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J.A. Woollam M-2000-Series Ellipsometers Espectroscópico

La línea M-2000 de ellipsometers espectroscópicos se dirige para cubrir las demandas diversas de la caracterización de la película fina. Un diseño óptico avanzado, un rango espectral ancho, y un de adquisición de datos rápido le hacen una herramienta extremadamente potente y versátil.

El M-2000 entrega velocidad y exactitud. Nuestra tecnología patentada de RCE combina el Compensador Giratorio Ellipsometry con la detección de alta velocidad del CCD para cerco datos del espectro entero (centenares de longitudes de onda) en una parte un segundo con una amplia gama de configuraciones.

El M-2000 es el primer ellipsometer verdad a sobresalir en todo de la supervisión "in-situ" y del mando de proceso a la correspondencia de la uniformidad de la área extensa y a la caracterización de fines generales de la película fina.

¿Por Qué un M-2000?

  • Tecnología Avanzada de Ellipsometer
    El M-2000 utiliza nuestra tecnología patentada de RCE (ellipsometer giratorio del compensador) para lograr alta exactitud y la precisión.
  • Detección Espectral Rápida
    El diseño de RCE es compatible con la detección avanzada del CCD medir TODAS LAS longitudes de onda simultáneamente.
  • Rango Espectral Ancho
    Este ellipsometer cerco sobre 700 longitudes de onda del ultravioleta al del infrarrojo cercano - simultáneamente.
  • Integración de Sistema Flexible
    Con diseño óptico modular, el M-2000 se puede asociar directamente a su compartimiento de proceso o configurar en ningunas de nuestras bases tableros.
  • Exactitud
    El diseño Avanzado asegura las mediciones ellipsometry exactas para cualquier muestra.

Last Update: 3. February 2012 16:35

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