Nano-Circuitos Medidos pela Técnica Velha do Raio X - Nova Tecnologia

O National Institute of Standards and Technology (NIST) está usando uma técnica velha do Raio X para medir dispositivos da nanômetro-escala em chip de computador.

Estão tendo o sucesso em usar a dispersão de raio X do pequeno-ângulo (SAXS) para medir o tamanho e a forma da grade como testes padrões com linha larguras de 180 nanômetros. A Precisão é melhor de 1 nanômetro e imagem derivados da técnica dão medidas da elevada precisão da linha larguras, espaços e características incluindo a aspereza das paredes e das bordas das linhas.

1º de fevereiro de 2004 Afixadost

Date Added: Feb 6, 2004 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 12. June 2013 10:32

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this article?

Leave your feedback
Submit