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SST 국제적인 모형 3180/3190 웨이퍼 Bonders

3180 및 3190는 실리콘, 비화 갈륨 및 유리 웨이퍼의 높 신뢰도 접합을 위한 SST 국제 경기가 제안한 풀그릴 웨이퍼 bonders 직경에서 6 인치까지 (150 mm)입니다.

두 시스템 다 500 °C까지 온도에 난방의 정확한 자동 통제 및 냉각을 제공합니다 (선택 1000°C). 풀무는 웨이퍼 쌍에 플래튼 존재하는 획일한 기계적인 접합 압력의 죄를 움직였습니다 750 파운드까지 (350 kg). 3190는 또한 급수 탱크 사용자 선정한 고전압 전력 공급 및 약실을 양극 (정전기) 접합 기능을 제공합니다. 진공은 이단식 기계적인 펌프에 의해 3180에서 50 millitorr에 아래로 제공됩니다 수평하게 합니다. 1개 x 10-6 torr 이하 진공 수준은 건조한 기계적인 forepump와 결합된 저온 진공 양수 시스템에 의해 3190에서 제공됩니다. 디지털 진공 수평 측정은 진공 수준을 감시하고 통제하기 위하여 제공됩니다. 기계 제어는 Microsoft Windows ® 환경에서 작동하는 내재되어 있던 통제 시스템에 의해 제공됩니다. 가공 단면도의 무제한 수는 관제사에서 쉽게 만들고 저장될 수 있습니다. 실행 데이터는 품질 관리와 따로 잇기 데이터 분석을 위해 보관됩니다. 인터넷과 인트라넷 통신망 연결성은 선택권, 허용 원격 감시, 고장배제 및 정비 기능으로 유효합니다.

전형적인 응용:

  • 유리제 웨이퍼 접합에 실리콘
  • MEMS 웨이퍼 접합
  • 압력 센서 접합
  • 양극 웨이퍼 접합

Last Update: 3. February 2012 16:28

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