古い X 線の技術 - 新技術によって測定される Nano 回路部品

国立標準技術研究所 (NIST) はコンピュータ・チップのナノメータースケール装置を測定するのに古い X 線の技術を使用しています。

それらに小型角度の X 線 180 ナノメーターの線幅が付いているパターンのような格子のサイズそして形を測定するのに分散の使用で成功があっています (SAXS)。 精密は技術から得られる 1 つのナノメーターおよび画像がラインの壁そして端の荒さを含む線幅、スペースおよび機能の高精度の測定を与えるよりよいです。

2004 年 2 月st 1 日掲示される

Date Added: Feb 6, 2004 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 12. June 2013 10:25

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