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Posted in | Wafer Bonders

SST 国際的なモデル 3180/3190 ウエファー Bonders

3180 および 3190 はケイ素、ガリウム砒素およびガラスのウエファーの高信頼性の結合のための SST インターナショナルが提供するプログラム可能なウエファーの bonders 直径の 6 インチまで (150 の mm) です。

システムは両方とも 500 °C まで温度で暖房の精密な自動制御および冷却を提供します (任意選択 1000°C)。 ふいごはウエファーのペアにプラテンの現在の均一機械結合圧力の締め金で止めを作動させました 750 ポンドまで (350 の kg)。 3190 はまたユーザー選ばれた高圧電源そして区域を陽極の (静電気の) 結合の機能に供給による与えます。 真空は二段式機械ポンプによって 3180 で 50 ミリトアに提供されます水平になります。 1 の x 10-6 トルの下の真空のレベルは乾燥した機械 forepump と結合される低温学の真空のポンプ施設管理によって 3190 で提供されます。 デジタル真空の水平な測定は真空のレベルを監察し、制御するために提供されます。 機械制御はマイクロソフト・ウインドウズの ® の環境で動作する埋め込まれた制御システムによって提供されます。 プロセスプロフィールの無制限番号はコントローラで容易に作成され、保存することができます。 実行データは品質管理およびオフ・ラインのデータ解析のためにアーカイブされます。 インターネットおよびイントラネットネットワーク接続はオプション、割り当てるリモート・モニタリング、トラブルシューティングおよび維持機能として使用できます。

典型的なアプリケーション:

  • ガラスウエファーの結合へのケイ素
  • MEMS のウエファーの結合
  • 圧力センサーの結合
  • 陽極のウエファーの結合

Last Update: 3. February 2012 16:26

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