De Innovatieve Hulpmiddelen van het Onderzoek voor Nanofabricatie: Een Gesprek met Mohan Ananth

Het Gesprek Zal langs Soutter

In dit Inzicht van het gesprek van de Industrie, Dr. Mohan Ananth, Hogere Directeur van Marketing en het Beheer van het Product voor de Microscopie van Carl Zeiss, Zullen de besprekingen aan Soutter over hun nieuwe multibeam ionenmicroscoop van Orion NanoFab. Het platform NanoFab werd gelanceerd bij emc2012 in Manchester, het UK.

WS: Kunt u ons een bit over de Microscopie van Carl Zeiss en uw producten, en uw rol binnen de grotere Groep van Zeiss vertellen?

DOCTORANDUS IN DE LETTEREN: Het motto de Groep van Carl Zeiss is „wij maakt het zichtbaar“ - om het even wat met optica te doen, zijn wij binnen geïmpliceerd. Wij maken alles van microscopen aan telescopen en planetariuminstrumenten.

Er zijn zes ondernemingen binnen Zeiss - Ik behoor tot de Microscopie van Carl Zeiss, die een brede portefeuille van licht, elektron en ionenmicroscopen heeft. Er zijn andere bedrijven die ondergroepen van deze producten maken, maar de Microscopie van Carl Zeiss is enige die de volledige waaier van optisch aan elektron en ionenmicroscopen maakt.

De Microscopie van Carl Zeiss is gekend voor het vernieuwen en het creëren van nieuwe producten en technologieën. Onze nadruk is de onderzoekmarkt; dat is het kerngebied voor ons en spelen aan onze sterke punten. Door productinnovatie leveren wij werkelijk snijkantinstrumenten en oplossingen aan onze onderzoekklanten.

Ik denk Orion NanoFab, ons recent product, ben klassiek voorbeeld van dit kern sterkte van Zeiss. Wij richten de onderzoekmarkt in academia, de industrie, en overheid, en wij brengen dit nieuwe en werkelijk innovatieve product aan de markt.

WS: Hoe past Orion NanoFab in het bestaande productspectrum?

DOCTORANDUS IN DE LETTEREN: De Nanofabricatie is een vrij nieuw gebied, dat fundamenteel het creëren van uiterst kleine structuren en apparaten impliceert. Het gebied op het ogenblik is allen over prototyping. Wanneer een onderzoeker een idee over hoe te om een bepaald apparaat te maken heeft, willen zij een prototype maken - zij hebben geen reusachtige vervaardigingsfaciliteit geschikt om honderden of duizenden apparaten nodig te maken, enkel het vermogen om enkelen te maken van hen, in een zeer gespecialiseerd milieu. Dat is waar deze nanofabricatiehulpmiddelen binnen komen.

Typisch, wanneer de mensen over het gebruiken van ionenstralen voor nanofabricatie spreken, spreken zij over galliumionen. De elektronenstralen worden ook gebruikt, hoofdzakelijk voor lithografische verwerking, terwijl de ionenstralen voor het directe machinaal bewerken, het sputteren, of materiële verwijdering, evenals deposito en het etsen worden gebruikt.

Zo binnen de ruimte van het ionenstraalsysteem, is het populairst en gemeenschappelijk de gallium geconcentreerde ionenstraal. Deze technologie is rond voor 3 decennia of zo nu geweest. In deze gallium ionensystemen, hebt u een sonde die ongeveer 5 NM in grootte is, en u kunt structuren aan 30-40 NM neer vervaardigen. De Mensen zijn erin geslaagd om kleinere eigenschappen, misschien neer aan 10 of 15 NM te maken, maar die zijn hoogst gespecialiseerde voorbeelden - zij zijn de uitzondering, niet de regel.

Nochtans, is de duw op het gebied van nanofabricatie natuurlijk naar kleinere en kleinere structuren, en wij hebben gewerkt aan manieren om dat te bereiken. Wij hebben onze merkgebonden gasveld ionen brontechnologie, gebruikt om de vervaardiging van deze meer en meer kleine structuren toe te laten. Wij hebben de capaciteit om een geconcentreerde straal van inert gasionen aan een sondegrootte onder 0.5nm neer te creëren. Dit gebruikte oorspronkelijk helium en wij hebben nu het tot neon eveneens uitgebreid.

De helium en neonionen zijn lichter dan gallium, en kunnen in een veel kleinere sonde worden geconcentreerd. U kunt gelijkaardige dingen met helium en neon doen aangezien u met gallium, maar op een nauwkeurigere en gecontroleerde manier bij een veel kleinere grootteschaal kon. Dit laat vervaardiging van nanostructures onder 10nm, iets toe die niet mogelijk eerder gebruikend ionenstralen was.

In deze video, geeft Mohan Zal Soutter een korte inleiding aan Orion Nanofab bij emc2012, waar het nieuwe product officieel werd gelanceerd.

WS: Welke invloed deze nieuwe mogelijkheden op uw onderzoekklanten zullen hebben?

DOCTORANDUS IN DE LETTEREN: Het gebruik van helium en neonionen voegt een volledig nieuwe afmeting aan nanofabricatie voor onderzoek toe. Voor het eerst kunnen de onderzoekers series van 5nm gaten in verschillende materialen zoals siliciumnitride en aluminium gemakkelijk en uit routine vervaardigen, nano-antennes met 4nm hiaten in goud vervaardigen, en tot 5nm brede linten van graphene maken. De capaciteit om dit te doen laat sensorontwikkeling voor biomoleculen toe, breidt de mogelijkheden in photonicsonderzoek uit, en duwt de grenzen van de ontwikkeling van de volgende generatietransistor. Bovendien, willen de onderzoekers typisch niet enkel één ding of andere doen. Vaak willen zij hopen van materiaal, en toen gezoem in verder zeer precies om verwijderen en tot kleinere eigenschappen uit te geven of te leiden. Wij hebben nu een platform gecreeerd waar wij een conventionele galliumkolom, samen met een heliumstraal en een neonstraal kunnen integreren. Zo hebt u de volledige groottewaaier die in één enkel platform - van gallium voor snelle prototyping en verwijdering van hopen van materiaal, aan helium en neon voor werkelijk het nauwkeurige, werkelijk gecontroleerde machinaal bewerken wordt behandeld.

De heliumstraal kan ook voor weergave worden gebruikt - het geeft u een vlekgrootte van minder dan de helft van een nanometre, zodat is de resolutie veel groter dan wat u van conventionele SEMs kunt krijgen. Als u een klassieke opstelling FIB/SEM (of SEM/FIB) overweegt, hebben zij een resolutie van 1 tot 1.5 NM voor weergave, en rond 35nm voor het machinaal bewerken. Het platform NanoFab kan u weergave onder 0.5nm, samen met de volledige waaier van vervaardigingsmogelijkheden van sub 10nm tot microns geven. Met dit instrument hebt u nu de capaciteit om snelle prototyping met gallium te doen die met nauwkeurig en gecontroleerd het machinaal bewerken gebruikend helium en neon wordt gecombineerd.

WS: Wat zijn de belangrijkste onderzoektoepassingen voor Orion NanoFab?

DOCTORANDUS IN DE LETTEREN: Als Ik de toepassingsgebieden moest categoriseren zeer ruim, zou het krings het uitgeven en analyse, ionenstraallithografie, plasmonics (en verwante gebieden zoals photonics en phononics), en in vaste toestand nanopores zijn - dit is één van de interessantste toepassingen, die de ionenstralen gebruiken om deze eigenlijke prikken tot stand te brengen, voor gebruik in het rangschikken van DNA of chemische sensoren.

Die zijn de gebieden wij tot dusver hebben bekeken. Maar het echte vermogen van dit platform is wat het voor de mogelijkheden van onderzoeklaboratoria kan doen.

overweeg als voorbeeld een grote onderzoekfaciliteit, met veel gebruikers die binnenkomen en de instrumenten gebruiken. Heel wat deze plaatsen bekijken het uitbreiden van hun capaciteit, zeggen door een ander galliumFIB/SEM instrument toe te voegen. Als zij over een instrument zoals NanoFab denken, echter, zouden zij hun gallium kunnen verhogen LIEGEN capaciteit en ook verbeteren de mogelijkheden van het laboratorium. Dit zou ook helpen om de faciliteit van alle andere laboratoria te onderscheiden zij tegen concurreren, omdat de onderzoekers daar toegang tot faciliteiten zouden hebben geen die heel wat andere mensen.

WS: Hoe de klantenreactie op NanoFab tot dusver is geweest? Wanneer de eerste eenheden zullen verschepen?

DOCTORANDUS IN DE LETTEREN: De reactie is groot geweest. Wij hebben reeds een paar klantenorden voor de productlancering genomen, en wij zullen zeer spoedig verschepen - eerste zou door het midden van Oktober moeten verschepen. Wij zijn werkelijk opgewekt over dit product en toepassingen en de oplossingen het voor onze klanten kan toelaten.

WS: Wat zijn de volgende stappen voor de Microscopie van Carl Zeiss? Zijn er een andere opwindende technologieën in de pijpleiding?

DOCTORANDUS IN DE LETTEREN: Er zijn een aantal innovatieve producten die uit in de lichte microscopie zullen komen. Mijn nadruk is aan de ionenstraalkant, maar Ik weet er een nieuw product genoemd LightSheet zal zijn, die even innovatief is, en dat zal van nu bij Neurologie in New Orleans worden aangekondigd een paar weken.

Voor de ionen de microscopievoorzijde, zijn er een aantal dingen wij waarons in de nabije toekomst zullen concentreren op. Één hiervan verbetert het analytische vermogen van het instrument.

Met helium en neon liegt, produceert u geen Röntgenstralen, zodat kunt u EDS geen analyse maken zoals u met een conventioneel dubbel-straalsysteem. Zo wij verschillende manieren bekijken om analytische mogelijkheden op dit platform toe te laten, omdat de mensen in het doen van hoge resolutieweergave samen met hoge resolutieanalyse geinteresseerd zijn. Als u een kleine echo op het scherm ziet, wilt u weten wat is het, wat het van heeft samengesteld.

Wij bekijken verschillende manieren om te doen dat, en er een paar opties zijn die wij ontwikkelen. Er is heel wat opwindend onderzoek dat op dat gebied gaat. Er zijn mensen die resultaten voorstellen, zelfs op deze conferentie, over enkele analytische mogelijkheden die wij op dit instrument ontwikkelen. Zodat werkelijk het volgende ding is concentreren wij ons op.

WS: Waar kunnen wij meer informatie over Orion NanoFab, en de Microscopie van Carl Zeiss vinden?

DOCTORANDUS IN DE LETTEREN: U kunt ons met de elektronische post versturen in microscopy@zeiss.com, of NanoFab bezoeken microsite in www.zeiss.com/orion-nanofab.

De officiële productaanhangwagen voor Carl Zeiss Orion NanoFab.

Ongeveer de Microscopie van Carl Zeiss

De Microscopie van Carl Zeiss is de enige fabrikant van de wereld van zowel licht, elektron als ionenmicroscopen. De uitgebreide portefeuille van het bedrijf laat onderzoek en routinetoepassingen in het leven en de materialenwetenschappen toe.

Hun producten gamma omvat licht en laseraftastenmicroscopen, elektron en ionenmicroscopen en spectrometermodules. De Gebruikers worden gesteund voor software voor systeemcontrole, vangt het beeld en uitgevend.



Date Added: Oct 3, 2012 | Updated: Jan 9, 2013

Last Update: 9. January 2013 14:17

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit