Nano-Conjunto de circuitos Medido Por la Vieja Técnica de la Radiografía - Nueva Tecnología

El National Institute of Standards and Technology (NIST) está utilizando una vieja técnica de la Radiografía para medir los dispositivos de la nanómetro-escala en los chips de ordenador.

Están teniendo éxito al usar dispersar de radiografía del pequeño-ángulo (SAXS) para medir la talla y la dimensión de una variable de la matriz como modelos con la línea anchos de 180 nanómetros. La Precisión es mejor de 1 nanómetro e imagen derivados de la técnica dan mediciones de alta precisión de la línea anchos, espacios y características incluyendo la tosquedad de paredes y de los bordes de líneas.

1 de febrero de 2004 Asentadost

Date Added: Feb 6, 2004 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 12. June 2013 10:36

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