheet appelée, qui est également novateur, et cela sera annoncé à la Neurologie à la Nouvelle-Orléans quelques semaines dès maintenant.

Sur le front de microscopie d'ion, il y a un certain nombre de choses que nous orienterons en circuit dans un avenir proche. Un de ces derniers renforce le potentiel analytique de l'instrument.

Avec des Bobards d'hélium et de néon, vous ne produisez pas des Rayons X, ainsi vous ne pouvez pas faire l'analyse d'EDS pendant que vous avec un système conventionnel de double-poutre. Ainsi nous regardons différentes voies d'activer des capacités analytiques sur cette plate-forme, parce que les gens sont intéressés à faire la représentation de haute résolution avec l'analyse de haute résolution. Si vous voyez un petit plot sur l'écran, vous voulez savoir ce qu'est il, de ce qu'il a composé.

Nous regardons différentes voies de faire cela, et il y a quelques options que nous développons. Il y a beaucoup de recherche passionnante qui continue dans cette zone. Il y a les gens présent des résultats, même à cette conférence, sur certaines des capacités analytiques que nous développons sur cet instrument. De sorte que soit réellement la prochaine chose nous nous orientons en circuit.

LE WS : Où pouvons-nous trouver plus d'informations sur l'Orion NanoFab, et la Microscopie de Carl Zeiss ?

MAMANS : Vous pouvez nous envoyer chez microscopy@zeiss.com, ou visitez le microsite de NanoFab chez www.zeiss.com/orion-nanofab.

La remorque officielle de produit pour Carl Zeiss Orion NanoFab.

Au Sujet de la Microscopie de Carl Zeiss

La Microscopie de Carl Zeiss est le seul constructeur du monde des microscopes de la lumière, d'électron et d'ion. Le vaste portefeuille de la compagnie active des applications de recherches et de sous-programme pendant la durée de vie et les sciences des matériaux.

Leur gamme de produits comprend la lumière et des microscopes de lecture de laser, des microscopes d'électron et d'ion et des modules de spectromètre. Des Utilisateurs sont supportés pour le logiciel pour les commandes système, la capture d'images et la retouche.



Date Added: Oct 3, 2012 | Updated: Jan 9, 2013

Last Update: 9. January 2013 14:18

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit