SOPRA GES5E 分光 Ellipsometer

GES5E は R & D アプリケーションのための SOPRA のコア器械です。 GES5E は高性能の電子工学に、分光計および分光写真器および WindowsTm のユーザーフレンドリーのソフトウェアつながれる高度および健康な証明された opto 機械デザインを統合します。 GES5E は SOPRA によって開発される分光 ellipsometers の 5 匹の生成の最新モデルです。

20 年間より終わるによっての Ellipsometry の分光技術の経験、 SOPRA はこの市場の主なプレーヤーとして広く今日今日認識されます。

結果として SOPRA 分光 Ellipsometers は R & D および企業両方で薄膜の測定のための ReferenceTM のツールとして現在使用されます。

GES5E のプラットホームの一義的な利点は高リゾリューションの測定のモードおよび速い測定のモードが同じプラットホームで共存できることです。 これは測定をマップする速いルーチンによって物質的な開発の修飾またプロセス開発規制を可能にします。

GES5E の光学プラットホームは測光の測定によって行く標準 Ellipsometry 一般化された Ellipsometry (伝達および反射で)、 Scatterometry の冷光の測定からのさまざまな測定のモードを可能にします。 すべての測定はの機能として自動的になされます: 波長、弾着余角、分極国家および時間。 標準スペクトル領域は 230-900nm、 DUV および NIR 両方領域で十分なオプションの選択によって伸びることができます (SE オプションを参照して下さい)。

材料によって進められる性格描写はまた GES5E で環境区域、暖房版、液体のセルおよび低温保持装置の連結によって実行することができます。 そのフィールドの最後の開発は EPA (大気 Ellipsometric Porosimeter) オプションで薄膜の気孔率の測定を許可します。

GES5E および多数のオプションは最先端を物質科学の R & D アプリケーション今日覆うことを割り当てます。

GES5E は次のフィールドではたらく研究所および大学で広く利用されています: 半導体、光学、光学テレコミュニケーション、フラットパネルディスプレイ、データ記憶、薄い金属、化学、生物学、有機性アプリケーション等…

Last Update: 3. February 2012 16:26

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