A linha M-2000 de ellipsometers espectroscópicas é projectada para encontrar as procuras diversas da caracterização do filme fino. Um projecto óptico avançado, uma escala espectral larga, e um por aquisição de dados rápido fazem-lhe uma ferramenta extremamente poderosa e versátil.
O M-2000 entrega a velocidade e a precisão. Nossa tecnologia patenteada de RCE combina o Compensador de Giro Ellipsometry com a detecção de alta velocidade do CCD para recolher dados do espectro inteiro (centenas de comprimentos de onda) em uma fracção de um segundo com um vasto leque das configurações.
O M-2000 é o primeiro ellipsometer verdadeiramente a primar em tudo da monitoração in situ e controle de processos ao traço da uniformidade da grande área e à caracterização de uso geral do filme fino.
Por Que um M-2000?
- Tecnologia Avançada de Ellipsometer
O M-2000 utiliza nossa tecnologia patenteada de RCE (ellipsometer de giro do compensador) para conseguir a precisão alta e a precisão. - Detecção Espectral Rápida
O projecto de RCE é compatível com detecção avançada do CCD medir simultaneamente TODOS OS comprimentos de onda. - Escala Espectral Larga
Este ellipsometer recolhe sobre 700 comprimentos de onda do ultravioleta ao próximo-infravermelho - simultaneamente. - Integração de Sistemas Flexível
Com projecto óptico modular, o M-2000 pode ser anexado directamente a sua câmara do processo ou ser configurado em algumas de nossas bases do tampo da mesa. - Precisão
O projecto Avançado assegura medidas ellipsometry exactas para toda a amostra.