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SOPRA GES5E Ellipsometer Spettroscopico

Il GES5E è lo strumento di memoria di SOPRA per le applicazioni di R & S. GES5E integra le progettazioni opto-meccaniche provate avanzate e buone accoppiate ad elettronica di rendimento elevato, Spettrometri e spettrografi e software facile da usare di WindowsTm. GES5E è il modello più recente di 5 generazioni di ellipsometers spettroscopici sviluppati dal SOPRA.

Con eccessivo che 20 anni di esperienza di tecnologia Spettroscopica di Ellipsometry, il SOPRA ampiamente è riconosciuto oggi oggi come operatore principale in questo servizio.

Di conseguenza il SOPRA Ellipsometers Spettroscopico corrente è utilizzato come gli strumenti di ReferenceTM per le misure della Pellicola Sottile sia nella R & S che nell'Industria.

Il vantaggio unico della Piattaforma di GES5E è che il modo Di alta risoluzione di misura ed il modo Veloce di misura possono coesistere sulla stessa piattaforma. Ciò permette la qualificazione materiale dello sviluppo ma anche il controllo di sviluppo trattato dalla routine Veloce che mappa le misure.

La Piattaforma Ottica di GES5E permette il vario modo di misura da Ellipsometry Ellipsometry che passa con le misure fotometriche (nella Trasmissione e nel Riflesso), Scatterometry, misure generalizzato Standard di luminescenza. Tutte Le misure sono effettuate automaticamente in funzione di: lunghezza d'onda, angolo dell'incidenza, stato di polarizzazione e tempo. L'ampiezza dello spettro Standard è 230-900nm e può essere estesa sia nelle regioni di NIR che di DUV selezionando le opzioni adeguate (riferisca per favore alle Opzioni dell'ESPERTO IN INFORMATICA).

La caratterizzazione avanzata Materiale può anche essere fatta funzionare sul GES5E coppia la camera a atmosfera controllata, la piastra di riscaldamento, le celle liquide ed i Criostati. L'ultimo sviluppo in quel campo è l'opzione di EPA (Porosimetro Ellissometrico Atmosferico) permettendo la misura di porosità delle pellicole sottili.

GES5E e le sue numerose opzioni concede coprire avanzato le applicazioni di R & S nella scienza dei materiali oggi.

GES5E è ampiamente usato nei Laboratori Di Ricerca e nelle Università Che lavorano nei seguenti campi: Semiconduttori, Ottica, Telecomunicazioni Ottiche, Schermi Piatti, Archiviazione di Dati, Metalli Sottili, Chimica, Biologia, applicazioni organiche ecc…

Last Update: 3. February 2012 16:25

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