Nano-Circuitos Medidos pela Técnica Velha do Raio X - Nova Tecnologia
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| O National Institute of Standards and Technology (NIST) está usando uma técnica velha do Raio X para medir dispositivos da nanômetro-escala em chip de computador. Estão tendo o sucesso em usar a dispersão de raio X do pequeno-ângulo (SAXS) para medir o tamanho e a forma da grade como testes padrões com linha larguras de 180 nanômetros. A Precisão é melhor de 1 nanômetro e imagem derivados da técnica dão medidas da elevada precisão da linha larguras, espaços e características incluindo a aspereza das paredes e das bordas das linhas. |
| 1º de fevereiro de 2004 Afixadost |
Last Update: 12. June 2013 10:32