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SOPRA GES5E 분광 Ellipsometer

GES5E는 연구 및 개발 응용을 위한 SOPRA 코어 계기입니다. GES5E는 고성능 전자공학에, 분광계 및 분광기 및 WindowsTm 사용하기 쉬운 소프트웨어 결합된 향상되고 좋은 입증된 opto 기계적인 디자인을 통합합니다. GES5E는 SOPRA에 의해 개발된 분광 ellipsometers의 5마리의 발생의 최근 모형입니다.

20 년 보다는 전면으로 의 Ellipsometry 분광 기술에 있는 경험, SOPRA는 이 시장에 있는 주요한 선수로 넓게 오늘 오늘 인식됩니다.

결과적으로 SOPRA 분광 Ellipsometers는 연구 및 개발과 기업 둘 다에 있는 박막 측정을 위한 ReferenceTM 공구로 지금 사용됩니다.

GES5E 플래트홈의 유일한 이점은 고해상 측정 최빈값 및 단단 측정 최빈값이 동일 플래트홈에 병존할 수 있다 입니다. 이것은 측정을 지도로 나타내는 단단 일과에 의해 물자 발달 자격 또한 공정개발 통제를 허용합니다.

GES5E 광학적인 플래트홈은 광도계 측정을 통해 가는 표준 Ellipsometry 일반화한 Ellipsometry (전송과 반영에서), Scatterometry 의 냉광 측정에서 각종 측정 최빈값을 허용합니다. 모든 측정은의 기능으로 자동적으로 합니다: 부각의 파장, 각, 대립 상태 및 시간. 표준 괴기한 범위는 230-900nm이고, DUV와 NIR 둘 다 지구에서 적당한 선택권을 선정해서 연장될 수 있습니다 (SE 선택권을 참고하십시오).

물자에 의하여 진행된 특성은 또한 GES5E에 환경 약실, 난방 격판덮개, 액체 세포 및 저온 유지 장치를 결합해서 달릴 수 있습니다. 그 필드에 있는 마지막 발달은 EPA (대기 Ellipsometric 세공 측정기) 선택권이어 박막의 유공성 측정을 허용하.

GES5E와 그것의 수많은 선택권은 가장 진보된 것 재료 과학에 있는 연구 및 개발 응용 오늘 엄호하는 것을 허용합니다.

GES5E는 뒤에 오는 분야에서 작동하는 연구소와 대학에서 널리 이용됩니다: 등등… 반도체, 광학, 광학적인 원거리 통신, 편평한 패널 디스플레이, 자료 기억 장치, 얇은 금속, 화학, 생물학, 유기 응용

Last Update: 3. February 2012 16:28

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