Ferramentas Inovativas da Pesquisa para a Nanofabricação: Uma Entrevista com Mohan Ananth

A Entrevista perto Soutter

No este Introspecções da entrevista da Indústria, do Dr. Mohan Ananth, do Director de Marketing Superior e da Gestão de Produtos para a Microscopia de Carl Zeiss, negociações Para Querer Soutter sobre seu microscópio de íon multibeam novo de Orion NanoFab. A plataforma de NanoFab foi lançada em emc2012 em Manchester, REINO UNIDO.

WS: Podem você dizer-nos um bit sobre a Microscopia de Carl Zeiss e os seus produtos, e seu papel dentro do grupo maior de Zeiss?

MILIAMPÈRE: A divisa do Grupo de Carl Zeiss é “nós fá-lo visível” - qualquer coisa fazer com sistema ótico, nós somos envolvidos dentro. Nós fazemos tudo dos microscópios aos telescópios e aos instrumentos do planetário.

Há seis negócios dentro de Zeiss - Eu pertenço à Microscopia de Carl Zeiss, que tem uma carteira larga de microscópios da luz, do elétron e de íon. Há outras empresas que fazem subconjuntos destes produtos, mas a Microscopia de Carl Zeiss é única que faz a escala completa de óptico aos microscópios do elétron e de íon.

A Microscopia de Carl Zeiss é sabida inovando e criando produtos novos e tecnologias. Nosso foco é o mercado da pesquisa; aquela é a área de núcleo para nós e jogos a nossas forças. Através da inovação de produto nós entregamos realmente instrumentos e soluções do de ponta a nossos clientes da pesquisa.

Eu penso o Orion NanoFab, nosso produto mais atrasado, sou um exemplo clássico desta força do núcleo de Zeiss. Nós estamos visando o mercado da pesquisa da academia, a indústria, e o governo, e nós estamos trazendo este produto novo e realmente inovativo ao mercado.

WS: Como o Orion NanoFab cabe no espectro existente do produto?

MILIAMPÈRE: A Nanofabricação é uma área relativamente nova, que envolva basicamente criar estruturas e dispositivos extremamente pequenos. O campo é neste momento toda sobre a prototipificação. Quando um pesquisador tem uma ideia sobre como fazer um determinado dispositivo, querem fazer um protótipo - não precisam uma facilidade enorme da fabricação capaz de fazer centenas ou milhares dos dispositivos, apenas a capacidade para fazer alguns deles, em um ambiente muito especializado. Isso é o lugar aonde estas ferramentas da nanofabricação entram.

Tipicamente, quando os povos falam sobre a utilização de feixes de íon para a nanofabricação, estão falando sobre íons do gálio. Os feixes de Elétron são usados igualmente, principalmente para o processamento litográfico, visto que os feixes de íon são usados para fazer à máquina directo, engasgando, ou remoção material, assim como depósito e gravar.

Assim dentro do espaço do sistema do íon-feixe, o mais popular e o comum são o feixe de íon focalizado gálio. Esta tecnologia estêve ao redor por 3 décadas ou tão agora. Nestes sistemas do íon do gálio, você tem uma ponta de prova que seja aproximadamente 5 nanômetro em tamanho, e você pode fabricar estruturas para tragar a 30-40 nanômetro. Os Povos controlaram fazer características menores, talvez para baixo a 10 ou a 15 nanômetro, mas aqueles são altamente exemplos especializados - são a exceção, não a regra.

Contudo, empurrar o campo da nanofabricação é naturalmente para estruturas menores e menores, e nós temos trabalhado em maneiras de conseguir isso. Nós usamos nossa tecnologia proprietária da fonte de íon do campo de gás, para permitir a fabricação destas estruturas cada vez mais pequenas. Nós temos a capacidade para criar para baixo um feixe focalizado de íons do gás inerte a um tamanho da ponta de prova abaixo de 0.5nm. Isto usava originalmente o hélio e nós estendemo-lo agora ao néon também.

Os íons do hélio e do néon são mais claros do que o gálio, e podem ser focalizados em uma ponta de prova muito menor. Você pode fazer coisas similares com hélio e néon como você poderia com gálio, mas em uma forma mais precisa e mais controlada em uma escala muito menor do tamanho. Isto permite a fabricação dos nanostructures abaixo de 10nm, algo que não era feixes de íon previamente de utilização possíveis.

Neste vídeo, Mohan dá Soutter uma breve introdução ao Orion Nanofab em emc2012, onde o produto novo foi lançado oficialmente.

WS: Que impacto estas capacidades novas têm em seus clientes da pesquisa?

MILIAMPÈRE: O uso de íons do hélio e do néon adiciona uma dimensão inteiramente nova à nanofabricação para a pesquisa. Pela primeira vez pesquisadores pode facilmente e rotineiramente fabricar disposições dos furos 5nm em materiais diferentes como o nitreto e o alumínio de silicone, para fabricar nano-antenas com diferenças 4nm no ouro, e para fazer a 5nm fitas largas do graphene. A capacidade para fazer isto está permitindo a revelação do sensor para biomoléculas, está estendendo as capacidades na pesquisa do photonics, e está empurrando as fronteiras da revelação do transistor da próxima geração. Adicionalmente, os pesquisadores tipicamente não querem fazer apenas uma coisa ou a outro. Frequentemente querem remover as grandes quantidades de material, e zumbem então dentro mais e muito precisamente editam ou criam características menores. Nós temos criado agora uma plataforma onde nós pudéssemos integrar uma coluna convencional do gálio, junto com um feixe do hélio e um feixe de néon. Assim você tem a escala inteira do tamanho coberta em uma única plataforma - do gálio para a prototipificação e a remoção rápidas das grandes quantidades de material, ao hélio e ao néon para fazer à máquina realmente preciso, realmente controlado.

O feixe do hélio pode igualmente ser usado para a imagem lactente - dá-lhe um tamanho de ponto de menos do que a metade nanômetros, assim que a definição é muito maior do que o que você pode obter de SEMs convencional. Se você considera um FIB/SEM clássico (ou SEM/FIB) setup, têm uma definição de 1 a 1,5 nanômetro para a imagem lactente, e em torno de 3-5nm para fazer à máquina. A plataforma de NanoFab pode dar-lhe a imagem lactente abaixo de 0.5nm, junto com a série completa de capacidades da fabricação de 10nm secundário até mícrons. Com este instrumento você tem agora a capacidade para fazer a prototipificação rápida com o gálio combinado com o hélio e o néon de utilização fazendo à máquina precisos e controlados.

WS: Que são os pedidos principais da pesquisa para o Orion NanoFab?

MILIAMPÈRE: Se Eu devia categorizar muito amplamente as áreas de aplicação, seria edição e análise do circuito, litografia do íon-feixe, plasmonics (e áreas relacionadas como o photonics e o phononics), e nanopores de circuito integrado - esta é uma das aplicações as mais interessantes, usando os feixes de íon para criar estes furos muito pequenos, para o uso em arranjar em seqüência do ADN ou em sensores químicos.

Aquelas são as áreas que nós temos olhado até agora. Mas a potência real desta plataforma é o que pode fazer para as capacidades de laboratórios de pesquisa.

deixe-nos considerar como um exemplo uma grande instalação de investigação, com lotes dos usuários que entram e usam os instrumentos. Muitos estes lugares estão olhando de expansão sua capacidade, dizem adicionando um outro instrumento do gálio FIB/SEM. Se pensam sobre um instrumento como o NanoFab, contudo, poderiam aumentar seu gálio MENTIR a capacidade e igualmente aumente as capacidades do laboratório. Isto igualmente ajudaria a distinguir a facilidade de todos os laboratórios que restantes estão competindo contra, porque os pesquisadores lá teriam o acesso às facilidades que muitos outros povos não fazem.

WS: Como a resposta do cliente ao NanoFab tem sido até agora? Quando as primeiras unidades estarão enviando?

MILIAMPÈRE: A resposta foi grande. Nós temos tomado já alguns pedidos do cliente antes do lançamento de produto, e nós estaremos enviando muito logo - primeiro deve enviar pelo meio de Outubro. Nós somos realmente entusiasmado sobre este produto e as aplicações e as soluções que pode permitir para nossos clientes.

WS: Que são os passos seguintes para a Microscopia de Carl Zeiss? Há alguma outra tecnologia emocionante no encanamento?

MILIAMPÈRE: Há um número de produtos inovativos que estarão saindo na fotomicroscopia. Meu foco está no lado do feixe de íon, mas Eu sei que haverá um produto novo chamado LightSheet, que é ingualmente inovativo, e aquele será anunciado na Neurociência em Nova Orleães algumas semanas a partir de agora.

Na parte dianteira da microscopia do íon, há um número de coisas que nós estaremos focalizando sobre em um futuro próximo. Um destes está aumentando a capacidade analítica do instrumento.

Com hélio e néon Mente, você não gera Raios X, assim que você não pode fazer a análise do EDS enquanto você com um sistema convencional do duplo-feixe. Assim nós estamos olhando maneiras diferentes de permitir capacidades analíticas nesta plataforma, porque os povos estão interessados em fazer a imagem lactente de alta resolução junto com a análise de alta resolução. Se você vê uma resposta pequena na tela, você quer conhecer o que é, o que comps.

Nós estamos olhando maneiras diferentes de fazer isso, e há algumas opções que nós estamos desenvolvendo. Há muita pesquisa emocionante que está indo sobre nessa área. Há povos que apresentam resultados, mesmo nesta conferência, sobre algumas das capacidades analíticas que nós estamos desenvolvendo neste instrumento. De modo que seja realmente a coisa seguinte nós estamos focalizando sobre.

WS: Onde podemos nós encontrar mais informação sobre o Orion NanoFab, e a Microscopia de Carl Zeiss?

MILIAMPÈRE: Você pode enviar-nos por correio electrónico em microscopy@zeiss.com, ou visite o microsite de NanoFab em www.zeiss.com/orion-nanofab.

O reboque oficial do produto para Carl Zeiss Orion NanoFab.

Sobre a Microscopia de Carl Zeiss

A Microscopia de Carl Zeiss é o único fabricante do mundo de microscópios da luz, do elétron e de íon. A carteira extensiva da empresa permite aplicações da pesquisa e da rotina na vida e nas ciências de materiais.

Sua gama de produtos inclui a luz e os microscópios de exploração do laser, os microscópios do elétron e de íon e os módulos do espectrómetro. Os Usuários são apoiados para o software para o controle de sistema, a captação da imagem e a edição.



Date Added: Oct 3, 2012 | Updated: Jan 9, 2013

Last Update: 9. January 2013 14:19

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