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Nano-Circuits Mesurés Par Vieille Technique de Rayon X - Technologie Neuve

Le National Institute of Standards and Technology (NIST) emploie une vieille technique de Rayon X pour mesurer des dispositifs de nanomètre-échelle sur des puces pour ordinateurs.

Elles ont la réussite en employant la diffusion des rayons X sous petit angle (SAXS) pour mesurer la taille et la forme du réseau comme des configurations avec la ligne largeurs du nanomètre 180. La Précision est meilleure que 1 nanomètre et images dérivés de la technique donnent des mesures à haute précision de ligne largeurs, espaces et caractéristiques techniques comprenant la rugosité des parois et des arêtes des lignes.

Posté le 1er février 2004st

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