为极小制作的创新研究工具: 与 Mohan Ananth 的一次面试

面试将 Soutter

在这中从行业面试、 Mohan Ananth 博士,高级行销主管和产品管理的答案卡尔蔡司显微学的,要愿关于他们新的猎户星座 NanoFab multibeam 离子显微镜的 Soutter 的谈话。 NanoFab 平台被生成了在 emc2012 在曼彻斯特,英国。

WS : 您能否告诉我们关于卡尔蔡司显微学和您的产品的位和您的在更大的蔡司组内的角色?

MA : 卡尔蔡司组座右铭是 “我们使它可视” - 任何执行与光学,我们介入。 我们从显微镜做一切到望远镜和天文馆仪器。

有在蔡司内的六企业 - 我属于卡尔蔡司显微学,有光、电子和离子显微镜一个清楚的投资组合。 有做子集这些产品的其他公司,但是卡尔蔡司显微学是由光学做完全范围到电子和离子显微镜的只那个。

卡尔蔡司显微学为创新和创建新产品和技术知道。 我们的重点是研究市场; 那是我们和作用的核心区对我们的力量。 通过产品创新我们提供确实最尖端的仪器和解决方法到我们的研究客户。

我认为猎户星座 NanoFab,我们的最新的产品,是蔡司此核心力量的一个经典示例。 我们瞄准在学术界、行业和政府的研究市场,并且我们给这个市场带来此新和确实创新产品。

WS : 猎户星座 NanoFab 如何适合到现有的产品光谱?

MA : 极小制作是一相对地新的区,基本上介入创建非常小的结构和设备。 这个域当时是所有关于原型。 当研究员有关于如何的一个想法做某一设备时,他们要做还原 - 他们在一个非常专门化的环境里不需要一个巨大的制造设备能够做数百或千位设备,这个功能做一些他们。 那是这些极小制作工具进来的地方。

一般,当人们谈论使用离子束为极小制作时,他们谈论镓离子。 电子束主要为平版印刷处理也使用,而离子束为直接用机器制造使用,飞溅,或者物质删除,以及证言和铭刻。

因此在离子束系统空间内,最普遍和公用是镓集中的离子束。 此技术 3 个十年或那么现在。 在这些镓离子系统,您有在大小上约为 5 毫微米的探测,并且您能制造结构舍去到 30-40 毫微米。 人们设法做更小的功能,可能下来到 10 或 15 毫微米,但是那些是非常专业的示例 - 他们是这个例外,不是这个规律。

然而,推进在极小制作领域自然是往越来越小的结构,并且我们研究方式达到那。 我们使用我们的所有权气田离子源技术,启用生产这些越来越小的结构。 我们有这个能力创建惰性气体离子一条集中的射线下来到探测范围在 0.5nm 下。 这原来地使用氦气,并且我们对氖现在延伸了它。

氦气和氖离子比镓轻,并且可以集中到更小的探测。 您能做相似的事与氦气和氖,因为您可能与镓,但是一个更加准确和更加受控的方式在一个更加小型的缩放比例。 这在 10nm 下启用 nanostructures,使用离子束以前不是可能的事制造。

在此录影, Mohan 产生将 Soutter 简要简介对猎户星座 Nanofab 在 emc2012,新产品正式发行。

WS : 这些新的功能将有什么影响在您的研究客户?

MA : 使用氦气和氖离子添加全新的维数到研究的极小制作。 第一次研究员能容易地和定期地制造一些 5nm 漏洞用象氮化硅和铝的不同的材料,制造有 4nm 空白的纳诺天线在金子和做 5nm 宽丝带 graphene。 这个能力执行此启用原生质的传感器发展,扩大在 photonics 研究的功能,并且推进下一代晶体管发展边境。 另外,研究员不典型地要执行一件事情或其他。 通常他们要取消很多材料,进一步然后放大和编辑或非常精密地创建更小的功能。 我们现在创建了我们可以集成常规镓列的一个平台,以及氦气射线和一条霓虹射线。 因此您安排整个范围范围报道在一个唯一平台 - 从很多材料迅速原型和删除的镓,对氦气和氖确实准确,确实受控制用机器制造的。

氦气射线可能为想象也使用 - 它比的一半产生您较少的一条光点直径毫微米,因此这个解决方法极大比什么您能从常规 SEMs 获得。 如果您考虑经典 FIB/SEM (或 SEM/FIB) 被设置,他们有解决方法 1 到 1.5 毫微米想象的和在用机器制造的 3-5nm 附近。 NanoFab 平台可能在 0.5nm 下产生您想象,以及全方位从子 10nm 的制造功能至微米。 使用此仪器您现在有这个能力执行与与准确和受控用机器制造结合的镓的迅速原型使用氦气和氖。

WS : 什么是对猎户星座 NanoFab 的主要研究申请?

MA : 如果我将非常宽广地分类应用程序方面,它是电路编辑和分析、离子束石版印刷、 plasmonics (和象 photonics 和 phononics 的相关区) 和固体 nanopores - 这是其中一种最有趣的应用,使用离子束创建这些非常小的漏洞,为使用在脱氧核糖核酸排序或化工传感器。

那些是到目前为止我们查看的区。 但是此平台的实际功率是什么它可能为研究实验室的功能执行。

我们考虑为例一个大研究所,与进来并且使用仪器的许多用户。 很多这些安排查看扩展他们的能力,通过添加另一台镓 FIB/SEM 仪器说。 然而,如果他们考虑象 NanoFab 的一台仪器他们能增加他们的镓小谎能力并且提高这个实验室的功能。 这也将帮助与他们竞争的所有其他实验室区分这个设备,因为那里研究员会得以进入对很多其他人员不的设施的。

WS : 对 NanoFab 的客户回应到目前为止如何是? 第一单位何时发运?

MA : 这种回应是极大的。 我们已经接受了在产品创办前的一些客户命令,并且我们很快发运 - 第一个应该由 10月中间名运送。 我们确实被激发关于它可能为我们的客户启用的此产品和应用和解决方法。

WS : 什么是卡尔蔡司显微学的以下步骤? 有没有在生产中任何其他扣人心弦的技术?

MA : 有在光学显微学出来的一定数量的创新产品。 我的重点在离子束端,但是我知道将有称 LightSheet 的一个新产品,是相等地创新的,并且那从现在起将宣布在神经科学在新奥尔良几周。

在离子显微学前线,有我们在不久的将来注重的一定数量的事情。 这些中的一个提高仪器的分析功能。

氦气和氖小谎,您不生成 X-射线,因此您不可能执行 EDS 分析,当您会与一个常规双重射线系统。 因此我们查看不同的方式启用在此平台的分析功能,因为人们是对执行高分辨率想象感兴趣以及高分辨率分析。 如果您看到在屏幕的一个小的物体光点,您要知道什么是,什么它组成了由。

我们查看不同的方式执行那,并且有我们开发的一些个选项。 有在该区进来的很多扣人心弦的研究。 有当前结果的人们,甚而在此会议,关于我们在此仪器开发的某些分析功能。 因此确实是下件事情我们注重。

WS : 我们在哪里可以找到关于猎户星座 NanoFab 的更多信息和卡尔蔡司显微学?

MA : 您能给我们发电子邮件在 microscopy@zeiss.com,或者请参观 NanoFab microsite 在 www.zeiss.com/orion-nanofab

卡尔的蔡司猎户星座 NanoFab 正式产品拖车。

关于卡尔蔡司显微学

卡尔蔡司显微学是光、电子和离子显微镜世界的唯一的制造商。 公司的广泛的投资组合启用在寿命和材料学的研究和程序应用。

他们的产品范围包括光和激光扫描显微镜、电子和离子显微镜和分光仪模块。 用户为系统控制,图象获取和编辑的软件被支持。



Date Added: Oct 3, 2012 | Updated: Jun 25, 2014

Last Update: 25. June 2014 23:46

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