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SOPRA GES5E Ellipsometer Espectroscópica

O GES5E é o instrumento do núcleo de SOPRA para aplicações do R&D. GES5E integra os projectos opto-mecânicos provados avançados e bons acoplados à eletrônica do elevado desempenho, os Espectrómetros e as espectrografias e software de fácil utilização de WindowsTm. GES5E é o modelo o mais recente de 5 gerações de ellipsometers espectroscópicas desenvolvidos por SOPRA.

Com excedente do que 20 anos de experiência na tecnologia Espectroscópica de Ellipsometry, SOPRA é reconhecido extensamente hoje como um jogador principal neste mercado hoje.

SOPRA Ellipsometers Espectroscópica são usados Consequentemente actualmente como as ferramentas de ReferenceTM para medidas do Filme Fino no R&D e na Indústria.

A vantagem original da Plataforma de GES5E é que o modo De alta resolução da medida e o modo Rápido da medida podem coexistir na mesma plataforma. Isto permite a qualificação material da revelação mas igualmente o controle de revelação do processo pela rotina Rápida que traça medidas.

A Plataforma Óptica de GES5E permite o vário modo da medida de Ellipsometry Padrão Ellipsometry generalizado que atravessa medidas fotométricas (na Transmissão e na Reflexão), Scatterometry, medidas da luminescência. Todas As medidas são feitas automaticamente em função de: comprimento de onda, ângulo de incidência, estado de polarização e tempo. A escala espectral Padrão é 230-900nm, e pode ser estendida em regiões de DUV e de NIR selecionando as opções adequadas (refira por favor Opções do SE).

A caracterização avançada Material pode igualmente ser executada no GES5E acoplando a câmara ambiental, a placa de aquecimento, pilhas líquidas e Criostatos. A última revelação nesse campo é a opção de EPA (Porosímetro Elipsométrico Atmosférico) permitindo a medida da porosidade de filmes finos.

GES5E e suas opções numerosas reservam cobrir o mais avançado as aplicações do R&D na ciência material hoje.

GES5E é amplamente utilizado nos Laboratórios de Investigação e nas Universidades que trabalham nos seguintes campos: Semicondutores, Sistema Ótico, Telecomunicações Ópticas, Ecrãs Planos, Armazenamento De Dados, Metais Finos, Química, Biologia, aplicações orgânicas etc…

Last Update: 3. February 2012 16:32

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