Nano--Schaltkreis Gemessen Durch Alte Röntgenstrahl-Technik - Neue Technologie

National Institute of Standards and Technology (NIST) verwendet eine alte Röntgenstrahltechnik, um Nmschuppe Einheiten auf Computerchips zu messen.

Sie haben Erfolg, wenn sie das Klein-winkel Röntgenstrahlzerstreuen (SAXS) verwenden um die Größe und die Form des Gitters wie Muster mit 180 nmlinienbreiten zu messen. Präzision ist besser, als 1 nm und Bilder, die von der Technik berechnet werden, Hochpräzision Maße von Linienbreiten, von Platz und von Merkmalen einschließlich Rauheit von Wänden und von Rändern von Zeilen geben.

Am 1. Februar 2004 Bekannt gegebenst

Date Added: Feb 6, 2004

Last Update: 11. January 2012 20:11

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