SOPRA GES5E Spektralanalytisches Ellipsometer

Das GES5E ist das SOPRA-Kerninstrument für R&D-Anwendungen. GES5E integriert die hoch entwickelten und wohlen nachgewiesenen Opto-mechanischen Auslegungen, die zur Hochleistungselektronik, Spektrometer und Spektrographe und benutzerfreundliche WindowsTm-Software verbunden werden. GES5E ist das neueste Baumuster von 5 Generationen von den spektralanalytischen ellipsometers, die durch SOPRA entwickelt werden.

Mit Über als 20 Jahre Erfahrung in Spektralanalytischer Ellipsometry-Technologie, wird SOPRA breit heute als Hauptspieler in diesem Markt heute erkannt.

Als Folge werden SOPRA Spektralanalytisches Ellipsometers aktuell als die ReferenceTM-Hilfsmittel für Dünnfilmmaße in R&D und in der Industrie verwendet.

Der eindeutige Vorteil der GES5E-Plattform ist, dass Maßmodus der Hohen Auflösung und Schneller Maßmodus auf der gleichen Plattform koexistieren können. Dieses erlaubt materielle Entwicklungsqualifikation aber auch Verfahrensentwicklungsregelung durch das Schnelle Programm, das Maße abbildet.

Optische Plattform GES5E erlaubt verschiedenen Maßmodus von Standard-Ellipsometry generalisiertes Ellipsometry, das photometrische Maße durchläuft (in der Übertragung und in der Reflexion), Scatterometry, Lumineszenzmaße. Alle Maße werden automatisch als Funktion gemacht: Wellenlänge, Anstellwinkel, Polarisationszustand und Zeit. Standardspektralbereich ist 230-900nm und kann in DUV- und NIR-Regionen ausgedehnt werden, indem er die ausreichenden Optionen auswählt (sprechen Sie bitte SE-Optionen an).

Material fortgeschrittene Kennzeichnung kann auf dem GES5E auch ausgeführt werden, indem man Umweltkammer, Heizplatte, flüssige Zellen und Cryostats verbindet. Die letzte Entwicklung auf diesem Gebiet ist die Option EPA (der Ellipsometric Luftdurchlässigkeitsprüfer Atmosphärisch), Porositätsmaß von Dünnfilmen erlaubend.

GES5E und seine zahlreichen Optionen darf das höchstentwickelte heute abdecken die R&D-Anwendungen in der Materialkunde.

GES5E ist in den Forschungslabors und in Universitäten weit verbreitet, die auf den folgenden Gebieten arbeiten: Halbleiter, Optik, Optische Telekommunikation, Flachbildschirmanzeigen, Daten-Speicher, Dünne Metalle, Chemie, Biologie, organische Anwendungen ETC…

Last Update: 3. February 2012 16:23

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