Nano-schakelschema dat Door de Oude Techniek van de Röntgenstraal wordt Gemeten - Nieuwe Technologie

Het Nationale Instituut van Normen en Technologie (NIST) gebruikt een oude techniek van de Röntgenstraal om nanometer-schaal apparaten op chips te meten.

Zij hebben succes in het gebruiken van small-angle röntgenstraal die (SAXS) de grootte en de vorm van net zoals patronen met 180 breedten van de nanometerlijn verspreidt zich te meten. De Precisie is beter dan 1 nanometer en de beelden die uit de techniek worden afgeleid geven high-precision metingen van lijnbreedten, ruimten en eigenschappen met inbegrip van ruwheid van muren en de randen van lijnen.

Gepost 1st Februari 2004

Date Added: Feb 6, 2004 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 12. June 2013 10:18

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this article?

Leave your feedback
Submit