Nano-Circuit Mesurée par Old technique des rayons X - Nouvelle technologie
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National Institute of Standards and Technology (NIST) est d'utiliser une vieille technique des rayons X pour mesurer à l'échelle nanométrique des dispositifs sur des puces d'ordinateur. Ils ont des succès dans l'aide aux petits angles diffusion des rayons X (SAXS) pour mesurer la taille et la forme de la grille comme des modèles avec des largeurs de ligne 180 nanomètres. La précision est meilleure que 1 nanomètre et images dérivées de la technique donnent une haute précision les largeurs de lignes, d'espaces et fonctionnalités incluant la rugosité des parois et les bords de lignes. |
Posté le 1 er Février 2004 |
Last Update: 8. October 2011 15:28