老 X-射线技术评定的纳诺电路 - 新技术

国家标准技术局 (NIST) 使用一个老 X-射线技术评定在计算机芯片的毫微米缩放比例设备。

他们有成功在使用小角度 X-射线分散 (SAXS) 评定网格范围和形状象模式的与 180 毫微米行宽。 精确度比从这个技术和图象派生的 1 个毫微米产生行宽、空间和功能的高精密度的评定包括墙壁和线路好边缘的坎坷。

张贴 2004年st 2月 1日
Date Added: Feb 6, 2004

Last Update: 11. January 2012 19:01

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