為極小製作的創新研究工具: 與 Mohan Ananth 的一次面試

面試將 Soutter

在這中從行業面試、 Mohan Ananth 博士,高級行銷主管和產品管理的答案卡爾蔡司顯微學的,要願關於他們新的獵戶星座 NanoFab multibeam 離子顯微鏡的 Soutter 的談話。 NanoFab 平臺被生成了在 emc2012 在曼徹斯特,英國。

WS : 您能否告訴我們關於卡爾蔡司顯微學和您的產品的位和您的在更大的蔡司組內的角色?

MA : 卡爾蔡司組座右銘是 「我們使它可視」 - 任何執行與光學,我們介入。 我們從顯微鏡做一切到望遠鏡和天文館儀器。

有在蔡司內的六企業 - 我屬於卡爾蔡司顯微學,有光、電子和離子顯微鏡一個清楚的投資組合。 有做子集這些產品的其他公司,但是卡爾蔡司顯微學是由光學做完全範圍到電子和離子顯微鏡的只那個。

卡爾蔡司顯微學為創新和創建新產品和技術知道。 我們的重點是研究市場; 那是我們和作用的核心區對我們的力量。 通過產品創新我們提供確實最尖端的儀器和解決方法到我們的研究客戶。

我認為獵戶星座 NanoFab,我們的最新的產品,是蔡司此核心力量的一個經典示例。 我們瞄準在學術界、行業和政府的研究市場,并且我們給這個市場帶來此新和確實創新產品。

WS : 獵戶星座 NanoFab 如何適合到現有的產品光譜?

MA : 極小製作是一相對地新的區,基本上介入創建非常小的結構和設備。 這個域當時是所有關於原型。 當研究員有關於如何的一個想法做某一設備時,他們要做還原 - 他們在一個非常專門化的環境裡不需要一個巨大的製造設備能够做數百或千位設備,這個功能做一些他們。 那是這些極小製作工具進來的地方。

一般,當人們談論使用離子束為極小製作時,他們談論鎵離子。 電子束主要為平版印刷處理也使用,而離子束為直接用機器製造使用,飛濺,或者物質刪除,以及證言和銘刻。

因此在離子束系統空間內,最普遍和公用是鎵集中的離子束。 此技術 3 個十年或那麼現在。 在這些鎵離子系統,您有在大小上約為 5 毫微米的探測,并且您能製造結構舍去到 30-40 毫微米。 人們設法做更小的功能,可能下來到 10 或 15 毫微米,但是那些是非常專業的示例 - 他們是這個例外,不是這個規律。

然而,推進在極小製作領域自然是往越来越小的結構,并且我們研究方式達到那。 我們使用我們的所有權氣田離子源技術,啟用生產這些越來越小的結構。 我們有這個能力創建惰性氣體離子一條集中的射線下來到探測範圍在 0.5nm 下。 這原來地使用氦氣,并且我們對氖現在延伸了它。

氦氣和氖離子比鎵輕,并且可以集中到更小的探測。 您能做相似的事與氦氣和氖,因為您可能與鎵,但是一個更加準確和更加受控的方式在一個更加小型的縮放比例。 這在 10nm 下啟用 nanostructures,使用離子束以前不是可能的事製造。

在此錄影, Mohan 產生將 Soutter 簡要簡介對獵戶星座 Nanofab 在 emc2012,新產品正式發行。

WS : 這些新的功能將有什麼影響在您的研究客戶?

MA : 使用氦氣和氖離子添加全新的維數到研究的極小製作。 第一次研究員能容易地和定期地製造一些 5nm 漏洞用像氮化硅和鋁的不同的材料,製造有 4nm 空白的納諾天線在金子和做 5nm 寬絲帶 graphene。 這個能力執行此啟用原生質的傳感器發展,擴大在 photonics 研究的功能,并且推進下一代晶體管發展邊境。 另外,研究員不典型地要執行一件事情或其他。 通常他們要取消很多材料,進一步然後放大和編輯或非常精密地創建更小的功能。 我們現在創建了我們可以集成常規鎵列的一個平臺,以及氦氣射線和一條霓虹射線。 因此您安排整個範圍範圍報道在一個唯一平臺 - 從很多材料迅速原型和刪除的鎵,對氦氣和氖確實準確,確實受控制用機器製造的。

氦氣射線可能為想像也使用 - 它比的一半產生您較少的一條光點直徑毫微米,因此這個解決方法極大比什麼您能從常規 SEMs 獲得。 如果您考慮經典 FIB/SEM (或 SEM/FIB) 被設置,他們有解決方法 1 到 1.5 毫微米想像的和在用機器製造的 3-5nm 附近。 NanoFab 平臺可能在 0.5nm 下產生您想像,以及全方位從子 10nm 的製造功能至微米。 使用此儀器您現在有這個能力執行與與準確和受控用機器製造結合的鎵的迅速原型使用氦氣和氖。

WS : 什麼是對獵戶星座 NanoFab 的主要研究申請?

MA : 如果我将非常寬廣地分類應用程序方面,它是電路編輯和分析、離子束石版印刷、 plasmonics (和像 photonics 和 phononics 的相關區) 和固體 nanopores - 這是其中一種最有趣的應用,使用離子束創建這些非常小的漏洞,為使用在脫氧核糖核酸排序或化工傳感器。

那些是到目前為止我們查看的區。 但是此平臺的實際功率是什麼它可能為研究實驗室的功能執行。

我們考慮为例一個大研究所,與進來并且使用儀器的許多用戶。 很多這些安排查看擴展他們的能力,通過添加另一臺鎵 FIB/SEM 儀器說。 然而,如果他們考慮像 NanoFab 的一臺儀器他們能增加他們的鎵小謊能力並且提高這個實驗室的功能。 這也將幫助與他們競爭的所有其他實驗室區分這個設備,因為那裡研究員會得以進入對很多其他人員不的設施的。

WS : 對 NanoFab 的客戶回應到目前為止如何是? 第一單位何時發運?

MA : 這種回應是極大的。 我們已經接受了在產品創辦前的一些客戶命令,并且我們很快發運 - 第一個應該由 10月中間名運送。 我們確實被激發關於它可能為我們的客戶啟用的此產品和應用和解決方法。

WS : 什麼是卡爾蔡司顯微學的以下步驟? 有沒有在生產中任何其他扣人心弦的技術?

MA : 有在光學顯微學出來的一定數量的創新產品。 我的重點在離子束端,但是我知道將有稱 LightSheet 的一個新產品,是相等地創新的,并且那從現在起將宣佈在神經科學在新奧爾良幾周。

在離子顯微學前線,有我們在不久的將來注重的一定數量的事情。 這些中的一個提高儀器的分析功能。

氦氣和氖小謊,您不生成 X-射線,因此您不可能執行 EDS 分析,當您會與一個常規雙重射線系統。 因此我們查看不同的方式啟用在此平臺的分析功能,因為人們是對執行高分辨率想像感興趣以及高分辨率分析。 如果您看到在屏幕的一個小的物體光點,您要知道什麼是,什麼它組成了由。

我們查看不同的方式執行那,并且有我們開發的一些個選項。 有在該區進來的很多扣人心弦的研究。 有當前結果的人們,甚而在此會議,關於我們在此儀器開發的某些分析功能。 因此確實是下件事情我們注重。

WS : 我們在哪裡可以找到關於獵戶星座 NanoFab 的更多信息和卡爾蔡司顯微學?

MA : 您能給我們發電子郵件在 microscopy@zeiss.com,或者请參觀 NanoFab microsite 在 www.zeiss.com/orion-nanofab

卡爾的蔡司獵戶星座 NanoFab 正式產品拖車。

關於卡爾蔡司顯微學

卡爾蔡司顯微學是光、電子和離子顯微鏡世界的唯一的製造商。 公司的廣泛的投資組合啟用在壽命和材料學的研究和程序應用。

他們的產品範圍包括光和激光掃描顯微鏡、電子和離子顯微鏡和分光儀模塊。 用戶為系統控制,圖像獲取和編輯的軟件被支持。



Date Added: Oct 3, 2012 | Updated: Jun 25, 2014

Last Update: 25. June 2014 23:49

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