旭硝子が開発した非揮発性の金属ナノドット(MND)メモリ - 新技術

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旭硝子株式会社と小柳、工学部、東北大学の大学院の教授が率いる研究グループは、金属ナノドット(MND)メモリーという名前の新 ​​しい不揮発性メモリを、開発に成功しました。 MNDのメモリは旭硝子(株)国防部のフィルムが開発したセラミック技術に基づいて、MND膜の成膜技術を用いて作られる絶縁マトリックス中に埋め込 ​​まれた非常に密度の高い金属ナノドットから構成されます。 MNDのメモリは、近い将来、既存のフラッシュメモリを置き換えることが期待されています。

モバイル情報機器の市場は近年拡大しているとして、高密度、高性能、不揮発性メモリへの需要が急速に成長して、不揮発性メモリのため、多くの種類が提案され、研究されている。フラッシュメモリは、最も広く、その高い密度、低製造コストと安定した動作をというように、不揮発性メモリの使用です。トンネル酸化膜 ​​厚が優れた電荷保持と耐久性を維持する必要があるため、セルサイズを縮小することができないしかし、フラッシュメモリのセルサイズのダウンスケーリングはますます困難になっている。この問題を解決するために、このようなシリコンナノドットメモリとMONOSメモリなどのメモリセル、、の新しいタイプが提案されている。しかし、これらのメモリは、電荷保持部位の十分に高い密度を持っていない、メモリウィンドウのため、大きさと均一性が十分ではありません。教授小柳は、新しい不揮発性メモリに適用する旭硝子(株)によって開発された国防部のフィルムに注目し、試作デバイスで旭硝子のエンジニアと協力してきました。試験装置の製造は、東北大学のベンチャービジネスラボラトリーで実施した。

2004年12月24掲載

Date Added: Feb 23, 2004

Last Update: 9. October 2011 09:46

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