Strumenti Innovatori di Ricerca per Nanofabbricazione: Un'Intervista con Mohan Ananth

L'Intervista Vicino Soutter

In questo Comprensioni dall'intervista di Industria, da Dott. Mohan Ananth, dal Direttore di Marketing Senior e dalla Gestione del Prodotto per Microscopia di Carl Zeiss, colloqui Per Volere Soutter circa il loro nuovo microscopio ionico multibeam di Orione NanoFab. La piattaforma di NanoFab è stata lanciata a emc2012 a Manchester, REGNO UNITO.

La WS: Possono voi dirci un bit circa Microscopia di Carl Zeiss ed i vostri prodotti ed il vostro ruolo all'interno di più grande gruppo di Zeiss?

MA: Il motto del Gruppo di Carl Zeiss è “noi lo rende visibile„ - qualche cosa fare con l'ottica, siamo coinvolgere dentro. Facciamo tutto dai microscopi ai telescopi ed agli strumenti del planetario.

Ci sono sei commerci presso Zeiss - appartengo a Microscopia di Carl Zeiss, che ha un vasto portafoglio di indicatore luminoso, dell'elettrone e dei microscopi ionici. Ci sono altre società che fanno i sottoinsiemi di questi prodotti, ma la Microscopia di Carl Zeiss è quella sola che fa l'intervallo completo da ottico all'elettrone ed ai microscopi ionici.

La Microscopia di Carl Zeiss è conosciuta per innovare e la creazione i nuovi prodotti e delle tecnologie. Il Nostro fuoco è il servizio della ricerca; quella è l'area di memoria per noi e giochi alle nostre concentrazioni. Attraverso l'innovazione di prodotto consegniamo realmente gli strumenti e le soluzioni dell'avanguardia ai nostri clienti della ricerca.

Penso Orione NanoFab, il nostro ultimo prodotto, sono un esempio classico di questa concentrazione di memoria di Zeiss. Stiamo mirando al mercato della ricerca dell'accademia, dell'industria e del governo e stiamo portando questo nuovo e prodotto realmente innovatore al servizio.

La WS: Come Orione NanoFab inserisce nello spettro attuale del prodotto?

MA: La Nanofabbricazione è un'area relativamente nuova, che comprende basicamente creare le strutture e le unità estremamente piccole. Il campo al momento è interamente circa modello. Quando un ricercatore ha un'idea circa come fare una determinata unità, vogliono fare un prototipo - non hanno bisogno di una funzione enorme di montaggio capace di fabbricazione le centinaia o delle migliaia delle unità, appena la capacità per fare alcuni di loro, in un ambiente molto specializzato. Quello è dove questi strumenti di nanofabbricazione entrano.

Tipicamente, quando la gente parla di per mezzo dei raggi ionici per la nanofabbricazione, stanno parlando degli ioni del gallio. I Fasci di elettroni egualmente sono utilizzati, pricipalmente per trattamento litografico, mentre i raggi ionici sono utilizzati per lavorare diretto, polverizzando, o rimozione materiale come pure il deposito ed incidere.

Così all'interno dello spazio del sistema del fascio ionico, il più popolare ed il comune sono il raggio ionico messo a fuoco gallio. Questa tecnologia è stata per 3 decadi o così ora intorno. In questi sistemi dello ione del gallio, avete una sonda che è circa 5 nanometro nella dimensione e potete da costruzione le strutture per scolarti a 30-40 nanometro. La Gente è riuscito a fare le più piccole funzionalità, forse giù a 10 o a 15 nanometro, ma quelli sono esempi altamente specializzati - sono l'eccezione, non la norma.

Tuttavia, l'inserire il campo di nanofabbricazione è naturalmente verso le più piccole e più piccole strutture e stiamo lavorando ai modi raggiungere quello. Abbiamo usato la nostra tecnologia privata di sorgente di ione del giacimento di gas, per permettere alla lavorazione di queste sempre più piccole strutture. Abbiamo la capacità di creare un raggio messo a fuoco degli ioni del gas inerte giù ad una dimensione della sonda sotto 0.5nm. Ciò originalmente stava usando l'elio ed ora lo abbiamo esteso fino neon pure.

Gli ioni del neon e dell'elio sono più leggeri del gallio e possono essere messi a fuoco in una sonda molto più piccola. Potete fare le simili cose con elio e neon poichè potreste con gallio, ma ad un modo più preciso e più controllato ad un disgaggio molto più di piccola dimensione. Ciò permette al montaggio dei nanostructures sotto 10nm, qualcosa che non sia stato precedentemente possibile facendo uso dei raggi ionici.

In questo video, Mohan fa Soutter una breve introduzione ad Orione Nanofab a emc2012, dove il nuovo prodotto è stato lanciato ufficialmente.

La WS: Che impatto queste nuove capacità hanno sui vostri clienti della ricerca?

MA: L'uso degli ioni del neon e dell'elio aggiunge un'assolutamente nuova dimensione a nanofabbricazione per la ricerca. Per la prima volta ricercatori può da costruzione facilmente ed ordinariamente le schiere dei fori 5nm in materiali differenti come il nitruro e l'alluminio di silicio, da costruzione le nano-antenne con le lacune 4nm in oro e rendere a 5nm gli ampi nastri di graphene. La capacità di fare questo sta permettendo allo sviluppo del sensore per le biomolecole, sta estendendo le capacità nella ricerca di fotonica e sta spingendo le frontiere dello sviluppo del transistor della generazione seguente. Ulteriormente, i ricercatori non vogliono tipicamente fare appena una cosa o l'altra. Vogliono Spesso rimuovere un gran numero di materiale e poi zummano più ulteriormente e molto precisamente modificano o creano le più piccole funzionalità. Ora abbiamo creato una piattaforma in cui possiamo integrare una colonna convenzionale del gallio, con un raggio dell'elio e un raggio al neon. Così fate l'intero intervallo di grandezza coprire in una singola piattaforma - da gallio per modello e rimozione rapidi di un gran numero di materiale, ad elio ed a neon per lavorare realmente preciso e realmente gestito.

Il raggio dell'elio può anche essere utilizzato per la rappresentazione - vi dà una dimensione di punto del nanometro meno mezzo, in modo dalla risoluzione è molto maggior di che cosa potete ottenere da SEMs convenzionale. Se considerate un FIB/SEM classico (o SEM/FIB) installato, hanno una risoluzione di 1 a 1,5 nanometro per la rappresentazione ed intorno a 3-5nm per lavorare. La piattaforma di NanoFab può dargli la rappresentazione sotto 0.5nm, con l'intervallo completo delle capacità di montaggio da sotto 10nm fino ai micron. Con questo strumento ora avete la capacità di fare il modello rapido con gallio combinato con lavorare preciso e controllato facendo uso di elio e di neon.

La WS: Che Cosa sono le domande principali della ricerca di Orione NanoFab?

MA: Se dovessi categorizzare molto largamente i campi di applicazione, sarebbe modificare e l'analisi del circuito, la litografia del fascio ionico, plasmonics (e aree relative come le fotoniche e il phononics) e nanopores semi conduttori - questa è una delle applicazioni più interessanti, facendo uso dei raggi ionici per creare questi molto piccoli fori, per uso in ordinamento del DNA o sensori chimici.

Quelle sono le aree che abbiamo esaminato finora. Ma la potenza reale di questa piattaforma è che cosa può fare per le capacità dei laboratori di ricerca.

consideriamo come esempio una grande funzione di ricerca, con i lotti degli utenti che entrano ed utilizzano gli strumenti. Molti questi posti stanno esaminando amplianti la loro capacità, dicono aggiungendo un altro strumento del gallio FIB/SEM. Se pensano ad uno strumento come il NanoFab, tuttavia, potessero aumentare il loro gallio MENTA la capacità ed egualmente aumenti le capacità del laboratorio. Ciò egualmente contribuirebbe a distinguere la funzione da tutti i altri laboratori che sono in competizione contro, perché i ricercatori là avrebbero avuti accesso agli impianti che molta altra gente non fa.

La WS: Come la risposta del cliente al NanoFab è stata finora? Quando le prime unità spediranno?

MA: La risposta è stata grande. Già abbiamo catturato alcuni ordini del cliente davanti al lancio di prodotto e spediremo molto presto - quello primo dovrebbe spedire dal mezzo di Ottobre. Realmente siamo eccitati circa questo prodotto e le applicazioni e le soluzioni che può permettere a per i nostri clienti.

La WS: Che Cosa sono i punti seguenti per Microscopia di Carl Zeiss? C'È delle altre tecnologie emozionanti nella conduttura?

MA: Ci sono una serie di prodotti innovatori che usciranno nella microscopia leggera. Il Mio fuoco è dal lato del raggio ionico, ma so che ci sarà un nuovo prodotto chiamato LightSheet, che è ugualmente innovatore e quello sarà annunciato alla Neuroscienza a New Orleans alcune settimane da oggi.

Sulla parte anteriore di microscopia dello ione, ci sono una serie di cose che metteremo a fuoco sopra nell'immediato futuro. Uno di questi sta aumentando la capacità analitica dello strumento.

Con elio e neon Mente, non generate i Raggi X, in modo da non potete fare l'analisi di EDS mentre con un sistema convenzionale del doppio-raggio. Così stiamo esaminando i modi diversi di permettere alle capacità analitiche su questa piattaforma, perché la gente è interessata nel fare la rappresentazione di alta risoluzione con l'analisi di alta risoluzione. Se vedete un piccolo segnale di ritorno sullo schermo, volete conoscere che cosa è, di cui ha composto.

Stiamo esaminando i modi diversi di fare quello e ci sono alcune opzioni che stiamo sviluppando. C'è molta ricerca emozionante che sta continuando in quell'area. C'è la gente che presenta i risultati, anche a questa conferenza, su alcune delle capacità analitiche che stiamo sviluppando su questo strumento. In modo che sia realmente la cosa seguente stiamo mettendo a fuoco sopra.

La WS: Dove possiamo noi trovare più informazioni su Orione NanoFab e la Microscopia di Carl Zeiss?

MA: Potete inviarci con la posta elettronica a microscopy@zeiss.com, o visualizzi il microsite di NanoFab a www.zeiss.com/orion-nanofab.

Il rimorchio ufficiale del prodotto per Carl Zeiss Orione NanoFab.

Circa Microscopia di Carl Zeiss

La Microscopia di Carl Zeiss è il solo produttore del mondo sia di indicatore luminoso, dell'elettrone che dei microscopi ionici. L'esteso portafoglio della società permette alle applicazioni di routine e della ricerca nella vita e nelle scienze dei materiali.

La Loro gamma di prodotti comprende l'indicatore luminoso e microscopi di scansione del laser, elettrone e microscopi ionici e moduli dello spettrometro. Gli Utenti contributo a software per controllo, l'acquisizione immagine e modificare di sistema.



Date Added: Oct 3, 2012 | Updated: Jun 25, 2014

Last Update: 26. June 2014 00:02

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit