Новаторские Инструменты Исследования для Nanofabrication: Интервью с Mohan Ananth

Интервью Мимо Будет Soutter

В этом Проницательности от интервью Индустрии, Др. Mohan Ananth, Старшего Директора по Маркетингу и Управления Продукцией для Микроскопии Карл Zeiss, бесед для того чтобы Завещать Soutter о их новом микроскопе иона Ориона NanoFab multibeam. Платформа NanoFab была запущена на emc2012 в Манчестере, ВЕЛИКОБРИТАНИИ.

WS: Могут вы сказать нам бит о Микроскопии Карл Zeiss и ваших продуктах, и ваша роль внутри более большая группа Zeiss?

MA: Девиз Группы Карл Zeiss «мы делает его видимым» - что-нибыдь сделать с оптикой, мы включаемся внутри. Мы делаем все от микроскопов к телескопам и аппаратурам планетария.

6 дел внутри Zeiss - Я принадлежу к Микроскопии Карл Zeiss, которая имеет обширное портфолио микроскопов света, электрона и иона. Другие компании которые делают подсовокупности этих продуктов, но Микроскопия Карл Zeiss единственное одно которое делает полный ряд от оптически к микроскопам электрона и иона.

Микроскопия Карл Zeiss знана для innovating и создавать новые продукты и технологии. Наш фокус рынок исследования; то зона сердечника для нас и игр к нашим прочностям. До рационализаторство продукта мы поставляем действительно аппаратуры и разрешения режущей кромки к нашим клиентам исследования.

Я думаю Орион NanoFab, наш самый последний продукт, классический пример этой прочности сердечника Zeiss. Мы пристреливаем рынок исследования в научном сообществе, индустрии, и правительстве, и мы приносим этот новый и действительно новаторский продукт к рынку.

WS: Как Орион NanoFab помещает в существующий спектр продукта?

MA: Nanofabrication относительно новая область, которая по-существу включает создать весьма малые структуры и приборы. Поле в настоящее время совсем о прототипировании. Когда исследователь имеет идею о как сделать некоторый прибор, они хотят сделать прототип - им не нужно огромное средство изготовления способное делать сотниы или тысячи из приборов, как раз возможности для того чтобы сделать несколько их, в очень специализированной окружающей среде. То куда эти инструменты nanofabrication приходят внутри.

Типично, когда люди поговорят о использовании ионных лучей для nanofabrication, они говорят о ионах галлия. Лучи электронов также использованы, главным образом для литографский обрабатывать, тогда как ионные лучи использованы для сразу подвергать механической обработке, sputtering, или материальное удаление, так же, как низложение и вытравлять.

Так внутри космос системы ионного луча, самое популярное и общее сфокусированный галлием луч иона. Эта технология вокруг на 3 декады или настолько теперь. В этих системах иона галлия, вы имеете зонд который около 5 nm в размере, и вы можете изготовить структуры для того чтобы опустить до 30-40 nm. Люди управляли сделать более малые характеристики, возможно вниз до 10 или 15 nm, но те сильно специализированные примеры - они исключение, не правило.

Однако, нажим в поле nanofabrication направлял к естественно к более малым и более малым структурам, и мы работали на путях достигнуть того. Мы использовали нашу собственническую технологию источника иона месторождения газа, для того чтобы включить изготовление этих все больше и больше малых структур. Мы имеем способность создать сфокусированный луч ионов инертного газа вниз к размеру зонда под 0.5nm. Это первоначально использовало гелий и мы теперь удлиняли его к неону также.

Ионы гелия и неона светле чем галлий, и могут быть сфокусированы в гораздо малее зонд. Вы можете сделать подобные вещи с гелием и неоном по мере того как вы смогли с галлием, но в более точном и более контролировать способе на гораздо малее маштабе размера. Это включает изготовление nanostructures под 10nm, что-то которое не было возможно ранее используя ионные лучи.

В этом видео, Mohan дает Будет Soutter кратко введение к Ориону Nanofab на emc2012, куда новый продукт официально был запущен.

WS: Какой удар эти новые возможности имеют на ваших клиентах исследования?

MA: Польза ионов гелия и неона добавляет полностью новый размер к nanofabrication для исследования. Для в первый раз исследователя смогите легко и по заведенному порядку изготовить блоки отверстий 5nm в различных материалах как нитрид и алюминий кремния, изготовить nano-антенны с 4nm проделывает брешь в золоте, и делает 5nm широкие тесемки graphene. Способность сделать это включает развитие датчика для биомолекул, расширяет возможности в исследовании photonics, и нажимает границы развития транзистора следующего поколени. Дополнительно, исследователя типично не хотят сделать как раз одну вещь или другое. Часто они хотят извлечь большое количество материала, и после этого сигналят внутри более далее и очень точно редактируют или создают более малые характеристики. Мы теперь создавали платформу где мы можем интегрировать обычную колонку галлия, вместе с лучем гелия и неоновым лучем. Так вы имеете весь ряд размера быть покрытым в одиночной платформе - от галлия для быстрых прототипирования и удаления большое количество материала, к гелию и неону для действительно точный, действительно контролируемый подвергать механической обработке.

Луч гелия можно также использовать для воображения - он дает вам размер места чем половина нанометры, поэтому разрешение гораздо большле чем что вы можете получить от обычного SEMs. Если вы учитываете классицистическое FIB/SEM (или SEM/FIB) настроено, то они имеет разрешение 1 до 1,5 nm для воображения, и вокруг 3-5nm для подвергать механической обработке. Платформа NanoFab может дать вам воображение под 0.5nm, вместе с полным диапасоном возможностей изготовления от sub 10nm до микронов. С этой аппаратурой вы теперь имеете способность сделать быстрое прототипирование при галлий совмещенный с точный и контролируемый подвергать механической обработке используя гелий и неон.

WS: Что главным образом применения исследования для Ориона NanoFab?

MA: Если Я был классифицировать зоны применения очень обширно, то было бы редактировать и анализ цепи, литографирование ионного луча, plasmonics (и родственные зоны как photonics и phononics), и полупроводниковые nanopores - это одно из самых интересных применений, используя ионные лучи для того чтобы создать эти очень малые отверстия, для пользы в sequencing ДНА или химические датчиках.

Те области мы смотрели до тех пор. Но реальная сила этой платформы чего она может сделать для возможностей исследовательских лабараторий.

препятствуйте нам рассматривать как пример большое средство исследования, с сериями пользователей которые приходят внутри и используют аппаратуры. Много эти места смотрят расширяющ их емкость, говорят путем добавлять другую аппаратуру галлия FIB/SEM. Если они думают о аппаратуре как NanoFab, однако, то они могли бы увеличить их емкость FIB галлия и также увеличить возможности лаборатории. Это также помогло бы различить средство от всех других лабораторий они состязаются против, потому что исследователя там имели бы доступ к средствам которые много другие люди не делают.

WS: Как реакция клиента к NanoFab до тех пор? Когда первые блоки будут грузить?

MA: Реакция больш. Мы уже принимали немного заказов клиента впереди старта продукта, и мы будем грузить очень скоро - первое одно должно грузить серединой от Октябрь. Мы действительно возбуждены о этом продукте и применениях и разрешениях он может позволить для наших клиентов.

WS: Что следующие шаги для Микроскопии Карл Zeiss? Там все другие exciting технологии в трубопроводе?

MA: Несколько новаторских продуктов которые будут приходить вне в светлую микроскопию. Мой фокус на стороне луча иона, но Я знаю будет вызванный новый продукт LightSheet, который поровну новаторсок, и то будет объявлено на Нейронауке в Новом Орлеане немного недель от теперь.

На фронте микроскопии иона, несколько вещей которые мы будем фокусировать дальше в ближайшее время. Одно из этих увеличивает аналитически возможность аппаратуры.

С FIBs гелия и неона, вы не производите Рентгеновские Снимки, поэтому вы не можете сделать анализ EDS по мере того как вы и с обычной системой двойн-луча. Так мы смотрим другой способ включить аналитически возможности на этой платформе, потому что люди заинтересованы в делать высокое воображение разрешения вместе с высоким анализом разрешения. Если вы видите маленькую отметку цели на экране, то вы хотите знать чего оно, чего оно составлял.

Мы смотрим другой способ делать то, и немного вариантов которые мы начинаем. Много exciting исследование которое идет дальше в ту область. Люди представляя результаты, даже на этом конференции, на некоторых из аналитически возможностей которые мы начинаем на этой аппаратуре. Так, что будет действительно следующая вещь мы фокусируем дальше.

WS: Где можем мы найти больше информации о Орионе NanoFab, и Микроскопия Карл Zeiss?

MA: Вы можете посылать нас по электронной почте на microscopy@zeiss.com, или посетите microsite NanoFab на www.zeiss.com/orion-nanofab.

Официальный трейлер продукта для Карл Zeiss Ориона NanoFab.

О Микроскопии Карл Zeiss

Микроскопия Карл Zeiss изготовление мира единственное и микроскопов света, электрона и иона. Портфолио компании обширное включает применения исследования и режима в жизни и науках материалов.

Их вид продукции включает свет и микроскопы скеннирования лазера, микроскопы электрона и иона и модули спектрометра. Пользователи поддержаны для ПО для контроля системы, захвата изображения и редактировать.



Date Added: Oct 3, 2012 | Updated: Jun 25, 2014

Last Update: 26. June 2014 00:22

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit